热式流量计使用说明(新唯能).doc

MEMS气体质量流量计
Thermal Mass Flowmeter

一、产品概述
本产品采用具有自主知识产权的MEMS质量流量传感器技术，能根据用户的需求提供精确的在线流量计量。传感器系采用美国半导体公司独特的CMOS兼容MEMS工艺制造，保证其具有极高的可靠性。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。
    不同于其它MEMS传感技术，美国半导体公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过MEMS传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）。当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。   

二、流量芯片测量原理

热式气体质量流量计是基于热扩散原理的气体流量测量仪表，它无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。它的突出特点是：可以直接进行贸易结算；没有活动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；可靠性高；安装简单；操作方便。
金氏定律即热扩散原理。金氏定律：流过热源的流体分子多少与热量散失的多少成正比。二是恒温差法。可用表达式来具体说明：
P/ △ T=A+B（Q）m
其中P表示消耗功率；△T表示两个传感器之间的温度差；
Q表示质量流量；m表示指数系数，
A，B是与气体物理性质有关的常数。
三、产品应用
● 科教实验室
● 医疗单位
● 电子单位
● 各种高纯气体的测量
● 各种相关产品配套使用
● 供气计量核算
● 相关行业工厂使用
四、技术参数
测量范围 09~90 m3/h
量程比 100:1
精度 2.0级
重复性 ±1.0 %
响应时间 <1 秒
工作电源 3.6V电池或12~30VDC
输出方式 RS485，4-20mADC（可选）
最大流量压损 100 Pa
最大工作压力 1.2 MPa
工作温度 -10~+55 ℃
储存温度 -20~+65 ℃
工作湿度 10~95%RH(无结露，无凝露)
显示内容 LCD液晶显示：瞬时流量、累积流量
过程连接 标准卡套式紧固件
适用介质 不含水分的气体
五、产品的优点
● 不同气体系数的设定
● 多点非线性曲线修正
● 量程比宽
● 微小流量测量精确
● 现场可对仪表设定
● 接近零压力损失的封装传感器
● 对振动不敏感
● 无直管段要求
● 测量值与压力无关，真正的质量流量检测
● 采用专家算法，实现仪表的高精度和稳定性
● 小于一秒的响应时间
● 液晶显示，具有瞬时累积双显示，无需切换。
六、产品机械尺寸

七、接线方式

八、操作说明

按键说明：
SET：设置键，按下保持5秒后进入参数设置状态。
<<： 移位键，设置状态下按下时设置位循环右移。
INC：加1键，设置状态下按下时，设置位在0~9之间变化。
退出设置状态：同时按下<<和INC两键。
仪表重启： 按下INC键保持5秒后仪表重新启动。当通讯参数重新设定后，仪表需要重启，其它参数重新设定后不需要重启。

参数提示
参数说明

输入密码
密码正确后方能修改参数值，否则只能浏览。

累积是否清零
选择“是”后按SET键后累积值变为0

流量管道口径
单位：mm

流量单位

流量量程
输出20mA时对应的瞬时流量值

小信号切除
当仪表检测到实际的瞬时流量小于此值时，仪表显示的瞬时流量为0。

流量滤波时间
数值越大，滤波效果越好，但流量检测的反应时间越长。

设备地址
仪表与PC机通讯时的唯一身份号。

波特率
通讯时的波特率

流量系数
不同的气体对应相应的转换系数

数据恢复
将所有参数恢复至出厂时的数值

注：仪表参数菜单在出厂时已经根据客户工况设置完毕，未经厂家允许请勿私自改动，否则用户自行承担责任。
九、年检及保修
(一)、鉴定方法：
1、 低流量采用钟罩或气体流量标准装置。
2、 大多数流量计采用喷嘴气体流量标准装置，是计量传递应用最多的装置。
3、 标准表法。
4、 大口径流量计可以采用风洞标定。
5、 在有条件的场所，采用实际气体标定，例如：氮气流量计，氧气流量计。
注：仪表出厂前由厂家自行鉴定。如需特殊鉴定，请在订货前与厂家联系。
(二)、产品保修
1、 保修期一年。需方在产品验收时如发现重大产品质量问题，可要求更换产品。如一年内产品本身出现质量问题，供方无偿维修。代方不承担产品以外的其它连带责任。
2、 保修期内如由于现场搬运、安装、使用不当等造成产品损坏，需方应支付一定的维修费用。如需方自行拆卸，供方将不予保修。
3、 保修期外，需方如需产品保修，须支付一定的维修费用。
4、 用户须在货到十日内完成产品验收，超过十日视为验收合格，产品进入保修期。

唯量工控技术有限公司
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