超净高纯微电子化学品制备技术
单 位:华东理工大学
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联 系 人:黄旭锋 电 话:021-64252804
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成果简介:
该项目是科技部国家863计划项目,采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化方法,制备超净高纯微电子化学品,获发明专利。
应用领域:半导体产业。
技术指标:产品性能达到超净高纯级过氧化氢标准(SEMI-C12,金属离子杂质低于0.1ppb)。
成熟程度:已建成年产1000吨的工业化装置。
应用前景:全国现有l5家33条超大规模集成电路生产线,对微电子化学品的需求量将达到7.2万t/a以上,市场前景看好。
合作方式:技术开发、技术转让。