减铜线作业指导书.doc

作业指导书
减铜线

1.0 目的
为宇宙减铜线生产操作、保养提供工艺指示，使之能按指示执行，确保产品质量。
2.0 适用范围
适用于宇宙减铜线操作之员工。
3.0 职责和权限
3.1生产部：负责按作业指导书进行日常生产和设备保养，工段主管领班负责监督执行。
3.2工艺部：负责编写、修订作业指导书，控制、调整工艺参数，分析监控生产线药水，
指导生产并解决工艺问题。
3.3品质部：负责对物料、产品质量的监控及板件物理性能的测试，稽查日常生产、保养情况。
3.4设备部：负责设备维修，定期对设备进行维护保养，指导生产部日常设备保养。
3.5物控部：负责提供合格的物料。
4.0作业流程
开启总电源开关→进入画面管理→选择自动按钮/手动按钮→按启动电钮→调整（或设置）合适参数→放首件→检板→量产→完成关机
5.0作业参数
参照《减铜线生产作业PCS标示总表》
6.0作业内容
6.1设备操作
6.1.1开机：开启电源总开关（扳到ON 位置），触摸屏上显示相应的开机画面→在开机
画面面中，按‘按此键进入工作画面面’→选择自动/手动两种模式→主画面设置。

6.1.2 画面管理：进入画面管理后，作业员主要接触为主画面、运行参数、报警管理。主画面内容为各槽段的开启关闭管理，白色底表示未开启，闪烁表示开启过程中，蓝色底表示已开启；运行参数为产量累积数量，电眼感应，无板停机时间设定，门挚保护功能设置；报警管理为当机台发生警报时，会自动在该画面显示异常状况，方便维护。
6.1.3 手动模式/自动模式：进入工作画面后，有自动、手动选项，无论在哪种启动方式，当系统启动后均可以对主画面的按钮进行开启或关闭，区别在于自动画面机台帮你打开所有槽段功能选项，手动为自己打开需要的选项，两种工作模式的切换须先按电箱面板上的停止按钮。

6.1.4 水压/流量调整：根据实际生产需要将各段水洗、药洗喷淋压力或流量调整至要求范围，水压在机台运行时需达到工艺提供参数要求，如未达到可拧动调节阀以使压力到达要求，流量计可以拧动旁边调节阀改变流量大小，读数以最大横截面积对应刻度为准。

6.1.5温控器设定：设定各电热段温控器工作温度参数值，参数值需按工艺提供参数设
定。

6.1.6 自动添加：自动添加为工艺部设定按面积/块数添加药水（画面管理/添加设置里面设定块数/面积数），计量盒里注入对应数量添加的药液，当电子眼感应到过了设定数量的板后，计量盒里的药液会全部排入槽体，作业员如发现做了对应数量的板自动添加装置未添加药水，或计量盒上药水刻度与工艺提供参数不符合时，需及时向工艺、设备部门反映。
6.1.7 关机：确认线内无板时，按下电箱面板上停止按钮→电源总开关扳到OFF位置。
6.2生产操作
6.2.1 开机前/做板前注意事项
1）各喷淋段附缸液位或容量足够，各缸内无异物，各段滤网已清洁干净。
2）各液位控制开关处于正常工作位置，无倒置，各过滤器盖已锁紧。
3）各管路连接牢固可靠，无松脱破损，机器无渗漏。
4）各行轮、压轮、喷管、水刀、压力表、流量计安置完好，无错乱，无缺损。
5）确认传送顺畅，无行轮跳动。
6）确认各玻璃是否完好，并盖住机器。
7）保持作业区域整洁，避免意外事故发生。
8）检查各压力是否在范围内。
9）确认温控器能否正常工作。
6.2.2 做板
1）在画面管理中，按自动按钮，会弹出如下启动画面

2）按启动，画面消失，再按画面管理上的起动键，全线各段液泵开始分段延时起动，同时主画面各槽段按钮框开始由白色闪烁变蓝，提示已经启动完毕；如手动模式做板则需要在主界面手动按各槽段按钮开启，完成后同样以蓝色底提示启动完毕。

注：有时做板不用把所有槽段液泵都开启时，可以用手动模式。在画面管理，选按手动按钮→在机台面板上按绿色起动键→在画面管理中，按主画面进入，对需要开启的槽段液泵按选开启，变蓝后提示启动完毕。
3）调整好线速，放两片板，板件出来后检查品质，确认无异常后进行量产。
6.2.3生产注意事项
1）放板人员要注意板面是否存在胶渍等异物，避免带入机内；如发现板面有沾胶情况
必须先用酒精擦洗干净后才能重新磨板。
2）送板入机，放板间距需大于2cm，按左中右交叉放板。
3）作业时需注意自动添加是否在加药，待送棕化板子每片均需量测铜厚，铜厚保证在MI要求范围内。
6.2.4记录
1）参数检查记录在《减铜线参数点检表》中。
2）生产及板件自检情况记录在《减铜线生产记录表》中。
3）保养情况记录在《减铜线保养记录表》中。
6.5板件自检
检查项目
标准
检查仪器
取样方式
测试方法
报表记录
减铜后铜厚
参照MI
铜厚测量仪
每批首检1片+过程抽查1片
铜厚仪量测
生产记录表
铜厚均匀性
偏差小于1.5um
铜厚测量仪
每批首检1片+过程抽查1片
铜厚仪量测
生产记录表
备注：测铜厚时每片随机测5点。

6.6 异常处理
缺点名称
可能原因
改善对策
蚀露基材/铜厚不均
镀铜板镀铜不均，减铜时造成一边OK，一边蚀刻露基材；

针对镀铜板，板子先用铜厚量测仪量测，如均匀性偏差小于5um，则取中值与标准对应，如均匀性偏差大于5um，请反馈工艺。
7.0保养内容
7.1 设备日常保养项目及内容
序号
保养项目
频次
保养内容
保养人
1
清洁机身
1次/班
用湿布擦拭机台表面
作业员
2
清洗吸水辘
1次/2H
用干净水清洗并浸泡，破损的进行更换
作业员
3
上下行辘
1次/班
检查上行辘是否异常，并做相关调整
作业员
4
喷嘴
1次/班
清洁及确保喷洒水型符合生产需求
作业员
5
过滤系统
1次/班
检查是否异常并清洁处理
作业员
6
喷压系统
1次/班
检查是否异常确保压力符合工艺要求
作业员
7
各水洗缸
1次/班
每班更换并清理缸底
作业员
7.2 设备周保养项目及内容
序号
保养项目
频次
保养内容
保养人
1
传动系统
1次/周
检查机组传动是否平稳，各传动齿轮配合是否正常

合是否正常
作业员
2
加热系统
1次/周
检测加热管有无异常并清洁加热管
作业员
3
冷却系统
1次/周
检测冷却水循环是否异常
作业员
4
烘干系统
1次/周
检测风刀是否堵塞并清洁处理
作业员
5
酸洗缸
1次/周
更换药水，并清理缸底
作业员
7.3 设备月保养项目及内容
序号
保养项目
频次
保养内容
保养人
1
微蚀缸
1次/2
个月
铜离子超过50g/L换1/2槽；每2个月换槽洗槽1次
作业员
2
吸水辘
1次/季
更换吸水辘
作业员
3
空气过滤器
1次/季
更换空气过滤器
作业员
7.2保养方法
7.2.1酸洗缸/蚀刻缸保养
1）将缸内废液往粗化废液管排放；
2）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出；
3）加入3% NaOH溶液，补充液位至最高点，开启循环及喷淋泵，正常喷淋1小时后将废液排出；
4）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出；
5）加入3% H2SO4溶液，补充液位至最高点，开启循环及喷淋泵，正常喷淋1小时后将废液排出；
6）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出。
7.2.2微蚀缸开缸
1）往缸内注入D.I水2/3槽，开启循环泵；
2）依次加入98%硫酸75.5L（6.5%浓度），27.5%双氧水82L（6%浓度），E504稳定剂25L（2%浓度），过程需搅拌，完成后补充D.I水至正常液位；
3）循环15分钟后取样化验药水浓度，OK后完成开缸；
4）微蚀缸铜离子超过50g/L时换1/2槽，添加比例按1/2开缸量添加，补充D.I水至液位；
5）自动添加设定每做板25片添加：硫酸添加1.5L，双氧水添加1.5L，E-504添加0.5L；分析添加时，E-504按双氧水添加量的1/3比率添加。
7.2.3酸洗缸开缸
1）往缸内注入D.I水1/2槽，开启循环泵；
2）加入98%硫酸1.5L，完成后补充D.I水至正常液位；
3）循环15分钟后取样化验药水浓度，OK后完成开缸；
4）酸洗缸每周保养换槽一次。
8.0 注意及安全事项
8.1控制面板（触摸屏）为设备精密部件，禁止用硬物触碰；
8.2该设备所配玻璃为钢化玻璃，清洁、保养、操作时应小心谨慎，慎防碰撞，严防损坏；
8.3处理化学物品及开缸配药、保养时，须穿戴适合之安全装备并采取适当之安全措施，以避免意外事故发生；
8.4加药作业时，须穿戴好防护面罩，防护口罩，耐酸碱手套及防酸碱鞋；
8.5处理强酸、强碱时，慎防滴落地面，损坏防腐油漆，如不慎滴落，应立即用清水稀释后用碎布或湿拖把清理干净；
8.6加药作业时，如不慎将药水溅落在眼睛或皮肤上，应立即用清水冲洗15—30分钟，然后到保安值班室做医务处理；如情况严重的由保安直接安排送医院救治。
9.0相关文件及表单
BM-SOP2A-PRE-02/01《减铜线生产记录表》
BM-SOP2A-PRE-02/02《减铜线保养记录表》
BM-SOP2A-PRE-02/03《减铜线参数点检表》
BM-SOP2A-PRE-02/04《减铜线季度/月度保养表》

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