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氩气净化机使用说明书

产品名称：催化再生式氩气净化机
规格型号： CZA-4C

成都中科普瑞净化设备有限公司

目 录
1. 设备正面图………………………………………………3
2. 设备用途和特点…………………………………………3
3. 工作原理………………………………………………..4
3.1 净化机的工作流程图 4
3.2 部件说明 4
4. 主要技术指标……………………………………………5
4.1 原料气体要求 5
4.2 纯气技术指标 5
4.3 设备技术参数 5
5. 设备安装…………………………………………………5
6. 操作方法………………………………………………..6
6.1 吸附塔选择 6
6.2 开机 6
6.3 停机 6
6.4 再生 6
7. 注意事项……………………………………………….7
8. 气体净化机的故障和排除…………………………….8
9. CZA-4C电器原理图……………………………………9

1. 设备正面图

2. 设备用途和特点
CZA－4C型氩气净化机能把普通纯氩净化后得到高纯氩。高纯氩气广泛应用于电子、冶金、机械、化工、原子能和光谱仪等产业部门和科学研究中，为其提供高纯度的工作气体。本机特点如下：
1) 催化剂活性高，因此工作温度低，净化后的气体纯度高。
2) 双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气。
3) 采用本机纯气吹扫的再生流程，再生不用氢，故不需专用机房，安全性好。
4) CZA－4C克服了老产品偶尔会产生“假断偶保护”使再生不能进行的缺点。
5) CZA－4C对再生具有半自动功能，操作比老产品更简单。
3. 工作原理
3.1 净化机的工作流程图

3.2 部件说明
AVF01原气进阀，C01催化塔,SVF01工作切换阀,QVF01 I再生气出阀,QVF02 Ⅱ再生气出阀,C02 I吸附塔,C03 Ⅱ吸附塔,SR01 I塔高效过滤器, SR02 Ⅱ塔高效过滤器，PI01 I塔压力表，PI02Ⅱ塔压力表,FI01再生气流速计,TFV01再生气调节阀（装在机内）,ZVF01 I路止逆阀,ZVF02Ⅱ路止逆阀, SVF02再生切换阀,AVF02纯气出阀。
原料氩气经原气进阀AVF01进入催化塔C01，原气中的O2等杂质与催化塔中的高效催化剂（在250℃左右）作用，转变成能被吸附塔吸附的物质。在I路工作的情况下，氩气经工作切换阀SVF01进人吸附塔I C02（室温），H2O、CO2等杂质被吸附剂吸附后，经高效过滤器SR01除去尘埃，然后经再生切换阀SVF02、纯气出阀AVF02流出系统，即可输出高纯气体。
在Ⅰ吸附塔C02工作的同时，可以对Ⅱ吸附塔C03进行再生，按下Ⅱ路再生按钮，系统会自动对Ⅱ吸附塔进行加热，并自动打开相关阀门，纯气就会经对加热的Ⅱ吸附塔逆向吹扫，把脱附的杂质排出机外，达到再生的目的。当Ⅰ吸附塔吸附杂质较多时，只需将工作切换阀SVF01转到Ⅱ吸附塔工作，将再生切换阀SVF02转到Ⅰ吸附塔再生状态，即可对I吸附塔进行再生，即可实现系统的连续稳定运行。
4. 主要技术指标
4.1 原料气体要求
本机原料氩气纯度≥99.9%；允许氧含量≤400PPm，水≤500PPm（即露点低于－25℃），其他杂质≤100PPm。
4.2 纯气技术指标
纯气的最大输出能力 4Nm3／h
纯气中杂质含量： O2≤1PPm
露点≤-70℃， 即H2O≤2PPm
CO+CO2≤0.1PPm
S的氧化物≤0.01PPm
尘埃粒子： ≥0.3µm的固体颗粒物≤3.5个/升（达到电子级水平）。
4.3 设备技术参数
工作压力 ≤0.8Mpa
催化塔工作温度 210～280℃
吸附塔工作温度 室温；
吸附塔再生温度 380～420℃
再生用氩气用量 0.6 L/min
电源: 电压220V，工作时0.6kw；再生时1.6kw
外型尺寸： 440mm×560mm×1220mm
设备重量： 120Kg
5. 设备安装
1) 把本机的原气进口与气源，纯气出口与用气设备用不锈钢管（或紫铜管）分别连接起来，并检查不漏。注意，连接处一定要加紫铜垫（已随机配备），才能保证不漏。
2) 把催化塔温控设定在250℃，吸附温控设定在400℃，（出厂时己设定好，用户可再检查一下）。
3) 请检查电源插座的相线、零线与本净化机插头的相线（L）、零线（N）是否一致。如果不一致，请改接一致后方可插入电源插座开机，否则会有烧坏净化机的危险。
6. 操作方法
6.1 吸附塔选择
由于系统配备有两个吸附塔，采用一用一备的模式设计，使用时需要选择一个未失效的吸附塔工作。
同时将工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02同时逆时针旋转到位，即选择Ⅰ路吸附塔（C02）工作，此时Ⅱ路吸附塔(C03)处于再生准备状态；
同时将工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02同时顺时针旋转到位，即选择Ⅱ路吸附塔（C03）工作，此时Ⅰ路吸附塔(C02)处于再生准备状态。
6.2 开机
加热催化塔：打开总电源SA1和催化加热开关SA2，加热催化塔。
通气：当催化塔的温度上升到工作温度，选择好吸附塔后，就可打开钢瓶总阀，原气进阀AVF01，待压力上升到所需工作压力后，再打开纯气出阀AVF02，就可向用气点输出高纯气体。
6.3 停机
由于停机期间需要保持机内处于正压状态，故停机时需调节原气压力，使机内充以0.4～0.6MPa的氩气，然后依次关断纯气出阀AVF02、原气进阀AVF01、气源总阀和电源SA2、SA1等。
6.4 再生
当Ⅰ吸附塔经较长时间工作，吸附杂质接近饱和，但又还未完全饱和失效时，就应转换到Ⅱ吸附塔工作，并对Ⅰ吸附塔再生。操作方法如下：
按下Ⅰ路再生按钮SB1，系统就会自动打开Ⅰ再生气出阀QVF01和接通Ⅰ吸附塔再生加热温控电源，Ⅰ塔会自动升温到设定的再生温度400℃并恒温。再生时间一般约需8－10小时（出厂时己设定好）。当再生时间达到后，本机会自动停止再生。再生后的吸附塔需要冷却到室温后才能再次用于净化工作。如果认为再生效果不好，可加长再生时间到24小时。再生时间可以自行设定（打开左侧门，在电器盒左侧操作）。
再生流速出厂时已调整到黄线处，随着时间的推移，该流速可能会发生变化，在再生期间，用户可以观察流速计FI01，如果偏移较大，就需要重新调节再生气调节阀TVF01，确保流速稳定在黄线附近，该阀在机内，打开右边门就可以调节。
当Ⅰ吸附塔工作时，按下Ⅱ路再生按钮SB2，就可对Ⅱ吸附塔进行再生。
7. 注意事项
1) 催化塔未达到工作温度，切勿打开原气进阀AVF01，否则会引起气体不纯。
2) 本净化机采用一用一备设计，只能对备用塔进行再生，切勿对工作塔进行再生，否则会引起气体严重不纯。
3) 一定要及时切换工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02。要求在工作吸附塔还未完全饱和失效之前就要切换到备用塔工作，并对快要失效的塔进行再生。至于每个塔工作多长时间就需要再生，这与原气的杂质含量有关，由用户根据本地区气源情况，及使用中总结的经验来确定。
4) 压力表只有再生时处于零，其它状态都要求高于0.2MPa的压力，如果有一路压力为零，而该路又没有处于再生状态，请打开有关阀门对其充气并注意进行气密性观察。
5) 再生期间，再生用氩气都需要有一定的流速，流速要达到黄线附近，如果流速计流速低于黄线，可以调节相应的调节阀使其流量达到黄线以上。
6) 工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02一定要同时顺时针或同时逆时针旋转，切忌交叉旋转，否则会引起气体的严重不纯。
7) 不论是由何种误操作引起的气体不纯，都可用反复再生的方法把纯度提高。举例如下：第一天（上午）选I路系统工作，则对Ⅱ路系统进行再生，再生8－10小时后，本机自动结束再生冷却过夜。第二天（上午）Ⅱ路系统己冷却到≤60℃时，转换到Ⅱ路系统工作，对Ⅰ路系统再生。一般这样反复再生一两次就可使纯度达到要求。
8) 若反复再生仍不能提高纯度，可能有以下两种原因。⑴原料气中的杂质含量太高，超过了本机的允许量。请更换原气。⑵催化剂耗尽，需停机检查。打开纯气阀，把机内的气体放空，当压力降为零后，打开催化塔上盖，用一根干净的铁丝探知催化剂还剩多少，若低于1/2时须加入新的催化剂。一般前两三年都不需要添加催化剂
9) 再生时再生吸附塔的压力一定要降为零，如果不为零可能是再生气出阀没打开，应检修此阀。
8. 气体净化机的故障和排除
序号
故 障
检 查 排 除 措 施
1
电流为0，
温度不升
① 查保险丝是否断
② 查电炉的加热丝和接头是否断
③ 查温控仪（XMT）是否坏。先验证面板上另一个（XMT）是否正常，确信正常后，用正常的（XMT）更换可疑的（XMT）检查。
④ 若①、②、③均正常，则肯定是可控硅损坏，更换即可。
2
碳含量高
切换到备用塔工作，用较大气流再生碳含量高的塔。
3
净化效果下降
加长再生时间、例如再生24～48小时
4
反复再生效果差
考虑更换原料氩气

9. CZA-4C电器原理图

9