单晶作业指导书.doc

一、取单晶准备
1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸；
2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；
3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；
二、拆炉取单晶
1、待单晶冷却4小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；
2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行检漏；
3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；
4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；
5、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；
6、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，抓紧重锤，用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，再将重锤升至副室内；
三、导流筒.保温盖.锅底料的取出
1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩（埚杆扳手）；
2、戴好手套及耐高温手套；
3、按顺序取出导流筒和保温盖；
4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；

1、戴好耐高温手套和准备好钳子；
2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；
3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；
四、清理大罐
1、准备好毛刷、吸管、专用工具；
2、带好手套、防尘口罩；
1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；
2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；
3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；
4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；
5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；

6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；
五、管道炉盖的清理
1、带口罩、手套；
2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布毛刷、吸尘器管等清扫所需物品；

1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；

2、安装管道盖时，一定要检查密封圈是否完好、洁净，拧紧螺丝时一定要对角拧紧，以防抽空时漏气。
六、小付室的清扫
1、打开副炉室门；
2、用沾有酒精的无尘纸擦拭小付室的附着物；
七、石墨件的清理
1、准备好清扫用品（毛刷、无尘纸、氩气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩；
2、依次用毛刷、吸尘器、无尘纸、清扫石墨件，直至确认无污物；
炉内的清理

1、准备好毛刷、吸尘器和专用工具；
2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；
3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位；
八、 安装石墨件
1、依次安装石墨件 埚杆.埚托.三瓣埚.
安装石英埚
1、 打开石英坩埚包装，对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；
2、 若无异常，用氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘；

3、 在炉内的石墨埚上装好石英坩埚；
装料
1、 将母合金放入石英坩埚内；
2、 在埚底平铺小型硅料，然后将大型硅料放在上面；
3、 在大型硅料之间的间隙里填充小型硅料；
4、 在大块硅料装完后，再装中型硅料；
5、 在装料到石英坩埚最上层时，中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；
6、 最后将硅料堆成锥形状，有利于放导流筒；

安装导流筒及保温盖
1、 装料完成后埚转为2/RPM左右旋转，查看坩埚旋转情况；

2、 清扫周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣；
3、 确认无摩擦快速将埚降至下限，埚降到位后，停止埚转，装好保温盖、导流筒；

炉盖的清扫
1、 用沾有酒精的无尘纸擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部；

打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖
副室的清扫
1、 准备好清扫棒、无尘纸、酒精、氩气；
2、 在清扫棒上缠上沾有酒精的无尘纸，清扫副室内部至上部；
3、 用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物；
4、 用沾有酒精的无尘纸认真擦拭重锤及钼夹头，最后用氩气认真吹净；
5、 按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的无尘纸擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉；
安装籽晶
1、 用沾有酒精的无尘纸认真擦拭籽晶，并用氩气吹净；

2、 把籽晶装在夹头上，装好钼销；
3、 用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后，按晶快升使其上至适当位置关闭副室小门，开始抽空；
抽空
1. 打开真空泵电源；
2. 缓慢打开球阀；
3. 抽空后炉内力达＜20Pa时，进行反复充氩气，使炉内压力＜10Pa；
4. 关闭真空球阀，进行冷检漏3分钟，看漏率是否小于1Pa；
加热化料
1、 抽空完成后，漏率达到要求后，打开真空球阀，打开氩气阀门，设定流量为20升/分，使炉内压力达到1000Pa左右；
2、 确认单晶炉进水、出水开关打开，并检查各进水分支开关已打开；
3、 打开加热电源开关；
4、 根据通过欧陆手动状态的OP功能每半小时，分步增加功率；(10、30、70、90KW)
引晶温度调试
1、温度切入自动后，按晶快降，将籽晶降至从主观察窗能看到的位置；
2、20分钟后，按晶快降按钮将籽晶降至距液面20mm处预热20分钟；
3、降籽晶使之与液面接触，晶转设定为8 转/分，熔接10分钟，根据接触光圈的形状（光圈圆合适，方不合适温度低），确定引颈温度是否合适，若合适开始引颈，若不合适，通过欧陆调整温度20分钟后开始引颈，温度不宜偏低；
引晶
1、 打开晶升电源，计长清零；给定埚转至7 转/分.；
2、 缓慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速，让拉速保持在1.5mm/min----6mm/min之间，引颈直接控制在3mm左右，引颈长度不低于150mm.；
3、 引晶过程中若温度不适，可进行手到调节温度，但不宜过大；
放肩
1、引颈达到预定的长度后，缓慢降低拉速直至0.7mm/min进行放肩；
2、放肩务必要放平肩，放肩时用温校速率来调节温度；
转肩
1、 将肩放到适当直径时，将拉速缓慢提高；
2、 密切关注单晶的生长速度，适当增减拉速；
3、 待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速，同时适当给定埚跟随动；
转肩结束后，计长清零，实时观察单晶生长情况待其生长稳定后，调整伊尔根，使其压单晶光圈1/3—1/2之间的位置，数字信号大小为350-450左右；
4、 调整好拉速和温度，将计算机切入等径控制和温度控制自动状态。
等径
1、计算机切入自动控制后认真作好各项记录；
2、等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔15分钟对炉内巡视一次，确定有无异常，每一个小时做一次拉晶记录；
收尾
1、当晶体长达到达预定长度或埚内剩料少时，等径和温度自控手动退出，慢慢的降埚跟停止埚升进行收尾；
2、要经常检看收尾情况，对拉速和温度做适当调整；
3、收尾长度应为晶体直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入晶体冷却工序；
4、单晶脱离液面时，按埚降快速，使之脱离
停加热
1、收尾完成后，按下埚快降键，下降20mm后确认埚快降停止，不成晶时下降30mm.；
2、晶升拉速调整到1.0mm/min，使单晶自动上升；
3、欧陆归0；
4、调整计算机各参数，使之恢复初始状态