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无尘车间空气洁净度

经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
一 洁净度等级
等 级
每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数
每立方米（升）空气中》5μm尘粒数
100
《35*100（〈3.5〉

1000
《35*1000（〈35〉
《250（〈0.25〉
10000
《35*10000（〈350〉
《2500（〈2.5〉
100000
《35*100000（〈3500〉
《25000（〈25〉
二 美国洁净等级
国际单位
英制
单位
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
M1.0

350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
/
/
M1.5
1
1240
35.0
265.0
7.5
106
3
35.3
1
/
/
M2.0

3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
/
/
M2.5
10
12400
350.0
2650
75
1060
30
353
10
/
/
M3.0

35000
991.0
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
/
/
M3.5
100
/
/
26500
750
10600
300
3530
100
/
/
M4.0

/
/
75700
2140
30900
875
10000
283
/
/
M4.5
1000
/
/
/
/
/
/
35300
1000
247
7
M5.0

/
/
/
/
/
/
100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
/
/
/
/
/
/
353000
10000
2470
70
M6.0

/
/
/
/
/
/
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
/
/
/
/
/
/
3530000
100000
24700
700
M7.0

/
/
/
/
/
/
10000000
283000
61800
1750
三 清洁要求
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂；
（3）使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
（8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。

四 各行业对无尘车间空气洁净度的要求
洁净技术已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制，由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同，使用要求不同，因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级，还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染，有的无尘车间还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。

1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级

集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。

举例说明：

例一、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路，图形特形尺雨1.0um，控制粒子粒径0..1um.

无尘车间空气洁净度等级要求：

光刻、匀胶区 ISO 3级

离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级

离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级

例二、某厂集成电路前工序洁净厂房，无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um，控制粒子粒径0.2um.

无尘车间空气洁净度等级要求：

光刻、匀胶区 ISO 3级

离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级

离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 6级

2、一些电子产品生产环境的空气洁净度等级

随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制无尘车间内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量，目前国内外还没有统一电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种、所采用的生产工艺技术、生产工艺设备、生产用原辅料以及无尘车间运行的实践经验确定设计建造无尘车间的空气洁净度等级。

举例说明：

例一、薄膜晶体管彩色液晶显示器生产用无尘车间，TFT-LCD具有体积小、质量轻、易携带、耗电低、色彩逼真、大容量、高分辨示等优点。

各无尘车间空气洁净度等级，控制粒子粒径为0.3um

清洗、涂胶、曝光间 ISO 4级

显影、刻蚀间 ISO 5级

成盒间 ISO 5级

溅射、CVD间 ISO 6级

例二、某高密度磁带生产用洁净厂房、无尘车间控制微粒粒径0.5um

各无尘车间的空气洁净度等级要求
涂布头 ISO 5级

备件、切带、带基、测试、涂布间和烘干、固化间 ISO 6级

组装、维修间和部分原料库 ISO 7级

砂磨、化验间和配件间 ISO 8级

成品库和部分原料库 准洁净间

3、精密机械、精细化工等产品生产环境的空气洁净度等级

例一、一个陀螺仪生产用无尘车间

无尘车间空气洁净度等级要求

装配间 ISO 6级

轴承加工间 ISO 5级

例二、一个感光胶片生产用无尘车间

流延机头部，涂布机头部 ISO 5级

涂布室，流延机室 ISO 6级