AZO透明导电膜生产线.pdf

AZO透明导电膜生产线产品说明透明导电膜生产线产品说明Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China郭 爱 云 郭 爱 云 工艺总工工艺总工(材料学硕士材料学硕士)E-mail:T Mobile:[phone]湖南湘潭宏大真空设备有限公司湖南湘潭宏大真空设备有限公司 Http:/2009.7透明导电膜市场种类：透明导电膜市场种类：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China1、氧化锡类、氧化锡类SnO2（掺锌氧化锡（掺锌氧化锡 Zn:SnO2、掺锑氧化锡、掺锑氧化锡SbSnO2和掺氟氧化 锡和掺氟氧化 锡F:SnO2等）；常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、建筑玻璃和抗静电膜等膜层结构中作 功能膜层；这类透明导电膜通常采用热喷涂的方法制备，适合玻璃在线喷涂 沉积工艺。等）；常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、建筑玻璃和抗静电膜等膜层结构中作 功能膜层；这类透明导电膜通常采用热喷涂的方法制备，适合玻璃在线喷涂 沉积工艺。2、氧化锌类、氧化锌类ZnO（掺镓氧化锌（掺镓氧化锌Ga:ZnO和掺铝氧化锌和掺铝氧化锌Al:ZnO等）；常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、汽车建筑玻璃、液晶平板显示和场致 发光平板显示以及加热防雾防霜透明膜中最功能膜层；此类透明导电膜通常 采用离线磁控溅射沉积的方法，适合大面积沉积工艺。等）；常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、汽车建筑玻璃、液晶平板显示和场致 发光平板显示以及加热防雾防霜透明膜中最功能膜层；此类透明导电膜通常 采用离线磁控溅射沉积的方法，适合大面积沉积工艺。3、氧化铟类、氧化铟类In2O3（掺锡氧化铟（掺锡氧化铟Sn:In2O3(ITO)、掺锌氧化铟、掺锌氧化铟Zn:In2O3和掺 镁氧化铟和掺 镁氧化铟Mg:In2O3；常用于液晶平板显示、场致发光平板显示和其它面板显示领域；常用磁控 溅射工艺沉积，适合大面积沉积工艺。；常用于液晶平板显示、场致发光平板显示和其它面板显示领域；常用磁控 溅射工艺沉积，适合大面积沉积工艺。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：目前在氧化铟锡透明导电膜玻璃（目前在氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）、掺）、掺Al氧化锌透明 导电膜玻璃（氧化锌透明 导电膜玻璃（AZO Coating Glass）和掺）和掺F氧化锡透明导电膜玻璃（氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass）三种透明导电膜中，掺）三种透明导电膜中，掺F氧化锡透明导电膜玻璃（氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass）通常采用在线生产的方式进行生产，所以其生产商大都为浮 法玻璃生产商，其生产线的投资巨大，并且具有很高的技术含量，不适合中 小型企业和非玻璃生产企业进行投资；氧化铟锡透明导电膜玻璃（）通常采用在线生产的方式进行生产，所以其生产商大都为浮 法玻璃生产商，其生产线的投资巨大，并且具有很高的技术含量，不适合中 小型企业和非玻璃生产企业进行投资；氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass）和掺）和掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）都可以 采用大面积磁控溅射的方式进行离线镀膜，并且由于氧化铟锡透明导电膜玻 璃（）都可以 采用大面积磁控溅射的方式进行离线镀膜，并且由于氧化铟锡透明导电膜玻 璃（ITO Coating Glass）是传统的平板液晶显示（）是传统的平板液晶显示（FPD）行业生产设备，国 内已经具有众多生产厂家，但是由于）行业生产设备，国 内已经具有众多生产厂家，但是由于ITO导电膜不适合硅基非晶硅薄膜电池生 产工艺，限制了其在太阳能领域的应用；只有掺导电膜不适合硅基非晶硅薄膜电池生 产工艺，限制了其在太阳能领域的应用；只有掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）具有既满足透明导电的技术要求，同时又具有大面积 批量生产的价值，故目前掺）具有既满足透明导电的技术要求，同时又具有大面积 批量生产的价值，故目前掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass）生产线的建设已经进入了快速扩张时期。）生产线的建设已经进入了快速扩张时期。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China透明导电膜应用分析：透明导电膜应用分析：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜生产线透明导电膜生产线连续磁控溅射镀连续磁控溅射镀AZO膜生产线整体结构说明 制造厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司 生产型号：膜生产线整体结构说明 制造厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司 生产型号：HD-ILS-2009-6 连续磁控溅射镀连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分，第一部 分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部 分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部 分为出口室；三对采用膜生产线共设计有七个真空腔体部分，第一部 分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部 分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部 分为出口室；三对采用PCU04闭路环控制的中频闭路环控制的中频Si靶，形成高质量的隔 离靶，形成高质量的隔 离SiO2层；二十个层；二十个/十对平面十对平面AZO阴极，采用中频电源阴极，采用中频电源/直流电源实现高 质量的直流电源实现高 质量的AZO透明导电膜；设备设计加工尺寸为宽透明导电膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长，长1400mm的 平面基板材料，生产加工周期可以优化到的 平面基板材料，生产加工周期可以优化到120秒；生产线采用分子泵抽气 形成气氛隔离的先进设计，生产线共配有秒；生产线采用分子泵抽气 形成气氛隔离的先进设计，生产线共配有43台涡轮浮分子泵以获得高效 的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布台涡轮浮分子泵以获得高效 的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China连续磁控溅射镀连续磁控溅射镀AZO膜生产线膜生产线生产厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司生产线类型：立式连续磁控溅射镀膜生产线卧式连续磁控溅射镀膜生产线生产厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司生产线类型：立式连续磁控溅射镀膜生产线卧式连续磁控溅射镀膜生产线Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜生产线技术特点透明导电膜生产线技术特点连续磁控溅射镀连续磁控溅射镀AZO膜生产线性能指标：（膜生产线性能指标：（1）设备类型：卧式）设备类型：卧式/立式连续磁控溅射镀膜线（立式连续磁控溅射镀膜线（2）镀膜基片架尺寸：）镀膜基片架尺寸：11100mm(W)1400mm(L)3mm基片设计；（基片设计；（3）镀膜设备生产节奏：）镀膜设备生产节奏：120180s一架一架；（4）膜层均匀性设计要求：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性）膜层均匀性设计要求：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性5；膜层厚度：；膜层厚度：(0.2um-0.25um)SiO2(1um-1.2um)AZO（5）镀膜室的本底真空要求：）镀膜室的本底真空要求：8E-4Pa；（；（6）阴极结构设计要求：采用平面阴极，初步确定靶规格为）阴极结构设计要求：采用平面阴极，初步确定靶规格为135mm1400mm；（；（7）设备传动方式：采用双摩擦传动的卧式小车装载运行方式（卧式线）；采用摩擦磁导向小车张载运行方式（立式线）；（）设备传动方式：采用双摩擦传动的卧式小车装载运行方式（卧式线）；采用摩擦磁导向小车张载运行方式（立式线）；（8）镀膜温度控制：采用不锈钢铠装加热装置，基片最高温度可达）镀膜温度控制：采用不锈钢铠装加热装置，基片最高温度可达350，按照常 温，按照常 温400可以任意设定设计，控制稳定度为可以任意设定设计，控制稳定度为5；（；（9）控制系统要求：控制系统能实现人、机对话，及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示，故障显示能提示操作人员正确的操作和排故；（）控制系统要求：控制系统能实现人、机对话，及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示，故障显示能提示操作人员正确的操作和排故；（10）生产线年产能：）生产线年产能：25.5万万30万平方米万平方米12 30 24 3600 0.8MST=Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜试产产品测试结果报告透明导电膜试产产品测试结果报告试验目的：大面积连续生产试验目的：大面积连续生产AZO透明导电膜工艺 试验地点：深圳透明导电膜工艺 试验地点：深圳X光电科技有限公司 试验设备：大面积抗反射导电膜生产线 立式连续磁控溅射镀膜生产线（有效沉积面积光电科技有限公司 试验设备：大面积抗反射导电膜生产线 立式连续磁控溅射镀膜生产线（有效沉积面积900mm）试验时间：）试验时间：2009.7.22009.7.28 试验内容：直流磁控溅射生产试验内容：直流磁控溅射生产AZO膜工艺试验 交流磁控溅射生产膜工艺试验 交流磁控溅射生产AZO膜工艺试验 膜工艺试验 3mm超白玻璃镀膜工艺试验 抗反射超白玻璃镀膜工艺试验 抗反射AZO透明导电膜工艺试验 性能测试：便携式面电阻测试仪、透明导电膜工艺试验 性能测试：便携式面电阻测试仪、X荧光光谱仪、射线衍射仪、扫描 电子显微镜、数字显微镜、荧光光谱仪、射线衍射仪、扫描 电子显微镜、数字显微镜、X-rite 色度计和岛津多功能光谱仪等。测试地点：色度计和岛津多功能光谱仪等。测试地点：X光电科技有限公司和武汉理工大学材料研究与测试中心光电科技有限公司和武汉理工大学材料研究与测试中心Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China1、AZO透明导电膜试产产品光电性能分析透明导电膜试产产品光电性能分析AZO Coating Spectrum0102030405060708090100325375425475525575625675725775825Wavelength/nmTrans./%DC1ACAR+AZODC2GlassXiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜试产产品光电性能分析透明导电膜试产产品光电性能分析ItemSampleSurface ResistanceFilm ThicknessVisible Spectrum(420nm-680nm)Process DeseriptionDC112.2-14.0(/)800nm83.4%(Ave)89.5%(Max)DC Magnetron Sputteriing With O2AC10.2-12.6(/)910nm82.9%(Ave)90.1%(Max)AC Magnetron Sputteriing With O2AR+AC10.2-12.6(/)910nm82.4%(Ave)95.7%(Max)AC Magnetron Sputteriing With O2 on AR Coating GlassDC27.0-9.0(/)1300nm73.3%(Ave)90.3%(Max)DC Magnetron Sputteriing Without O2产品试验内容：采用了直流磁控溅射和中频交流磁控溅射的工艺，在大面积连续生产线上 进行样品试验，尝试多种工艺并形成了多种产品试验内容：采用了直流磁控溅射和中频交流磁控溅射的工艺，在大面积连续生产线上 进行样品试验，尝试多种工艺并形成了多种AZO导电膜产品样品；样品膜层的电阻率为导电膜产品样品；样品膜层的电阻率为1.0 1.1E-3 cm，电阻率稳定，透射率高，是优秀的透明导电膜玻璃产品。，电阻率稳定，透射率高，是优秀的透明导电膜玻璃产品。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 Email：Refrective Index1.71.92.12.32.52.7200300400500600700800Wavelength/nmIndexAC-NDC-NXiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜光学性能分析透明导电膜光学性能分析Absorption Coefficient00.20.40.60.81250350450550650750850Wavelength/nmCoefficientAC-ADC-AAZO膜光学性能分析：采用了直流磁控溅射和中频交流磁控溅射的工艺，在大面积连续生 产线上形成的膜光学性能分析：采用了直流磁控溅射和中频交流磁控溅射的工艺，在大面积连续生 产线上形成的AZO导电膜光学折射率基本一致，在可见光区域内为导电膜光学折射率基本一致，在可见光区域内为1.9左右的折射率，有弱 吸收；在不采用补氧的工艺条件下，左右的折射率，有弱 吸收；在不采用补氧的工艺条件下，AZO导电膜在可见光区域内的吸收严重，电阻率无明 显变化。导电膜在可见光区域内的吸收严重，电阻率无明 显变化。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China2、AZO透明导电膜微观结构分析透明导电膜微观结构分析Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜透明导电膜XRD检测数据检测数据PNo.2-ThetaInt.WidthdI130.9410712.88780234.362861250.572.6078100372.38136040.661.30455SystemHexagonalLatticePrimitiveCell Para.a3.256b5.212XRD检测结果分析：检测结果分析：AZO膜膜X射线衍射显示在一定温度下采用磁控溅 射形成的射线衍射显示在一定温度下采用磁控溅 射形成的AZO膜微观结构为六角晶系纤锌矿结构，并以膜微观结构为六角晶系纤锌矿结构，并以ZnO（002）择优生长，晶体结构非常明显；同时有少量）择优生长，晶体结构非常明显；同时有少量Al2O3微晶结构。微晶结构。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜透明导电膜SEM断面检测结果断面检测结果放大倍数为放大倍数为20000倍的 倍的 AZO膜断面扫描：膜层 与玻璃界面清晰，膜层 显示厚度为膜断面扫描：膜层 与玻璃界面清晰，膜层 显示厚度为928nm左 右，无明显的晶粒。左 右，无明显的晶粒。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜透明导电膜SEM断面检测结果断面检测结果放大倍数为放大倍数为20000倍的 倍的 AR膜断面扫描：膜层 与玻璃的界面清晰，膜断面扫描：膜层 与玻璃的界面清晰，TiO2与与SiO2的界面不 可见，膜系总厚度显 示为的界面不 可见，膜系总厚度显 示为600nm左右。左右。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜透明导电膜SEM断面检测结果断面检测结果放大倍数为放大倍数为30000倍的 倍的 ARAZO膜断面扫描：膜断面扫描：AR膜层与玻璃界面和 膜层与玻璃界面和 AR膜与膜与AZO膜的界面 非常清晰，膜的界面 非常清晰，AZO与与AR 膜的结合非常紧密，无明显的晶粒结构。膜的结合非常紧密，无明显的晶粒结构。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China3、退火处理对光学性能的影响、退火处理对光学性能的影响Spectrum0102030405060708090100325375425475525575625675725775825Wavelength/nmTrans.%After AnnealingBefore AnnealingXiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜微观结构分析透明导电膜微观结构分析XRD检测结果分析：检测结果分析：AZO 膜膜X射线衍射显示在一定温 度下热处理后，射线衍射显示在一定温 度下热处理后，AZO膜主 要为膜主 要为ZnO（002）择优生长 更加明显；）择优生长 更加明显；ZnO（004）消 弱，同时有少量）消 弱，同时有少量Al2O3微晶 结构已经没有出现了。微晶 结构已经没有出现了。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China4、AZO透明导电膜酸蚀制绒工艺结果透明导电膜酸蚀制绒工艺结果TCOn-a-Si:Hi-a-Si:Hp-a-SiC:HTCOAl/Ag金属接触玻璃基板Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜酸蚀制绒工艺结果透明导电膜酸蚀制绒工艺结果无氧直流磁控溅射无氧直流磁控溅射AZO膜酸蚀光谱膜酸蚀光谱Spectrum0102030405060708090100325425525625725825Wavelength/nmTrans./%Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China无氧直流磁控溅射无氧直流磁控溅射AZO膜酸蚀性能结果膜酸蚀性能结果腐蚀时间面电阻腐蚀时间面电阻(/)透射率（透射率（420nm-680nm）膜面反射率）膜面反射率(420nm-680nm)玻璃面反射率玻璃面反射率(420nm-680nm)0s8.2-8.873%17.8%19.6%30s16.2-17.565%18.9%16.2%TCOSi:HTCOAl/Ag金属接触玻璃基板1、减少玻璃与空气界面面的反射；、减少玻璃与空气界面面的反射；2、减少玻璃与、减少玻璃与AZO膜面的反射；膜面的反射；3、增加、增加TCO与与Si层的反射；层的反射；4、增加光与、增加光与Si层的接触面，增加界 面吸收。层的接触面，增加界 面吸收。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China有氧交流磁控溅射有氧交流磁控溅射AZO膜酸蚀制绒光学显微膜酸蚀制绒光学显微放大放大2000倍光学显微分析：腐蚀前倍光学显微分析：腐蚀前AZO膜的表面光滑，除赃物以外没有岛状结构或者起伏结 构；经过腐蚀后，膜面具有明显的圆质点结构。膜的表面光滑，除赃物以外没有岛状结构或者起伏结 构；经过腐蚀后，膜面具有明显的圆质点结构。腐蚀前腐蚀后腐蚀前腐蚀后Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜酸蚀制绒表面形貌分析透明导电膜酸蚀制绒表面形貌分析中频溅射形成的中频溅射形成的AZO膜热蚀刻膜热蚀刻30s形貌形貌SEM表面扫描：放大表面扫描：放大5000倍和倍和10000倍的扫描电子显微镜可以明显的见到腐蚀后的倍的扫描电子显微镜可以明显的见到腐蚀后的AZO表面 已经形成了圆形弹坑状的绒面结构，圆形的尺寸为表面 已经形成了圆形弹坑状的绒面结构，圆形的尺寸为0.5um左右大小。左右大小。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜酸蚀制绒表面形貌分析透明导电膜酸蚀制绒表面形貌分析中频溅射形成的中频溅射形成的AZO膜热处理后蚀刻膜热处理后蚀刻30s形貌中频溅射形成的形貌中频溅射形成的AZO膜蚀刻膜蚀刻30s形貌热处理对绒面制作的影响：经过一定温度的热处理后，用同样工艺腐蚀的形貌热处理对绒面制作的影响：经过一定温度的热处理后，用同样工艺腐蚀的AZO膜表面凹坑 结构多而小，并且大小均匀。膜表面凹坑 结构多而小，并且大小均匀。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜酸蚀制绒表面形貌分析透明导电膜酸蚀制绒表面形貌分析中频溅射形成的中频溅射形成的AZO膜热 处理后蚀刻膜热 处理后蚀刻30s30s形貌中频溅射形成的形貌中频溅射形成的AZO 膜蚀刻膜蚀刻30s形貌形貌Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜酸蚀制绒光电性能分析透明导电膜酸蚀制绒光电性能分析Etching Spectrum010203040506070809010030040050060070080090010001100Wavelength/nmTrans./%Before EtchingAfter EtchingXiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaAZO透明导电膜酸蚀制绒光电性能分析透明导电膜酸蚀制绒光电性能分析检测项腐蚀时间检测项腐蚀时间面电阻面电阻（/）透过率（透过率（420nm680nm）厚度（光学）（）厚度（光学）（nm）0s12.281.496020s15.981.030s16.874.040s26.672.3540采用中频磁控溅射形成的采用中频磁控溅射形成的AZO透明导电膜经过透明导电膜经过30s的酸蚀后具有良好的绒面结构，同时透 射率无明显影响，面电阻上升的酸蚀后具有良好的绒面结构，同时透 射率无明显影响，面电阻上升37左右，估计损失厚度为左右，估计损失厚度为300nm左右。左右。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China5、结论、结论（1）磁控溅射生产线可以实现大面积连续生产）磁控溅射生产线可以实现大面积连续生产AZO透明导电膜，一条生产线可以 实现年产能透明导电膜，一条生产线可以 实现年产能35万平方米左右（以万平方米左右（以1.1m1.4m基片设计）；（基片设计）；（2）采用磁控溅射生产线生产的）采用磁控溅射生产线生产的AZO透明导电膜具有优秀的可见光透射率，平均 透射为透明导电膜具有优秀的可见光透射率，平均 透射为80以上；并具有良好而稳定的面电阻率，面电阻率为以上；并具有良好而稳定的面电阻率，面电阻率为1.0E-3 cm；（；（3）XRD检测显示，磁控溅射生产的检测显示，磁控溅射生产的AZO薄膜结构为六方晶系纤锌矿结构，并以 薄膜结构为六方晶系纤锌矿结构，并以 ZnO(002)择优生长，同时具有择优生长，同时具有Al2O3微晶；经过一定时间的热处理后，微晶；经过一定时间的热处理后，ZnO（002）优先生长；）优先生长；SEM断面扫描显示没有明显的柱状晶体结构；（断面扫描显示没有明显的柱状晶体结构；（4）SEM表面扫描显示，对表面扫描显示，对AZO薄膜采用酸蚀制绒工艺，可以形成圆形弹坑状绒 面，并具有良好的光陷作用；（薄膜采用酸蚀制绒工艺，可以形成圆形弹坑状绒 面，并具有良好的光陷作用；（5）采用磁控溅射工艺实现大面积连续生产）采用磁控溅射工艺实现大面积连续生产AZO透明导电膜需要补充一定的氧，可以获得透射良好的透明导电膜需要补充一定的氧，可以获得透射良好的AZO膜层；（膜层；（6）采用中频交流和直流磁控溅射都可以形成良好的）采用中频交流和直流磁控溅射都可以形成良好的AZO透明导电膜，但是在生 产效能上，直流磁控溅射工艺更有优势。透明导电膜，但是在生 产效能上，直流磁控溅射工艺更有优势。Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,ChinaThank you!Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co.,Ltd,Hunan,China 说明：郭爱云 说明：郭爱云 E-mail：