蓝宝石晶体的双面研磨加工.pdf

第 l 7卷第 l O期 2 0 0 9年 1 O月 光学 精密工程 Opt i c s an d Pr e c i s i o n En gi ne er i ng Vo1 1 7 N01 0 0e t 2 00 9 文章 编 号 1 0 0 4 9 2 4 X(2 0 0 9)1 0 2 4 9 3 0 6 蓝 宝石晶体 的双面研磨加工 文东辉，洪 滔，张克华，鲁聪达 (浙江工业大学 机械制造及 自 动化教育部重点实验室，浙江 杭州 3 1 O O 3 2)摘要：为了实现对蓝宝石晶体的高效低损伤研磨加工，对蓝宝石 晶体 的双 面研 磨加工表面粗糙度、研磨均匀性 和亚表 面 损伤层的深度进行实验研究。采用 2 8 0#碳化硼磨粒双面研磨(0 0 0 1)面蓝宝石 晶体，考察 了研磨 时间对 材料去除速率、表面粗糙度的作用规律，根据蓝宝石 晶体切割表面状态确定了双面研磨的加工余量；通过 WY KO粗糙度仪从微 观上 分 析了蓝宝石 晶体表面的研磨均匀性；最后，应用纳米压人测试分 析了亚表面损伤层 的深 度。实验 结果表 明：蓝宝石 晶体 经过 1 2 0 mi n的双面研磨加工后可以获得 R 为 0 5 2 3 m，R。6 0 m的表面；其深度损伤层约为 4 6 0 n m，亚表 面损 伤 层 1 m。关键词：蓝 宝 石 晶体；双 面研 磨；均 匀性；亚表 层 损 伤 中 图 分类 号：07 8 6 文 献 标 识 码：A Du a l l a p p i ng pr o c e s s f o r s a p p hi r e c r y s t a l W EN Do n g h ui，H0NG Ta o，ZH ANG Ke hu a，LU Con g d a (Ke y L a b o r a t o r y o f Me c h a n i c a l Ma n u f a c t u r e a n d Au t o ma t i o n，Mi n i s t r y o f Ed u c a t i o n，Z h e j i a n g Un i v e r s i t y o f Te c h n o l o g y，Ha n g z h o u，3 1 0 0 3 2，C h i n a)Ab s t r a c t：I n or d e r t o a c h i e v e h i gh e f f i c i e nc y a nd l ow d a ma g e d l a y e r s du r i n g a s a p phi r e c r y s t a l l a pp i n g pr o c e s s，a n e xp e r i m e nt a l r e s e a r c h o n t h e r ou gn e s s，l a p pi n g uni f o r mi t y a n d s u b s u r f a c e d a ma g e d l a y e r we r e s t u di e d i n t hi s p a pe r The s a pp hi r e wi t h(0 0 0 1)o r i e nt a t i o n wa s l a p pe d b y 2 8 0 m e s h b or o n c a r b i d e a br a s i v e g r i t s Th e e f f e c t s o f l a pp i n g t i me o n t h e ma t e r i a l r e mo v a l r a t e s a nd s u r f a c e r o ug hn e s s we r e i nv e s t i ga t e d，a nd t h e p r o c e s s i ng r e ma i nd e r s b y t he du a l l a pp i n g we r e d e t e r m i ne d i n a c c o r d a nc e wi t h t h e s u r f a c e s t a t e s o f t he s a p ph i r e The n mi c r o s u r f a c e u ni f o r m i t y of t he s a p p hi r e wa s a l s o p r e s e n t e d b y u s i n g W YKO l a s e r e qu i p m e nt Fi na l l y，a n a n o i n de nt a t i o n t e s t wa s c a r r i e d out t o m e a s u r e t he d e p t h o f d a ma ge d l a ye r a c c o r di n g t o t he h a r dn e s s o r mod ul u s v a r i a n c e sEx p e r i me n t a l r e s ul t s s h ow t ha t t h e s a pp hi r e c r ys t a l c a n of f e r t h e R i n 0 5 2 3 b t m，R 6 0“m，t he d e p t h o f h e a v y d a ma g e d l a y e r of 4 6 0 n m，a nd t h e d e p t h of s u b s u r f a c e d a ma g e d l a y e r n o mor e t ha n 1,m，a f t e r i t i s l a pp e d by t h e a b r a s i v e wi t h 28 0 m e s h b o r on c a r b i de gr i t s i n 1 20 m i n Ke y wo r d s：s a p ph i r e c r y s t a l；du a l l a pp i ng；u ni f o r m i t y；s u b s ur f a c e d a ma g e 收稿 日期：2 0 0 8 0 7 1 5：修订 日期：2 0 0 8 1 0 1 5 基金项 目：国家重大科学研究计划 资助项 目(N o 2 0 0 6 C B 9 3 2 6 0 7)；国家 自然科学基金 重点资助项 目(No 5 0 5 3 5 0 4 0；N o 5 0 7 0 5 0 8 8)；浙江省科 技计划重点资助项 目(N o 2 0 0 7 C 2 1 0 6 1)；清华大学 摩擦学 国家重 点实验室 开放 基金资助项 目；浙江工业大学重中之中人才基金资助项 目 光学精密工程 第l 7 卷 引 言 早在 原始 社会，我们 的祖 先 就 用 研磨 的方 法 来 加工石 制工 具，最 早有 记 载 的研 磨 加工 出现 在 公元 前 2 0 0 0年左右，埃及 人 已经开 始研磨 他们 的 金属 工具u 。双 面研 磨加工 是一 种 以磨 粒 的微 小 塑性切削、滚轧等形式为主体的材料去除方式 ，在材 料去 除过 程 中由于上、下研 磨盘 同时 作用，使 得局部高温、高压对称作用在工件的两个平行平 面，有利 于消 除热 变 形或 机 械 作 用 引 发并 破 坏 材 料 的平 面度、平 行度 。采 用两 个 平 行 平 面 同时 进行 研磨 加工，效 率要 比分 别 研 磨加 工两 个 平 面 高出很多，因此，双面研磨 已成为晶体超精密表面 加工 的主要方法 4 。蓝宝石晶体双面研磨的主要 作用 有l 5 ：(1)去 除蓝 宝 石 表 面 由切 片过 程 引 起 的切 痕 和 凹 凸不 平；(2)使 表 面 加 工 损 伤 达 到 一 致，以便在化学腐蚀过程 中确保腐蚀 的速度达到 均匀一致；(3)修正蓝宝石 的几何厚度，使片与片 之 间 的厚 度差 缩小；(4)提 高 平行 度，使蓝 宝 石 各 处 的厚度 均匀；(5)改善 表面平 整度。蓝 宝石 晶体 生长 后 需 要进 行 切 片，切 片 后 的 蓝 宝石 表面 十分 粗糙 且 不 平 整，测 试 结 果表 明蓝 宝 石表 面粗糙 度 不 均 匀，R 范 围 为 4 6 m，个 别 甚 至高达 1 7 4 m_ 7 ，为 此需 要 进 行 双 面研 磨 加 工，以便 为后 续 工 序做 好 准 备 。不过 双 面 研 磨 过程 复杂且 不 可 视，往 往需 要 特 定 的 实 验来 说 明研磨机理。目前国内外对蓝宝石晶体双面研磨 加 工 的 表 面 材 料 去 除 过 程 尚 未 进 行 深 入 的 研 究。，这 也极 大 地 阻 碍 了蓝 宝 石 晶体 大 批 量 加 工技 术水平 的提 高。针对该 项技 术 的研究 现 状，本 文 开 展 了蓝 宝 石晶体双面研磨加工技术的研究。系统研究了研 磨加 工 的材料 去除率、粗糙 度、表面 均匀性 和亚 表 面损 伤，给 出了试验 方法，并对试 验结 果进 行 了分 析。2 试 验 方 法 实验所用设备为盛兴机械 MS 一 6 S双面研磨 机，上、下 盘 为 中 3 8 O mm 铸 铁 十 字 槽 研 磨 盘，由 于蓝 宝石 为典 型 的硬 脆 陶 瓷 材料，故 选 用 较 低 的 线 速 度进行 加工，研磨 盘转 速 一7 5 r rai n，气 压 为 0 1 MP a，压 力调节 器处 于轻 压状 态，每 批次 加 工 1 2片 的蓝 宝石 晶体。蓝 宝 石 晶体 原 始质 量 为 5 2 6 1 0 g。采 用 德 国 Ma h r S 2型接 触 式 粗 糙 度 测 试 仪 测 试 粗 糙 度，由 日本 岛 津 公 司 的 毫 克 级(0 1 mg)AUY2 2 0型天平 测 量质 量，每 次加 工后 采 用上 海苏 豫 电子有 限公 司 的双 频超 声波 清洗 机 S K2 2 1 0 L H 进 行 5 mi n的 清 洗，然 后 在 干 燥 皿 中 进 行 干燥处 理。3试验 结 果 与 分析 3 1表面粗 糙 度分析 试 验 结 果 见 图 1 图 3。图 中 显 示：经 过 1 2 0 rai n 的双 面研磨 加工 后，蓝 宝石 晶体 被 去 除的 双 面 总厚 度 为 9 0 1 0 2 m，平 均 值 为 9 7 m，远 远超过切片过程 中造成的 R 最大值 1 7 m，根据 加 工 尺寸结 合 实际经 验 可 以初 步判 断此 双面研 磨 加 工 消 除 了 切 片 的划 痕 和 残 余 应 力。图 1(a)、(b)表 明，切 片后 的蓝 宝 石 晶 体 表 面粗 糙 不 平，研 磨 过 程 中局部 接触 压 力 很 大，因此 粗研 的起 始 阶 段磨 粒去 除速 率 较 快，粗 糙 度 下 降很 快。经过 一 段时 间后，磨粒 的粒 径尺 寸分 布趋 于平 和，蓝 宝石 晶体 与磨 粒 的接 触 面逐 渐 增 大，进 入 均 匀性 研 磨 阶段，此 时蓝宝 石 晶体表 面粗 糙度 趋于 缓和，如 图 1(c)、(d)和 图 2(c)、(d)所示，蓝宝 石 晶体 的去 除 速率 趋 于稳定。根 据 实验 数 据 的特 征综 合 图 1 和 图 2可 以判 断 出：经过 4 5 rai n后 的研磨 加 工都 属 于均 匀性研 磨 阶段，这一 结论 可 以从 图 3(a)统 计 的粗 糙度平 均值 结 果 中得 到 论 证，在 前 4 5 mi n 时，粗糙度 R 下降速度快，4 5 mi n后粗糙 度 R 基 本不 变，一 方面 可 以衡 量 出 2 8 0#磨 粒 的粗 糙 度加工极限，在 1 2 0 rai n后粗糙度 的下降主要是 由于磨 粒 在 加 工 过 程 中 的 破 碎 导 致 磨 粒 粒 径 均 匀、细 化 而 进 一 步 使 粗 糙 度 下 降 的 结 果，第 1 O 期 文东辉，等：蓝 宝石 晶体 的双面研磨 加工 2 4 9 5 1 0 8 量 6 、4 2 O l 0 甚 8 专6 善 2 0 l 0 8 g 6 4 2 0 l 0 E 8 4 2 0 3 5 7 9 1 1 a v e r Nu mb e r o fs a mp l e s (a)1 5 m i n 3 5 7 9 l 1 a v e r Nu m be r of s a m p l e s 3 5 7 9 l 1 a v e r Numbe r of s am p l e s (c)7 5 mi n 3 5 7 9 l 1 a v e r Nu m be r of s am p l e s (d)l 2 0 mi n 图 1 研磨 时间对蓝宝石晶体表面粗糙度 的作用 Fi g1 Ef f e c t o f l a p pi ng t i me on r ou gn e s s o f s a p ph i r e c r y s t a l s ur f a c e 如 图 3(b)、(C)所 示。图 4为对 3 O片 商 品化蓝 宝 石 晶体 背 面粗 糙 度 的测 试 结 果，其 背 面 粗 糙 度 R 为 0 5 2 2 0 7 3 8 m，平 均 R 值 为 0 6 0 7 m。本 文双 面 研 磨加 工实验粗 糙度 R 为 0 2 2 3 0 5 9 8 m，平 均 差 要 46。0 2 3 5 0 3 0 0 2 5 0 v-2 0 0 爹：器 5 0 0 5 6 0 5 4 0 5 2 0 专5 0 0 4 8 0 4 2 0 40 0 8 40 8 2 0 。D 8 0 0 7 8 0 盖 7 6 0 ；4 7 0 0 6 8 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 0 1 1 l 2 a v e r Nu mbe r of s am p l e s (a)1 5 mi n 1 2 3 4 5 6 7 8 9 l 0 1 1 l 2 a v e r Nu mb e r o f s a mp l e s l 2 3 4 5 6 7 8 9 l 0 1 l 1 2 a v e r Nu mb e r o f s am p l e s (C)75 mi n l 2 3 4 5 6 7 8 9 l O I l l 2 a v e r Nu mbe ro f s am p l e s 图 2 研磨 时间对蓝宝石晶体质量去除率的作用 F i g 2 E f f e c t o f l a p p i n g t i me O F t ma l e r a i l r e mo v a l r a t e o f s ap ph i r e c r ys t al R 值为 0 5 2 3 m，并且确保 了所有加工 的蓝宝 石 晶体 表 面粗 糙度 R 6 z m，优于生 产商 家 的加 工 品质。光学精 密工程 第1 7 卷 g (a)研磨时 间对平均粗糙度的作用(a)Ef f e c t o f l a pp i n g t i me o n a v e r a ge r ou ghn e s s l 2 l O 8 6 4 2 0 ：兰 !w 2 8 0-1 5 mi n 2 0 0 7 年4 月l 0 日l 5：3 8：3 5 (b)1 5 mi n 后 2 8 0#B C磨粒 的粒度分布(b)Si z e di s t r i b ut i on o f 2 80#B C a b r a s i v e gr a i n a f t e r 1 5 m i n (c)1 2 O mi n后 2 8 0#&C磨粒 的粒 度分布(c)S i z e d i s t r i b u t i o n o f 2 8 0#B 4 C a b r a s i v e g r a i n a f t e r 1 2 O m i n 图 3 研磨时间对 磨粒粒 度分 布及 晶体平均 粗糙 度 的作用 Fi g 3 Ef f e c t of l a p pi ng t i me o n a br a s i ve s i z e di s t r i bu t i o n a nd a ve r a ge r o ugh ne s s of s a pp hi r e c r y s t a l 图 4 商 品化蓝宝 石晶体未减薄前 的表面 粗糙度 Fi g4 Roug hne s s o f c o mme r c i al s ap phi r e c r ys t al b e f or e ba c k gr i n di ng pr oc e s s 3 2 研磨 均匀 性分 析 双 面研 磨后 蓝 宝石 晶体表 面 的均匀去 除 和较 低 的表面损 伤对 后续 精密 单面研 磨 去除量 和工 艺 参 数 的选择 具有 直接 的指 导作用。常规 的做法 是 依 据经 验进 行 多级 粒 度 的研 磨，每 道研 磨 工 序 都 指定 一定 厚度 的 材料 去 除 量，如 此 来保 证 去 除 上 道工 序造 成 的表 面损 伤。这些 经验 往往 缺乏科 学 的依 据，难 以以这 种 概论 的形 式 来 适应 不 同 的加 工对 象，此 外很 多 经 验都 是 依 赖 于 金属 加 工 推 断 得 出的，对于硬 脆 难 加 工 陶瓷 材 料 的适 用 性 更 值 得商 榷。图 5为双 面研 磨随机 挑选 的 3个蓝 宝石 晶体 样品测试结果，由于双面研磨加工的磨粒 大小不 均 匀，蓝 宝石 晶体 表 面 的 研磨 加 工 包 括 了 二体 和 三体摩擦磨损 的多种形式，因而其局部表面的均 匀性 存 在一定 差异在 3片蓝宝石 晶体 表 面经过 多 点测试，选 择 了几 种 表 面状 态 不 佳 的 形 貌分 别 如 图 5(a)、(b)、(c)所 示，从 wYKo 激 光 干 涉 的 测 试结 果可 以看 到，宏 观表 面均匀 性较 好，但 局部 均匀性还有待进一步提高。出现此类特征的研磨 表 面主 要受 以下 因 素 的影 响：1)研 磨 盘 直 径 较小(3 8 6 ram)使 得研 磨 片 的线 速 度 差较 大，研 磨 片 内 的不 同位 置材 料 去 除 机理 和 速 度 存 在差 异；2)研 磨机 的加 载 压力 为上 研 磨 盘 自重 再 加 上 气 压，载荷过 大且 不 可按 曲线 的方式 进 行 调 节 和 控 制；3)研 磨 机 所 有 回转 的 部 件 全 部 由一 个 主 电 机 带 动，游 轮、上下研 磨 盘 的转 速无 法进 行相关 的 匹配 调 节，由此 提 高 研 磨 均 匀 性 也 受 到一 定 的 制 约。从上 述蓝 宝石 晶体 双面研 磨样 品 的宏观 和微 观测 试 分 析 结 果 来 看，蓝 宝 石 晶 体 表 面 R 的水 平 在 3 5 4 0 m，与此 同时，考虑到蓝宝石 晶体的后 季 一 、_ 第 l O 期 文东辉，等：蓝宝石 晶体 的双面研 磨加工 续研 磨方式 为单 面研 磨 加 工，因此 双 面研 磨 加 工 的均匀性 只要达 到 可 以接 受 的水 平，然 后 可通 过 单 面研磨加 工来进 一步 提高蓝宝 石 晶体 的表 面均 匀性和降低表面损伤层。(a)1#工件 WYKO 激光 干涉 下 的 表 面 形 貌(a)Sur f a c e pr of i l e of wo r kp i e c e 1 (b)2#工件 WYK O激光干涉下的表面形貌(b)Su r f a c e p r of i l e of wo r kp i e c e 2 (c)3#工件 WY KO激光干涉下的表面形貌(c)Sur f a c e pr of i l e of wo r k pi e c e 3 图 5 双面研磨后蓝宝石 晶体的表面形貌 Fi g 5 Su r f a c e p r of i l es of du a l l a pp e d s a p phi r e c r y s t al s a t W YK()l a s e r i nt er f e r e n c e 3 3亚表 面损伤 分析 为了进一步确定蓝宝石晶体亚表层的损伤均 匀程 度，采用 美 国 MT S X P 微 纳 米 压 痕 系 统 的 纳米 压入 和 划 痕 系 统 进 行 微 观分 析。根 据 I S O 纳米 压人对 表面 的要 求，要 获得 粗 糙 度 导致 的 测 试误 差5 ，则 压人 深 度 必 须 为表 面粗 糙 度 1 O 倍 以上，双 面研磨 获得 的微 观表 面粗糙 度 R 仍 然 可 以达到 1 5 n m(5,m5 m)，且 蓝 宝石 表面 对 纳米 探针 的吸 附作 用可 以忽 略不 计，因此纳 米 硬 度 的误差仍 主要是 由于 亚表面非 均匀性 损伤 导致 的。图 6为纳米压 人过程 中蓝 宝石晶体 亚表层 硬 度 与加载位 移 的关 系，从其 硬 度趋 于平 滑 的状 态 计算，2 0 0 n m位移内为粗糙度影响区，2 0 0 n m位 移 以外为均 匀性 影 响 区，结 合 蓝 宝石 晶体 的标 准 硬 度 偏 差，蓝 宝 石 晶 体 的 深 度 损 伤 层 约 为 4 6 0 n m，蓝宝 石 晶体 双 面研磨 加 工 的亚表 层损 伤深 度 约 1 m，由于微观测试结果 的微小性，这个数值 仅为 延性域 研磨 损 伤层 深 度，并不 包 括 脆性 裂 纹 的影 响。8 Z Di s pl a c e me n t i n t o s u r f a c e n m 图 6 蓝宝石晶体 纳米压入硬度与加载位 移的关 系 Fi g6 Ha r d ne s s U S l o a de d d i s t a nc e d ur i n g na n o i n d e n t s a pp hi r e c r y s t a l 4 结 论 本文对蓝宝石 晶体双面研磨加工的材料去 除 速率、粗 糙 度、表 面 均匀 性、亚表 层 损伤 进 行 了 系统 的试验 研究。经过 1 2 0 mi n的双面研 磨 加工 后，蓝宝石 晶体 被 去除 的总 厚度 为 9 0 1 0 2 M m，平 均值为 9 7 t t m，远 远超 过切 片 过程 中造成 的 R 最 大值 1 7 p t m。商 品 化 蓝 宝 石 晶体 背 面 粗 糙 度 R 为 0 5 2 2 0 7 3 8 m，平 均值 为 0 6 0 7 m；本 文实 验双 面研磨后 蓝宝石 晶体粗 糙度 R 为0 2 2 3 0 5 9 8 m，平均值为 0 5 2 3 m，并且确保 了所 有加 工的蓝 宝石 晶体 表 面粗糙 度 R 6 m。采 用光 学显微 镜、WY KO 激 光粗 糙 度 仪、微 纳 米压 痕和划痕试验综合测试和分析了蓝宝石晶体表面 垂 吾 卯 如 啦 m r l-一|I 0 n 嘶 r|2 4 9 8 光学精密工程 第1 7 卷 均匀 性及 其亚表 面 的损 伤层，根 据微 纳 米 压 痕试 验蓝 宝石 晶体亚 表 层 硬 度变 化 趋 势，得 到 了双 面 参考文 献：1 E 2 2 3 4 5 6 袁哲俊 精 密和 超精 密加 工技 术 M 北京：机械工 业 出版 社，2 0 0 7 YUAN Z J 尸r e c i s i o n a n d Ul t r a pr e c i s i o n Ma c h i n i n e T e c h n o l o g y M B e ij i n g：Me c h a n i c a l e n g i ne e r i ng p r e s s，20 07 (i n Chi ne s e)M ARI NESCU I D，UH I M ANN E，D0I T Hand b o o k o f L a p p i n g a n d P o l i s h i n g E M C R C P r e s s，2 0 06 Z H0U L B，S H1 MI Z U J，S HI N0HARA K，e t a 1 Thr e e-d i me ns i o na l ki ne ma t i c a l a na l y s e s f o r s ur f a c e g r i n d i n g o f l a r g e s c a l e s u b s t r a t e J Pr e c i s i o n E n g i n e e r i n g，2 0 0 3 2 7(2)：1 7 5 1 8 4 胡 刚 翔 单 晶硅 双 面抛 光 加 工理 论 及 工 艺 优 化 的 研 究E D 浙江工业大学硕士学位论文，2 0 0 6 H U G XPo l i s hi n g me c h ani s m an d pr o c e s s opt i mi z a t i o n d u r n i n g d u a l p o l i s h i n g s i l i c o n wa f e r D Ma s t e r d i s s e r t a t i o n，Zh e j i a n g Un i v e r s i t y o f Te c h n ol o gy，2 00 6(i n Ch i ne s e)W ANG Y Z I I U S I ，PENG G I ，P fZ Ef f e c t s of s u r f a c e t r e a t me n t o n s a p p h i r e s u b s t r a t e s J J o u r n a l 0 f Cr y s t a l Gr o wt h，2 0 0 5，1 7 4：2 4 1 2 4 5 NI U X H I I U Y I ，TAN B M，e t a1 M e t h od of s u r f a c e t r e a t me n t o n s a p p h i r e s u b s t r a t e J T r a n s 一 作 者 简 介：文东辉(1 9 7 4 一)，男，江 西 高 安 人，博 士，副教授，2 0 0 2年于大连 理工 大学获 得博士学位，现 为全 国纳米技术标准化 技术委员会 4工作组委员，全 国磨粒 技术委员会委员，浙 江省 高校 中青 年学 科带头人，主要从事 超精 密加 工装备及 技 术 的 研 究。E-ma i l：w e n d h z j u t e du c n 洪 滔(1 9 6 8 一)，男，浙 江 杭 州 人，博 士，教授，2 0 0 2年于香港 理工大学 获得 博士学位，现为浙江工业大学研究 生院(筹)副院长，主 要从事 弹塑性 力学、纳 米 力 学 的 研 究。E ma i l：t h o n g z j u t e dl 1 c n 研磨 加 工蓝 宝石 晶体 表面 的 深度 损 伤 层约 为 4 6 0 n m，亚表层 损 伤层深 度 约为 1 m。a c t i o n s No n fe r r o u s Me t a l S o c i e t y o f Ch i n a，2 0 0 6，16：7 3 2 7 34 7 鲁聪达 高亮度 L E D蓝宝石衬底低损伤研磨机理研 究 D 杭 州：浙江工业大学，2 0 0 7 LU C DSt u d y o n fr e e d a ma g e me c h a n i s m o f pr e c i s i o n l a p p i n g s a pp h i r e wa f e r 0 r h i g h l i g h t i n g l i g h t e mi t t i n g d i o d e D Ha n g z h o u：Z h e j i a n g Un i v e r s i t y of Te c h no l o gy，2 0 07(i n Chi ne s e)8 王娟，刘 玉岭，檀 柏梅，等 蓝 宝石 衬底 片 的精密 加 工 J 微 电子学，2 0 0 6，3 6(1)：4 6 4 8 W ANG J，L I U Y L，TAN B M，e t a 1 Fi n e P o l l s h i n g o f S a p p h i r e S u b s t r a t e s J Mi c r o e l e c t r o n i c s，2 006，3 6(1)：46 48 (i n Chi ne s e)r 9 S AI T0W T，HI RAYAMA T，YAMAM0T0 T，e l nZ La t t i c e s t r ai n a nd di s l o c a t i o ns i n po l i s he d s ur f a c e s o n s a p p h i r e J J o u r n a l o f A me r i c a n C e r a mi c So c i e t y，20 05，8 8(8)：22 77 22 85 r 1 0 2 Z HU H I 。TE S S AR O TO I A，S AB I A R C h e mi c a l me c ha n i c al p ol i s h i n g(CM P)a ni s o t r o py i n s a p p h i r e J Ap p l i e d S u r f a c e S c i e n c e，2 0 0 4，2 3 6：1 2 O一1 3 O r 1 1 Z HU H L，NI ES Z D E，GREENHUT V A Th e e f f e c t of ab r a s i v e h ar dn e s s on t he c he mi c a l as s i s t e d p o l i s h i n g o f(0 0 0 1)p l a n e s a p p h i r e J J o u r n a l o f M a t P r i n 1 5 Re s e ar c h，2 005，20(2)：5 04 52 0 张克华(1 9 7 5 一)，男，湖 南 益 阳 人，博 士，讲师，2 0 0 8年于浙 江工业 大学 获得 博士学位，主要从 事磨 粒加 工、数 控 系 统 等 方 面 的 研 究。E ma i l：ma t u r e l2 6 c o m 鲁聪达(1 9 6 4 一)，男，浙 江 慈 溪 人，博 士，教授，2 0 0 7年于浙江 工业大学 获得 博士学位，现 为浙江工业 大学 机械工程 博士后流动站负责人，主要研 究方 向为 精密模具设计及其成型。E-ma i l：l c d z j u t e d u c n