1、1、 PE为什么采用下镀膜？2、 PE危险气体有哪些？3、 遇到特气报警怎么办？4、 台达下料台下部最多可以放置几个盛满硅片的花篮？5、 Roth&Rau分哪几个腔室？6、 Spc几单测试一次？7、 膜厚可控范围及规格范围是多少？8、 折射率可控范围及规格范围是多少？9、 硅片的线痕方向？10、Roth&Rau PM时间周期是多少？11、上料腔的加热方式？12、加热腔与反应腔加热方式？13、折射率与哪种特气的量有明显关系？14、一个石墨载板装载多少硅片？15、上料腔平衡压强时充入的是什么气体？16、PE镀膜时采用什么电离气体？17、为什么不能让未装满硅片的石墨载板进入sina机？18、spc测
2、量的是石墨载板哪个位置的硅片？19、PE镀膜反应方程式？20、测量膜厚和折射率采用仪器的名称？21、工艺腔包括哪几部分？22、镀膜面朝向花篮的哪个方向？23、PE一条生产线共有几个石墨板？24、能否让空载盘进入上料台下部？25、Roth&Rau是哪国生产的？26、若发现盛有已镀膜的硅片的石墨载板进入sina机该怎么办？27、台达操作台上料硅片用什么颜色表示？28、台达上料台上部最多可以放置几个空花篮？29、往洗磷货架送空花篮时，空花篮头朝向什么方向？30、台达机是哪里生产？1、 上镀膜在PM后易产生粉尘片2、 NH3 SiH43、 迅速撤离现场4、 3个5、 上料腔 加热腔 反应腔 冷却腔 下料腔6、 一单一次7、 854nm 855nm8、 2.050.03 2.050.059、 水平方向10、80120h11、卤素灯管加热12、电阻丝加热13、SiH414、45片15、N216、微波电离17、边缘处易产生镀膜不均匀的不良片18、中间五片19、3 SiH44 NH3Si3N412H220、椭偏仪21、加热腔 反应腔 冷却腔22、非红色标识一面23、8个24、不能25、德国26、按下急停键并报修27、紫色28、1个29、朝向中间方向30、中国台湾
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