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1、北 京 中 联 科 伟 达 技 术 股 份 有 限 公 司 设 备 验 收 报 告 设 备 名 称 型号规格 数量/套 验收范围 烘干烧结一体炉 SJ-1400 一台 验收日期: 年 月 日 技术规格 (祥见附文） 验收项目 验收指标 验收结果 备注 干燥区温控精度 ±2℃ 烧结区温控精度 ±2℃ 温度控制精度 ±10℃ 升温速率
2、 45℃/s 冷却速率 －90℃/s 网带稳定性 ±2% 烧结出口温度 ≤60℃ 气流稳定性 ±5% 工艺效果验收 单晶50方阻、多晶55方阻烧结 培训 培训内容 培训对象(签字) 培训时间 备注 网带清洗 设备操作 日常维护/故障排查 资料交付 类型 交接对象(签字) 交接时间 备注 使用说明书 关键部件说明书 备品备件交接 验收结论: 意见和建议： 甲方 名称：中恒科技 工艺代表： 设备代表： 工厂负
3、责人：（盖章） 日 期：2010 年 月 日 乙方 名称：北京中联科伟达技术股份有限公司 设备代表： 现场负责人： 日 期：2010 年 月 日 设备验收报告附文 一、 验收依据 1、 年 月 日，甲、乙双方签订的SJ—1400型烘干烧结一体炉设备购销合同。 2、 年 月 日，甲、乙双方签订的SJ—1400型烘干烧结一体炉设备验收细则. 二、 验收项目 1、干燥区温控 2、烧结区温控 3、温度控制精度 4、升温速率 5、冷却速率 6、网带稳定性 7、烧结炉出口温度 8、气流稳定性 9、工艺
4、效果验证 三、 验收标准、方法 1. 干燥区温控 校验方法：将干燥区的3个温区温度进行设定,设定范围控制在100~400℃之间，待温度稳定（需30min)后,保温持续4小时,根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。 验收标准：3个温区温度波动控制在±2℃以内 2. 烧结区温控 校验方法：将烧结区的6个温区温度进行设定，设定范围控制在200~1000℃之间，待温度稳定（需30min）后，保温持续4小时,根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标. 验收标准：6个温区温度波动控制在±2℃以内 3. 温度控制精度 校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测
5、温仪进行温度测试,以同一硅片在炉内的多点温度曲线为检验手段。 验收标准：温度曲线峰值温度控制在±10℃以内 4. 升温速率 校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，记录硅片在炉内的温度曲线,以温度从500－950℃温度上升的速率大小为检验手段。 验收标准:最大正斜率为45℃/s 5. 冷却速率 校验方法：待正常工艺运行稳定后,使用DataPAQ测温仪进行温度测试，记录硅片在炉内的温度曲线，从930－600℃的温度下降速率大小为检验手段. 验收标准：最大负斜率为－90℃/s 6. 网带稳定性 校验方法：对网带速度进行设定，设定范围50—610cm/
6、min,待网带稳定后，根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。 验收标准：≤±2％＊设定值 7. 烧结炉出口温度 校验方法：外围供水温度为20℃,待正常工艺运行稳定后,以操作界面显示值或用温度测试仪测试生产电池片表面温度得出该指标。 验收标准：≤60℃ 8. 气流稳定性 校验方法:运行正常工艺配方后，外围供气稳定，以压力表显示为准,检测压缩空气在4个小时内的变化量得出该指标。 验收标准：变化量控制在±5%*显示值 9. 工艺效果验证 校验方法：执行正确工艺配方,对单晶50方阻（多晶55方阻）电池片进行烧结测试.以烧结后电池片各电性能为该项指标(其中电池片选取必须是稳定片源
7、)。 验收标准：测试数据无异常 四、验收结果附表 五、培训内容详细附表 附件1： 烧结炉设备操作培训流程确认 培训时间＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 培训对象＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 培训内容: 1) 设备整体结构介绍 □ 完成;□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 2) 界面介绍 □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 3) 手动操作培训（是否具备独立手动操作的能力） □ 完成;□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 4) 工艺参数设置培训 □ 完成;□ 未完成，原因＿＿＿＿
8、＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 签字确认： 附件2： 烧结炉设备安装维护培训流程确认 培训时间＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 培训对象＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 培训内容： 1) 设备整体结构介绍 □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 2) 界面介绍 □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 3) 手动操作培训（是否具备独立手动操作的能力） □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 4) 工艺参数设置培训 □ 完成;□ 未完成,原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
9、＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 5) 电器控制原理培训 □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 6) 电器参数设置培训 □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 7) 故障处理培训 □ 完成；□ 未完成,原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 8) 维护、保养培训 □ 完成；□ 未完成，原因＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ 签字确认： 六、资料交付清单 文档 内容 数量 接收人 1．技术规格书 1份 2．操作说明 包括设备外购件的说明书； 1套 3．安装说明 1份 4。 维修手册 1份 5．安全说明 1份 6．备品备件清单 消耗品、易损件；石英器件清单； 1套 7．机械装配图 装配图;炉体部分装配图纸; 1套 8．气路图 原理图； 1份 9．电气图 电气图(包括电气原理、器件布局、接线图） 1套 8
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