1、一，48所扩散炉正常关机流程:
1. 确认工艺结束，分步降温,先降温600度,然后400度再200度，再关闭加热键。
2. 待降温完成后，关闭监控软件和电脑。
3. 关闭面板上的上电按钮和每台电控柜中的3个但P空开。
4. 关闭恒温槽,拆下源瓶。
5. 关闭总电源开关。
6. 关闭冷却水，气体阀门，并注意查看是否有冷凝水,或酸排倒灌现象。
7. 关闭各气体手阀，如果需要开保护氮气的话，氮气就不用关。
二，48所扩散炉紧急停电注意事项:
1. 关闭上电按钮，和电柜中3个单P空开.
2. 关闭恒温箱以及源瓶手阀，必要时生产拆线源瓶。
3. 关闭总电源开关。
4. 迅速打开设
2、备的所有盖板，让机器紧急散热.
5. 注意查看冷却水是否正常或有冷凝水，尽量不要断冷却水，冷凝水情况要不定时检查。
6. 检查各气体酸排管道是否有异常。
三．CT扩散炉正常停机流程：
1.确认工艺已经结束，设定各管温度为500度。
2。 关闭炉口上面压缩空气调压阀，使压力为零，调节时一定要用力均匀。
2. 当各管温度降至500度时，手动将炉门拉出来一点，不要超过5MM动作要轻，防止冷凝后粘住。
3。 降温分步降，500度，200度，50度。
3.待降温合适后,关闭CMI软件和电脑，关闭4个管的CESAR电脑的开关.
4。 停止运行恒温箱,并关闭黑色的开关,必要时生产拆下源瓶。
5。 关闭设备冷却水，先关进水阀，后关出水阀。
6。 关闭各气体手阀，如果需要开保护氮气的话，氮气就不用关。
7。 关闭设备总电源开关。
四,CT扩散炉紧急停电注意事项：
1. 关闭软件和电脑。
2. 关闭CESAR电脑开关.
3. 关闭总电源开关.
4. 迅速打开炉体所有盖板，用于设备紧急散热。
5. 手动关闭炉口上面的压空调压阀,使压力为零，将炉门拉出来一点,不要超过5MM动作要轻,防止炉门冷凝后粘住.
6. 查看冷却水是否正常,尽量不要断冷却水,并确认是否有冷凝水
各管道的冷凝水情况一定要不定时检查。
7. 关闭恒温箱开关,必要时配合生产拆下源瓶.
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