浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点.doc

浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点
——＊＊项目技术总结
**公司 ＊*
本项目是为＊*市＊*光电第6代LTPS（OXIDE）·LCD/AMOLED显示面板生产线项目提供符合相关要求的二次工艺制程排气系统，即从机台端至主系统Take off点之间Hook up排气配管施工。本专业(通风专业）所负责的是1号建筑一、二层的二次配排风系统，主要系统有：工艺一般排风系统(GEX）、酸废气排风系统(SEX）、碱废气排风系统(AEX)、有机废气排风系统(VEX/SOX）、Stripper排风系统（STX)、CVD粉尘排风系统（CVD）、工艺补风系统(OA)。由于二次配施工是直接与各种设备打交道，施工质量是与后续厂房生产产品的效率和质量直接相关，所以施工过程中质量和节点的把控为二次配施工重中之重。
（一)、材料规划
二次配施工中没有具体提前设计好的施工图纸,只有设备Layout平面图以及设备UM需求表，前期提量基本都是按点位提量,存在一定的经验值。由于特氟龙风管、不锈钢风管均不允许现场开口,镀锌风管不允许现场制作三通，二次配排风所有的主材,比如直管、弯头、三通、测试口短管、特气侦测口短管等部件均是由生产厂家制作好后发至现场,这样,前期材料的统计提量就是个很大的挑战。
既然是经验提量，思路往往就会受到以往项目的干扰，比如重庆京东方L10层上方空间较大,二次配主管基本已紧贴L10层顶棚，到对应机台点位处加三通便可走支管与设备端相连,这样考虑每个点位4个弯头已经足够,而*＊*＊项目L10层空间很有限，很多时候系统包主管上有母线，母线上有盖板，盖板上偶尔会有消防管，二次配主管从上面过不去只能向下翻弯，由此便会至少增加两个弯头，同时还会增加排液点，且＊＊项目还有更令人头疼就是＊*孔,不像京东方的井格梁布局使得配管更加方便,有时候会出现这样的情况:设备接口没有正对高架地板，高架地板开口没有正对*＊孔，这样配管基本都是一路弯曲到设备接口的，所以每个点弯头的数量会至少增加3至5个。
针对不同项目而言,还需要具体问题具体分析，务必需要仔细勘察现场，项目前期的整体规划和布局很重要，尤其对于本项目这种情况，一开始就进入项目高峰期，材料的供应直接影响节点保证,所以材料是二次配成败的重点把控对象，也是保证机台Turn on节点的关键所在.
（二） 负载规划
在二次配施工之前，负载规划是非常重要的一步,虽然主系统图纸已经设计出每个机台所使用Take off点,但是还是会出现以下几种情况:
1、实际会勘UM和原设计UM需求量不符合，由于UM表的变更,可能会导致后续机台运行流量不够.
2、原设计的机台Take off点被挡住，无法使用.
3、实际Move in机台数量多于原计划，即原设计中没有设计新机台的UM需求,需重新为该机台规划Take off点位。
以上三种情况均可能会导致Submain主管的负载不足，在这条主管的Take off点的使用率越来越高的情况下，后续所接机台可能会因为流量不够而Down机。
举例1：1号酸排气主系统所接设备为TCISC100/TCISC200/TCISC300，每台用量60cmm，如下表：
由上表便可清晰看出该Submain主管共23个Take off点,接三台设备。Submain设计量为300cmm，机台需求量180cmm，使用负载比为60％。
由上表还可知，此Submain还有120cmm的富余量，假如此区域后续还有设备Move in，在满足富余量的前提下,此主管上依然可以继续接设备。
举例2：18号酸排气主系统所接设备为TCCVD320/TCCDO300/TCCVD420/TCCDO400,合计用量245。6cmm，如下表：
由上表可清晰看出该Submain主管共12个Take off点，接四台设备。Submain设计量为234cmm,机台需求量245。5cmm，使用负载比为105%。
由上表还可知,此Submain已经超出原设计负载，那么先查看其相邻Submain负载用量是否有富余。
17号Submain酸排气负载如下：
由此可知,17号用量为76%，仍有富余54cmm,且该系统Take off点也有富余，所以原18号系统上可以把其中一个机台（比如TCCD0300）的Take off点改至17号主系统上，如此，17号和18号主系统均不会超负载，也满足了机台负载需求.
同时，为更加直观的清楚每条Submain主系统所连接哪些设备，绘制主系统轴测PID图也是贯穿二次配施工的主要工作，这样对后期设备调试也很有帮助.主系统轴测PID图可以非常清晰的知道每条主系统所连的具体设备，在主系统屋面风机和设备运行出现问题时候,可以清楚知道可能会受到影响的涉及该Submain的其他设备。
如下图:一般排气系统轴测PID图
所以，二次配前期对机台负载进行整体规划非常有必要,机台Move in分期进行，同一条主系统会同时有Light on、Phase1、Phase2、Phase3的设备，如若不提前做整体规划，Light on和Phase1的设备应该会很容易满足负载，但是随着Submain所接的设备越来越多，Phase2尤其是Phase3的设备很可能会超出原设计负载，在本项目虽然Phase3的设备不在包内，但是设计人员早期是有把Phase3的设备规划至主系统内的,所以甲方也要求我们考虑Phase3的设备需求。
（三）、图纸以及成本规划
由于二次配没有设计给出的具体施工平面图纸，且二次配涉及的专业系统不少，PCW/PV/Exhaust/Chemical/CDA/Drain/特气管道等,虽说管路尺寸都不大，但是个别机台管路复杂，如CVD、DRY等大机台，也会常遇到管道被挡的情况，此时图纸整体空间管理规划则尤为重要，施工前出图纸，每种管道在自己该在的位置上,不但美观且不影响其他管路走向，同时，如若管路过长和弯头过多会使得压力损失过大，对后期设备运行不利。
从成本上分析，二次配不像洁净包，二次配按点位按实结算，每个点有规定的标准长度，点的计算以实际点数计算，结合实际米数除以标准米数.点的实际长度L1除以报价标准米数L，即L1/L=N。N小于2,计算为1个点；N大于2，且小于3计为2个点；以此类推。比如规定每20米一个点位,即这个点做到了0＜L＜40则结算为一个点，做到40≤L＜60结算成两个点,所以按照这种计算方法即使做到39米还是会结算为一个点，如此便会亏损19米。
标准长度规定如下：
如上述包定义内点位计算方法实在是比较令人头疼的，这种计算方式说明了并不是所有的点位做的越长越好，这个长度是有限度的。Take off点管径均为300，设备接口管径一般小于Take off点管径,那么对于一拖多（即一个Take off点带多个设备接点）的情况，怎么去合理分配Take off点到Tee的长度和Tee到POU的长度很重要。
需要考虑的是，对于Take off点距离设备比较近和Take off点数量有富余的情况下，多做这种点位原则上是有利的，但是考虑到底选择一拖几的问题值得推敲，此外二次配主管和支管的长度怎么分配也值得考虑,才能够实现最终利益最大化。对于Take off点距离设备比较远的情况下，这种点位如若不提前规划好，亏损可能性非常大，需考虑问题同上,若真的亏损要实现亏损最小。
由此可见，图纸的深化设计和成本控制不可分割,合理的管路规划会降低施工成本以及施工难度，所有的技术和设计最终都应该回归到成本和利润上。
（四） 质量管控
二次配施工作为电子厂房施工的最后一道工序,是直接与机台设备对接，其施工质量将直接影响厂房后续显示面板生产良品率,如若由于二次配施工质量导致设备正常运行而Down机,其损失将不可预估。
二次配施工质量的管控主要从以下几个方面把握：
1、材料进场检验
所有材料进场前均需先和质量相关人员进行自检,而后经业主以及第三方质量人员进行检验，合格后方可进场，不符合洁净室规范以及损坏严重材料均不得使用，并立即退场。
2、施工前指导
每个班组施工机台前，需向该班组长指明Take off点使用情况，并找到该机台所有需要施工的点位和点位具体接续名称（SEX/GES/VEX/AEX/CVD/OA/STX)，对于需要区分干湿排的点位必须标示并告知清楚，如有特殊要求的机台也需要提前告知,以免后续的二次施工。
3、施工中检查
本项目每个点包含Duct、弯头、三通、风阀、风压表、特气侦测口、支架以及末端盲板的安装，需要考虑的类项比较多,由于机台调试期间不允许停机，更换其中任何一项都比较困难，为避免二次施工，施工过程中的检查很重要，做到亡羊补牢。
4、Turn on前检查
二次配每个机台的Turn on都是很重要的节点，所以做Turn on前的最后检查很有必要,检查管路连接的完整性，负压表安装的正确性,螺栓的紧固性，支架的安装以及加固情况等，这些都是影响机台Turn on的因素，Turn on前是必须一项项排查的。
5、调试中检查
每个机台Turn on后设备方都有为期不短的调试时间，调试时候机台的运行是极不稳定的，较容易出现的问题有：清洗机的漏水问题,水经常倒灌入排气管内；压力表超量程问题，前期由于Submain所挂的设备少,负压比较大，导致管内负压已超出负压表量程，由此可能会造成负压表的损坏；软管破损问题，由于机台接口形式的限制，一些机台必须使用软管连接，软管硬度是远不如硬管的,有破损风险。以上问题多出现在机台试运行调试阶段和正式运行阶段，所以在试运行阶段若发现并及时解决相关问题，不断优化方案，则在后续正式生产阶段风险便会大大降低.
（五）总结
二次配施工有着更加严格的施工标准和施工节点，无论是在项目前期的材料、图纸规划，还是项目施工过程中的质量把控,亦或后期配合机台调试时的检查，都应该有着更加谨慎的态度去解决问题，举一反三，在同类机台的施工中不再出现类似问题。节点也是二次配的重中之重，每条产线、每个机台乃至每个点位的按时Turn on都是一个节点,那么要做到这些节点的保证，势必要前期做好整体以及每个细节的规划，提前做到尽可能的万全准备.