废水、废液工程技术要求及招标规范.doc

东营中联国际集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范目录一、技術要求及招標規範範圍說明2二、規範和條例2三、技術說明4四、廢水處理工藝設計要求9五、工藝流程及P&ID圖10六、設備規格及廠牌12七、電氣控制工程說明14八、防腐工程說明19九、管線工程說明20十、廢水工程介面說明23十一、投標文件25东营东芯集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范一、技术要求及招标规范范围说明有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求,于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、制造至完工的各项细则.为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。- 第1节结束 -二、规范和条例所有设备、材料的供应和施工工艺,必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例:2.0.1 所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位:1. 消防局2. 规划局3. 环境保护局4. 卫生防疫局5. 自来水公司6. 环境卫生管理局7. 供电局8. 排水管理处2.0.2 所有中国中央和当地所制定的规范和准则,以及国际认可的规例和标准，最新版本,包括以下， 但不仅限于以下所列：1. 建筑设计防火规范GB50016-20062. 工业金属管道设计规范GB5031620003. 工业设备及管道绝热工程设计规范GB50264974. 城市区域环境噪声标准GB3096-935. 工厂企业厂界噪声标准GB12348906. 工厂企业噪声控制设计规范GBJ87857. 环境空气质量标准GB3095-19968. 大气污染物综合排放标准GB1629719969. 污水综合排放标准GB8978199610. 建筑给水排水设计规范GB50015-200311. 建筑给水排水管道工程施工及验收规范GB50268-9712. 建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范GB50242-200213. 电子工业职业安全卫生设计规定SJ30002-9214. 压力容器安全技术监察规程(质技监局锅发1999154号）- 第2节结束 -三、技术说明3。0。1废水来源本废水处理工程， 为收集8晶圆生产工艺所产生的各类废水及废液， 废水、废液分类说明如下：项次废水分类废水来源1IWW 一般酸碱废水制程系统一般酸碱废水2FWW 含氟废水制程系统含氟废水酸处理塔排水HF废液定量输送3AW 酸性含磷废水制程系统酸性含磷废水4AHWW 含氨废水制程系统含氨废水氨气吹脱及吸收塔排水5CMP 研磨废水制程系统背晶研磨废水制程系统金属研磨废水制程系统电介质研磨废水制程系统多晶硅研磨废水6回收水制程系统清洗水3.0。2废水废液水质特性各类废水及废液成份， 如下列各表参考说明， 供投标厂商进行工艺设计评估， 惟投标商需考虑8”晶圆厂通用水质作完整考虑, 以确保废水处理系统达标排放。废液成分名称成分处理方式硫酸废液浓度80左右收集委外处理HF废液浓度20收集委外处理/定量输送至含氟废水处理系统处理光阻液废液(PIX）收集委外处理去光阻废液（STRIPPER)收集委外处理减薄废液（THINNER)收集委外处理有机溶剂废液(IPA）-收集委外处理IWW一般酸碱废水水质特性分析项目浓度范围pH213COD(mg/L）150FWW含氟废水水质特性分析项目浓度范围平均值pH1.03.02。5F-(mg/L）50012001000SS（mg/L)50300175SO42（mg/L)100022001600PO43-（mg/L)53AW酸性含磷废水水质特性分析项目浓度范围pH13PO43- （mg/L)100500AHWW含氨废水水质特性分析项目浓度范围pH212NH3N(mg/L）2000F-（mg/L)300H2O2（mg/L）100CMP研磨废水水质特性分析项目浓度范围pH2。510.5SS（mg/L）1001000NH3N（mg/L）15TOC（mg/L）180SiO2（mg/L）0。5200回收水水质特性分析项目浓度范围pH69电导度（us/cm）100020003。0.3 废水废液排放量废水排放量编号系统设计能力处理系统所在位置责任方名称符号1酸碱废水IWW40m3/h960m3/d废水处理站承包商2含氟废水FWW10m3/h240m3/d废水处理站承包商3酸性含磷废水AW5m3/h120m3/d废水处理站承包商4含氨废水AHWW5m3/h120m3/d废水处理站承包商5研磨废水CMP5m3/h120m3/d废水处理站承包商6回收水-10m3/h240m3/d废水处理站承包商废液排放量名称排放量系统所在位置责任方设计能力实际排放量磷酸废液5 m3/h0.45 m3/d3号建筑（FAB)废水提升站承包商硫酸废液5 m3/h3。2 m3/d3号建筑（FAB）废水提升站承包商HF废液5 m3/h12 m3/d3号建筑（FAB)废水提升站承包商光阻液废液（PIX）5 m3/h0。32 m3/d3号建筑（FAB)废水提升站承包商去光阻废液(STRIPPER）5 m3/h0。47 m3 /d3号建筑（FAB）废水提升站承包商减薄废液（THINNER）5 m3/h0。47 m3 /d3号建筑(FAB)废水提升站承包商有机溶剂废液（IPA)5 m3/h0.47 m3 /d3号建筑（FAB)废水提升站承包商3。0.4 废水排放标准本项目生产废水按污水综合排放标准（GB89781996）的二级排放标准执行.污染物单位二级排放标准pH_6。09.0SSmg/L150BOD5mg/L30CODcrmg/L150氨氮mg/L25Cu 离子MG/L1F离子MG/L10- 第3节结束 -四、废水处理工艺设计要求1对排放的废水分类收集,分别处理与综合处理相结合； 废水分类至少应区分为含氟废水、CMP研磨废水、含氨废水、酸碱废水、酸性含磷废水及收集暂存废液类.1.1厂区制程排水管线， 废水及废液收集管线材质应依本补充说明第9节管线材质及所附空白标单材质要求执行工程.2采用切实可行的先进技术与设备、自动监测等自动化程度高的装备，确保处理效果达标，自动化控制系统具体要求如下：2。1废水站控制柜设触控式屏幕，用以监控和调整各类参数;废水站控制柜需备有通讯接口，由业主接线将废水站控制柜内的信号传输至业主中控室计算机，用以数据的监视和报告的输出2。2提供系统报警装置（故障报警及超载报警）2。3设备需考虑合理的备用数量2。4水泵和风机的吸入口要有过滤装置3处理工艺注意以下问题：3.1处理工艺方法可采用：1. 化学法；2。 物理法;3。 生物法；4。 物化法3。2酸碱废水应采用三段式PH调整,保证系统稳定运行3.3含氟废水采用两段式化学混凝沉淀工艺3。4高浓度含氨废水， 因其中含有氟（F）， 故在先经吹脱 (Air Stripping）及氧化除氨后，需再并入含氟废水处理.3。5酸性含磷废水采用化学混凝沉淀工艺3。6研磨废水采用化学混凝沉淀工艺3.7回收水采用极电透析，导电度去除率 75。3。8处理工艺需考虑“以废治废”，降低运行成本3。9处理系统要有回流及警急排放暂存功能，让不合格废水重新再处理4为保证系统质量及运行稳定性，套装设备必须由设备厂商整体提供- 第4节结束 -五、工艺流程及PID图5。0。1 工艺流程描述1研磨废水处理系统在工艺生产过程中产生的研磨废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后,出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池.2酸性含磷处理系统在工艺生产过程中产生的酸性含磷废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽,再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。3含氨废水处理系统含氨废水和氨气吸收塔排水分别经收集管道至收集槽,然后经提升泵至废水站储槽，先经PH调整、加热后进入吹脱塔进行脱氮,脱氮后出水则再进行化学氧化,进一步除氮,之后出水在进入含氟废水处理系统进行除氟.吹脱塔的含氨废气应以吸收塔进行中和处理， 尾气应符合法令标准后排放.4含氟废水处理系统含氟废水用管道收集后至含氟废水收集槽和浓HF废液收集槽内，此外,酸性废气洗涤塔排出的废水,因其含有F离子,也用管道输送至含氟废水收集槽内，而后含氟废水用泵将其送至废水处理站内含氟废水储槽；高浓度HF废液用泵定量打到废水处理站含氟废水储槽内，与含氟废水一起进行处理。含氟废水采用两段化学混凝沉淀法进行处理，处理后出水进入酸碱废水系统调整PH后排放.产生的含氟污泥单独处理，先经浓缩池浓缩后再经脱水机脱水.5酸碱废水处理系统酸碱废水经管道收集至酸碱废水收集槽，然后用泵送至废水站内酸碱废水储槽，经过三段PH调整后排放。6回收处理系统RO浓水、酸碱中和后的排水以及机台回收水经收集后，进入EDR（倒极电透析）系统脱盐处理,处理后的水可作为厂区内回用水使用。7高浓度废液收集系统高浓度废液(剥离废液、PIX废液、IPA废液、清洗废液、HF废液、硫酸废液等）经收集后由专业公司外运处理。 5。0.2P&ID图所附废水处理工艺流程图, 投标商为求水质稳定达标， 可自行增加处理单元， 但不得以减化为由, 予以删减处理单元。- 第5节结束 -六、设备规格及厂牌序号设备类别推荐厂牌备注1FRP储槽中信、尔华杰透明液位管,镀锌爬梯2PE储槽亚星、大自然透明液位管，镀锌爬梯3酸碱废水输送泵KuobaoSuper耐酸碱泵4非酸碱输送泵GSD、WALRUS型式：卧式离心泵材质:铸铁5气动泵Wilden、VERDER、型式：气动隔膜式6隔膜加药机NIKKISO、ALLDOS型式：可调式耐酸碱隔膜泵7鼓风机富资龙铁型式:三叶鲁式鼓风机附件:进出口消音器,滤清器，安全阀，逆止阀，防震接头,压力表8刮泥机YE SAIL、 MIDLAND型式：全桥式污泥刮泥机功能:下刮泥设计;材质：接液部分sus3049搅拌机YE SAIL、 WAN CHANG材质：接液部份FRP防蚀10污泥脱水机MIDLAND、ISHIGIA 型式:板框式隔膜式11套装式斜板沉淀池Midland、EVERYOUNG材质：CS+防腐处理12自动泡药机收集槽台玉、SERA13AHWW吹脱气提系统台玉、Midland脱氮效率90%以上14EDR套装设备Midland、GE15散气盘楷欣、,龙铁型式:圆碟状粗气泡吐气量:0.1m3/min以上16压力表华记、WIKAI表径 21/2, PP隔膜油浸式17浮球液位计KeyRadar耐酸碱PP以上材质18超声波液位计VEGA、HONDA用于药液桶槽及含HF 类腐蚀类废水废液19pH计DKK、Suntex20在线氟检测仪DKK、HOTOC、SUNTEX21在线COD检测仪HACH、TETHYS .22巴歇尔计量槽流量计PULSAR23PLC自控OMRON、三菱用于电控柜中24图控软件组态王用于废水处理厂之工控机25水质分析实验室仪器标单所列项目标单所列厂牌- 第6节结束 -七、电气控制工程说明7.0.1 电控系统构架现场设备需设置LOCAL PANNEL 方便操作人员现场操作，LOCAL PANNEL并可显示主要的系统数据(如：仪表等),详见系统架构图，系统中有各分系统相互连锁的信号时用一对一拉接线方式实现，各分系统的主要信号回CCP盘时同。各马达在主控盘上有自动/停止/手动3档，并有运行/超载指示。整个系统采用工业计算机监控所有设备，通讯方式为ETHERNET10/100M7.0.2 元器件要求序列名称系列厂牌其它要求1断路器EZD施耐德2接触器施耐德3热继电器施耐德4中间继电器OMRON5PLCOMRON6触控式屏幕FUJI7软件KINGVIEW监控软件采用无限点监控软件,并具有设备状态监控、流程显示、报警的记录、历史数据查询、参数的设定、报表的输出等功能.8端子台天得9按钮指示灯施耐德10I/O接线板OMRON11直流电源明纬12交流电源JBK5正泰13电缆FAR EAST、HU AN14箱体定做7.0.3 控制柜制作要求1. 箱体安装板及内外门板厚不小于2。5mm其它板厚不小于2mm。2. 内部安装空调的柜体要求防护等级为IP54.3. 门锁采用带锁把手式且上下插销连杆式。4. 柜门应焊接M8的螺丝，便于柜门接地。5. 柜门不得有走扇现象,且开关门不的有异响。6. 每扇柜门都配有30W日光灯及微动开关一组.7. 门边内折，用于加强门板。8. 门边四周贴密封条用于防尘，及关门消声。9. 内部安装板采用整片扳制，颜色为丹红色.10. 箱体的背面板和两侧板可拆卸。11. 箱体外观平整，无漆剥落现象。采用橘文式粉体烤漆.12. 各板的连接缝隙不得大于2毫米.13. 箱体外观颜色为7035。14. 门板按钮孔上下之间应安装加强筋,便于安装线槽,同时也加固门板。15. 箱体内的底座部分要有盖板封，且为三块板组成，并是活动式便于进出动力线。16. 开孔处无毛刺其尺寸完全符合图纸需求。17. 底座左右雨遍及后面要预留进出线口，颜色为黑色.18. 客体的顶端四角安装有吊环.7.0.4 控制柜安装要求1. 主回路配线如无特殊要求，三相主回路线一律为黑色BVR线.柜内走线要横平竖直，线槽内的布线要清晰顺畅,主回路线置于线槽内层控制线置于外层，以便故障时排查。主回路的导线连接须使用焊锡的压着端子，铜排至断路器上端头用为黄，绿,红色套分别套在对应RST相线两端，盘内导线之相序排列以面对箱面为准，R-S-T相别为由左至右,由上而下或由前而后.空开下端头至端子台之间的各主回路元器件的联机两端用号码管标示（不得使用色套）。2. 控制回路配线如无特殊要求,其控制线一律用1mm2，PLC模块上用0。75mm2，电线用多股BVR线.不同电压的控制线用不同颜色：交流220V-黄色直流24V蓝色3. 接线线头裁剪处续修齐不得有毛刺及飞边,不得使用受损的螺丝接线.剥皮长度要与所选端子相适应。如需用接线端子时,其大小与线径一致.4. 色套与号码管色套与号码管的大小应与所用电线的线径相适应。以保证在搬运或振动中不再在线滑动.号码管上的标识应从左到右、从下到上起读。标识字体清晰,不易脱落5. 组件卷标每个在电气原理图上有标识的元器件都要贴上含设备名称及代码的卷标,卷标贴在组件上方的线槽盖上且显目处，不得贴在组件上。标签应横平竖直，且在同一线槽盖上的标签应水平或垂直对齐6. 线槽及导轨固定前要进行精确测量，保证固定后横平竖直,牢固耐用导柜的固定点间距不得大于40cm。在线槽交叉处应剪掉影响布线的线槽面并修平毛刺。内部布线要均匀，走线方向以使所用电线最短为好。大电线在里，小线在外。线槽内不得有接头。备用线应藏在线槽内，两端做好绝缘处理。7. 动力线和信号线要尽量分开走线,避免干扰。8. 各元器件的安装,要首先满足说明书上的安装要求.9. 端子台上也要有标签，便于查看此组线所接的是什么设备10. 各控制柜之间的联线必须经过本柜的端子台与另外柜之间连接11. 铜排和有电且容易被人接触到的带电体要用透明压克力板遮盖.12. 控制柜安装完成后应在厂内做以下测试：A. 手动测试、B。PLC强制端点测试、C。接线绝缘测试,且做好测试记录- 第7节结束 -八、防腐工程说明废水站中与酸碱性液体接触的RC水池及碳钢槽体需采用FRP内衬保护,防止池体因腐蚀所造成的泄漏隐患。FRP 施工要求供做投标厂商之施作参考，废水处理厂之防腐工程为厂商责任施工,得标厂商应考虑废水水质特性，做适当的强化措施。FRP内衬材质及施工要求如下:水池池壁及池底施工示意图（1）：三布五油水池池顶施工示意图(2)：两布三油材料要求:1 昭和R802/R806树脂，乙烯基树脂(上海昭和高分子有限公司）2 玻璃纤维纱席，300g/m2，国内优质品3 玻璃纤维表面席，30g/m2，国内优质品4 对含氟废水部份， 涂层应使用有机表面席，30g/m2 （以上)，国内优质品- 第8节结束 -九、管线工程说明9。0。1管材要求配管名称重力排配管管材压力管配管管材保温及防腐酸性含磷废水管CS+PTFESCH80 PVC户外保温酸碱废水管SCH80 UPVCSCH80 PVC户外保温含氟废水管PP PN10PP PN10全部保温含氨废水管SCH80 UPVCSCH80 UPVC户外保温研磨废水管SCH80 UPVCSCH80 UPVC户外保温废气洗涤塔淋洗废水管SCH80 CPVCSCH80 CPVC户外保温硫酸废液管CS+PTFECS+PTFEHF 废液管PP PN10PP PN10PIX光阻废液管SUS304 SCH10SSUS304 SCH10S去光阻废液管SUS304 SCH10SSUS304 SCH10SIPA有机溶剂废液管SUS304 SCH10SSUS304 SCH10S减薄废液管SUS304 SCH10SSUS304 SCH10S硫酸铵废液管CPVC PN10CPVC PN10废水厂处理水UPVC PN10UPVC PN10户外保温废水厂空气管线GIPGIP废水厂供药管UPVC PN10UPVC PN10废水厂污泥管UPVC PN10UPVC PN10注：1重力管线需设置清扫口；2所有排水管线进入车间收集槽前必须加装过滤设备.9。0。2管架施作方式1。 抽水（泥）泵设备出口龙门架（面前架）（1） 立架 SS400 8槽钢。（2） 管架 SUS304 41252m/mt C 型钢+P 型夹。（3) 零星管架 4”以下采 SUS304 1-1/2”单边有孔角钢，4”以上采 SUS304，2单边有孔角钢,以 SUS304 材质 U 型螺丝作固定.2。 管路管排支架管线管架分为主固定型管架及辅助支撑型管架两种，其中主固定型管架每 5m 以内设一组,辅助支撑型管架则于两主支撑管架 5m距离内，视承载管径大小于国家法令规定管架最小间距再等分设2-7组(即每 60-180cm 设一组)作辅助支撑型管架(1) 当管架宽度小于 1。5m 时,主固定型管架采用 SS400 5#角钢作门型主架，另于门型支架底横梁管接处侧焊 SUS304，2单边有孔角钢作固定架；辅助支撑型管架则采 SUS304 2”单边有孔角钢作主梁另加 M10 SUS304 全牙螺杆作吊杆制造.(2） 当管架宽度大于 1.5m 时，主固定型管架采用 8槽钢作门型主架,另于门型支架底横梁管接处侧加焊 SUS304 2单边有孔角钢作固定架；辅助支撑型管架则以 SUS304 2”单边有孔角钢侧加焊 8#槽钢与 M12 全牙螺杆作吊杆制造。3。 管架及支架涂装（1） 所有非 SUS304 钢制品涂装需喷砂除锈后上 EPOXY 红丹底漆一道，EPOXY 柠檬绿底漆一道及 EPOXY 面漆两道，EPOXY 漆均使用永记虹牌漆。(2） 所有 SUS304 焊接口处必须酸洗.(3)所有螺丝 (含螺母,垫片)除标单另有要求采塑料螺丝材质外,一律采用 SUS304 材质施作(4）所有管夹(包含 P 型管夹、U 型螺丝）均采用 SUS304 材质施作- 第9节结束 -十、废水工程接口说明项次内容承包商业主一废水系统基本概况：1.1系统设计(1)基本及细部设计(2)机械及管线设计（3）土木结构初稿设计 （池体结构配置图）(4）电气控制设计1。2土木工程(1）土木结构配筋设计、校核及施工（2)土木工程施工、池槽走道、安全栏杆及爬梯（3）土木池壁整平与防水施作(清水模,槽体需漏水试验,进行槽体补漏至无漏水）（4）设备基础（R.C。)(5）管路管沟及跨建筑管廊(6)池槽水流开孔、检修人孔及人孔盖(依设计图纸施作）（7）楼板加固强化（8）FRP防腐工程（RC池体内壁FRP涂衬)(9)其它FRP防腐工程(地面环氧地坪等）1.3主要机械设备(1）机械设备（2)包商工厂制造之设备1。4电气工程（1）一次侧电源配线至设废水系统主动力盘（2）施工临时用电与用水提供至现场（3）厂区照明设备(4）动力盘二次侧配线工程(5)操作控制盘（6）电气仪表计器材料1.5配管工程（1）一次侧废水收集管线至2地下室收集槽（2)2地下室收集槽至3废水站（3）一次侧自来水源、高压空气、蒸汽提供至污水厂（4）池体废气抽排及环境抽风（5）系统放流池至巴歇尔槽管线（6）巴歇尔槽至整厂总排口管线（7)控制阀类（8)现场施工（设系统污泥、废水、空气管线及预埋套管设置）二共同项目2.1设备吊装工程（业主配合协调支持）2。2施工(1）施工临时水电2。3试车（1）试车时之药品（1个月用量）（2）试车时之电力及清水源(3）试车操作与调整2。4验收（1)主要设备验收(2）水质自测（3)运转指导2.5与政府机关之手续（1）免税批文申办（2）设备报关、退税手续（3）设备海上内陆运输（4）所有环保批文申请附注说明： 环保验收之检测费用及一般公关费（如车马费， 餐费等）， 由废气及废水承包商依检测费用比例分摊； 特别公关费， 其费用在人民币 20 万元以内， 由业主、废水及废气承包商三方, 依合约金额另行协议分摊比例， 超过 20 万元由业主自理。- 第10节结束 -十一、投标文件投标单位于投标时， 须包含但不仅限于以下文件内容：1. 投标报价单2. 公司简介及实绩说明3. 法定代表人资格证明书4. 授权委托书5. 有关资信证明资料 (投标商近 2 年纳税资料)6. 废水处理系统功能计算书7. 含氨废水吹脱及吸收系统功能计算书8. 污泥脱水系统功能计算书9. 系统流程图 （PI D 图）10. 平面配置图11. 动力单线图、箱体图及电气规划说明12. 废水站系统动作说明13. 废水站操作运行成本分析14. 施工组织计划15. 施工质量管理计划16. 设备规格清单17. 池体清单18. 主要设备型录或是系统图纸（桶槽、水泵、搅拌机、脱水机、鼓风机、EDR套装设备、氨气提及氨吸收套装设备等）-21