1、
漏率检验工艺卡
精品文档
真空绝热管
漏率检验工艺卡
编号：JY/QW01-2010
版次：A/1.0
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1 目的
指导检验员进行漏率检测操作，确保制造的真空多层低温绝热管路真空漏率符合企标和GB18442-2001《低温绝热压力容器》的规定。
2 适用范围
真空多层低温绝热管路（含内管、膨胀节）。
3 检验依据
GB18442-2001《低温绝热压力容器》
GB18443.3-2001《低温绝热压力容器试验方法—漏率测量》
企标
设计图样、制造工艺
4 检测仪器及辅助耗材
4.1 检测仪器
氦质谱检漏仪、真空
2、泵机组、真空计（在检定有效期内）。
4.2 辅助耗材
氦气瓶、工业氦气（纯度99.9%）、7501高真空硅脂、真空泥、喷枪、宽胶带、塑料罩、剪刀等。
5 检验前的准备
5.1 检验前熟悉产品图纸及工艺文件，确定检漏的时机（被检件的真空度≤1Pa）
及被检件的漏率要求。
5.2 认真阅读检漏工艺及设备操作规程；检查确认检漏设备的完好性；检查确认检漏管路连接的密封性。
5.3 将检漏用的辅助耗材提前准备齐全，并预制好宽胶带和塑料罩。
6 氦质谱检漏仪的调校与使用
6.1 使用环境
环境温度 15~35℃
仪器附近无强电磁场干扰，无剧烈震动；室内有
3、良好的通风以避免氦气干扰；被检管
路真空度＜1Pa。
当检测环境不具备上述条件，且对检漏工作有明显影响时，不能进行检测。
真空多层低温绝热管路
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6.2 开机
6.2.1 参数设定
工作压力 10 Pa 聚焦245V 发射0.35mA 加速301V
6.2.2 校准
确保检漏口已经装上专用堵头并锁紧，按下检漏键进入检漏状态，当检漏阀打开后按调零键进行调零，调零完毕后按下校准键并维持5秒以上，检漏仪开始自动校准，此时“校准”灯亮，自动校准完成。校准完毕后，如
4、果漏率指数的数码管的小数点“亮”，表明当前灯丝信号小，此时应进行调峰或者更换另一灯丝。若正常，漏率显示值与仪器随机检测报告值对比，主要是环境温度与检测报告温度对比，下降或上升1℃，漏率值会减低或升高3%。
6.2.3 自动调峰
在检漏状态下（检漏口不加工件），按下“调峰”键5秒以上，“调峰”灯亮，检漏仪进行自动调峰，约3分钟后，“调峰”灯灭，“检漏”灯亮，调峰完毕，因自动调峰过程包含了校准操作，所以自动调峰完成后可不再进行校准操作。
6.2.4 必须等到显示面板上“系统正常”灯亮起后，才可以开始检漏工作。
7 漏率检测
7.1 依据被检件的情况可采用喷吹法检漏和氦罩法检漏（需
5、制作氦罩套在被检产品外表面）。特别注意被检测产品的真空度应达到1Pa。
7.2 将被检件通过适当的接头连接到检漏仪的检漏口上，确认密封连接可靠（必要时用真空封泥堵上）；按检漏键对连接管路预抽，预抽完毕后检测口压力应显示在5Pa以内。
7.3 对与检漏口连接的管路、接头进行检漏，其漏率≤1×10-10Pa.m3/S。检漏合格后关闭检漏口处的真空阀，按放气键。
7.4 放气完毕后按检漏键开始检漏，缓慢开启与检漏口连接的真空阀，无异常反应后在缓慢开启与被检件连接的真空阀。若有异常需立即关闭真空阀。
7.5 用喷枪吹氦气或氦罩内充氦气对被检产品进行检漏，此时注意氦气应缓慢少量释放。
6、7.6 检查顺序由近至远由上至下。
7.7 检查过程中若发现泄露需标识清楚，进行返修。返修完毕后再次进行检漏，直至漏
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点消除为止。
7.8 检漏完成后将漏率读数记录在《氦质谱检漏检验记录》卡上。
7.9 记录完成后，先关闭与被检产品连接的真空阀，然后按放气键进行放气。当一批产品检漏完毕另一批产品需等待一段时间再检时，检漏仪在放气状态下静置不允许挪动。若不需要再检下一批产品，在放气状态下关闭电源拆除连接管路和接头，静置5-10分钟后盖上检测口的封堵，推回检漏
7、仪放置处。
8 氦质谱检漏仪的维护与保养依据。
要保持检漏仪的正常工作和良好性能，应进行定期或必要的维护，并按下表处理。
检漏仪维护日程
内容
时间
漏率校准
每次
机械泵油面观测
每周
更换机械泵油
必要时或每半年
分子泵加注润滑油
每年
清洗分子泵
必要时
清洗质谱管
必要时
更换离子源
必要时
清洗组合阀
必要时
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点消除为止。
7.8 检漏完成后将漏率
8、读数记录在《氦质谱检漏检验记录》卡上。
7.9 记录完成后，先关闭与被检产品连接的真空阀，然后按放气键进行放气。当一批产品检漏完毕另一批产品需等待一段时间再检时，检漏仪在放气状态下静置不允许挪动。若不需要再检下一批产品，在放气状态下关闭电源拆除连接管路和接头，静置5-10分钟后盖上检测口的封堵，推回检漏仪放置处。
8 氦质谱检漏仪的维护与保养依据。
要保持检漏仪的正常工作和良好性能，应进行定期或必要的维护，并按下表处理。
检漏仪维护日程
内容
时间
漏率校准
每次
机械泵油面观测
每周
更换机械泵油
必要时或每半年
分子泵加注润滑油
每年
清洗分子泵
必要时
清洗质谱管
必要时
更换离子源
必要时
清洗组合阀
必要时
核准/日期
编制/日期
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