洁净室设计综合规范.doc

中国国家标准
洁净厂房设计规范
编制说明
本规范是依据原国家基础建设委员会（78）建发设字第562号文要求，由
我部负责主编。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、
航空工业部第四计划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第
五设计研究院、中国船舶工业总企业第九设计研究院、航天工业部第六设计研究
院、化工部第六设计院、中国有色金属总企业北京有色治金设计研究总院、中国
建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中，规范编制组进行了广泛调查研究，认真总结了中国洁净厂
房建设和使用实践经验，组织相关单位开展了必需科学试验研究工作，并广
泛地征求了全国相关单位意见。最终，由我部会同相关部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录，关键内容有：总则、空气洁净度等级、总体
设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系首次编制，实施过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，
认真总结经验，如发觉需要修改和充实之处，请将意见和相关资料寄交我部第十
设计研究院，以供以后修订时参考。
电子工业部
一九八四年八月二十七日
目录
第一章 总则
第二章 空气洁净度等级
第三章 总体设计
第一节 洁净厂房位置选择和总平面部署
第二节 工艺部署和设计综合协调
第三节 噪声控制
第四节 微振控制
第四章 建筑
第一节 通常要求
第二节 人员净化和物料净化设施
第三节 防火和疏散
第四节 室内装修
第五节 装配式洁净室
第五章 空气净化
第一节 通常要求
第二节 洁净室正压控制
第三节 气流组织和送风量
第四节 空气净化处理
第五节 采暖通风
第六节 风管和附件
第六章 给水排水
第一节 通常要求
第二节 给水
第三节 排水
第四节 消防设施
第七章 工业气体管道
第一节 通常要求
第二节 管道材料、阀门和附件
第三节 管道连接和清洗
第四节 安全技术
第八章 电气
第一节 配电
第二节 照明
第三节 控制、通信和防护
附录一名词解释
附录二洁净室空气洁净度测试
附录三洁净厂房生产火灾危险性分类举例
附录四净化空气调整系统设计对施工要求
附录五净化空气调整系统设计对维护管理要求
附录六净化空气调整系统风管壁厚
附录七本规范用词说明
第一章 总则
第1．0．1条 洁净厂房设计必需落实实施国家相关方针政策，做到技术
优异、经济合理、安全适用、确保质量、符合节省能源和环境保护要求。
第1．0．2条 本规范适适用于新建和改建、扩建洁净厂房设计，但不适用
于以细菌为控制对象生物洁净室。本规范相关防火和疏散、消防设施章节规
定，不适适用于建筑高度超出24米高层洁净厂房和地下洁净厂房设计。
第1．0．3条 在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必需根
据生产工艺要求，因地制宜、区分对待，充足利用已经有技术设施。
第1．0．4条 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运
行发明必需条件。
第1．0．5条 洁净厂房设计除应按本规范实施外，尚应符合现行国家标
准、规范相关要求。
第二章 空气洁净度等级
第2．0．1条 空气洁净度应按表2．0．1要求划分为四个等级。
空气洁净度 表2．0．1
┌────┬──────────┬─────────┐
│等级 │每立方米（每升）空气│每立方米（每升）空│
│ │中≥0.5微米尘粒数 │气中≥5微米尘粒数 │
├────┼──────────┼─────────┤
│100级 │≤35×100（3.5） │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000级 │≤35×1000（35） │≤250（0.25） │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000级│≤35×10000（350） │≤2500（2.5） │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000级│≤35×100000（3500）│≤5000（25） │
└────┴──────────┴─────────┘
注: 对于空气洁净度为100级洁净室内大于等于5微米尘粒计数，应进行数次采
样，当其数次出现时，方可认为该测试数值是可靠．
第2．0．2条 洁净室空气洁净度等级检验，应以动态条件下测试尘粒
数为依据。洁净室空气洁净度测试，应符合附录二要求。
第三章 总体设计
@@& 第一节 洁净厂房位置选择和总平面部署
第3．1．1条 洁净厂房位置选择，应依据下列要求并经技术经济方案比
较后确定：
一、应在大气含尘浓度较低，自然环境很好区域；
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道和散发大量粉尘和有害气体
工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰区域，如不能远离严重
空气污染源时，则应在其最大频率风向上风侧，或整年最小频率风向下风侧；
三、应部署在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越地域。
第3．1．2条 对于兼有微振控制要求洁净厂房位置选择，应实际测定
周围现有振源振动影响，并应和精密设备、精密仪器仪表许可环境振动值进行
分析比较。
第3．1．3条 洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房和烟囱之
间水平距离不宜小于烟囱高度12倍。
第3．1．4条 洁净厂房和交通干道之间距离不宜小于50米。
第3．1．5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路）。如
有困难时，可沿厂房两个长边设置消防车道。
第3．1．6条 洁净厂房周围道路面层，应选择整体性好、发尘少材新。
第3．1．7条 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓
度不产生有害影响树木，并形成绿化小区，但不得防碍消防操作。
@@& 第二节 工艺部署和设计综合协调
第3．2．1条 工艺部署应符合下列要求：
一、工艺部署合理、紧凑。洁净室或洁净区内只部署必需工艺设备和有
空气洁净度等级要求工序和工作室；
二、在满足生产工艺要求前提下，空气洁净度高洁净室或洁净区宜靠近空
气调整机房；空气洁净度等级相同工序和工作室宜集中部署；靠近洁净区入口 处宜部署空气洁净度等级较低工作室；
三、洁净室内要求空气洁净度高工序应部署在上风侧易产生污染工艺设
备应部署在靠近回风口位置；
四、应考虑大型设备安装和维修运输路线，并预留设备安装口和检修口；
五、应设置单独物料入口，物料传输路线应最短，物料进入洁净区之前必
须进行清洁处理。
第3．2．2条 洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可给予分隔：
一、按生产火灾危险性分类，甲、乙类和非甲、乙类相邻生产区段之间，
或有防火分隔要求者； 二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采
取局部方法加以控制者；
三、生产联络少，并常常不一样时使用两个生产区段之间。
第3．2．3条 洁净厂房平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料
净化和其它辅助用房进行分区部署。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、
气流组织型式、管线部署和净化空气调整系统等多种技术设施综合协调效果。
第3．2．4条 洁净厂房设计必需合理确定多种管线平面位置和坚向标高。
第3．2．5条 洁净厂房内多种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、 多种管线等）部署，宜首先考虑净化空气调整系统要求。
@@& 第三节 噪声控制
第3．3．1条 洁净室内噪声级，应符合下列要求：
一、动态测试时，洁净室内噪声级不应超出70分贝A。
二、空态测试时，乱流洁净室噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室噪
声级不应大于65分贝A。
注：①因为技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声
级可合适放宽，但不宜大于75分贝A；
②上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）测量值。对于
变动噪声，则取相同位置处于一个正常工作日内等效连续声压级。 第3．3．2条 洁净室噪声频谱限制，应采取倍频程声压级；各频带声压
级值不宜大于表3．3．2要求。
噪声频谱限制 表3．3．2
┌─────────┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┐
│倍频程＼中心频 │ │ │ │ │ │ │ │ │
│ ＼高声＼率 │63 │125 │250 │500 │1000││4000│8000│
│洁净＼压值＼（赫）│ │ │ │ │ │ │ │ │
│室分类＼（分贝） │ │ │ │ │ │ │ │ │
├────┬────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│空态 │乱流 │79 │70 │63 │58 │55 │52 │50 │40 │
│ ├────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│ │层流 │83 │74 │68 │63 │60 │57 │55 │54 │
├────┴────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│动态 │87 │78 │72 │68 │65 │62 │60 │59 │
└─────────┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┘
第3．3．3条 洁净厂房平、剖面部署，应考虑噪声控制要求，其围护
结构应有良好隔声性能，并宜使各部分隔声量相靠近。
第3．3．4条 洁净室内多种设备均应选择低噪声产品。对于辐射噪声超 过洁净室许可值设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。
第3．3．5条 净化空气调整系统噪声超出许可值时，应采取隔声、消声、
隔振等控制方法。
除事故排风外，应对洁净室内排风系统进行减噪设计。
第3．3．6条 净化空气调整系统，依据室内噪声级要求，风管内风速宜
按下列要求选择：
一、总风管为6--10米／秒；
二、无送、回风口文风管为6～8米／秒；
三、有送、回风口文风管为3～6米／秒。
第3．3．7条 洁净厂房噪声控制设计必需考虑生产环境空气洁净度要
求，不用因控制噪声而影响洁净室净化条件。
@@& 第四节 微振控制
第3．4．1条 洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动设备（包含水泵
等）及其通往洁净室管道，应采取主动隔振方法。
第3．4．2条 对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房综合振动
影响。如受条件限制，也可依据经验对综合振动影响进行评价。并应和精密设备、
精密仪器仪表许可环境振动值进行比较，以确定对其采取必需田振方法。
第3．4．3条 精密设备、精密仪器仪表隔振方法，应考虑降低发尘量、
保持洁净室内合理气流组织等要求。当采取空气弹簧隔振台座时，应对气温进 行处理，使其达成洁净室空气洁净度等级。
第四章 建筑
@@& 第一节 通常要求
第4．1．1条 洁净厂房建筑平面和空间布局，应含有合适灵活性。洁
净区主体结构不宜采取内墙承重。
第4．1．2条 洁净室高度以净高控制，净高应以100毫基础模数。
第4．1．3条 洁净厂房主体结构耐久性和室内装备和装修水平相协调，
并应含有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计要求）。
厂房变形缝应避免穿过洁净区。
第4．1．4条 送、回风管和其它管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹
道或地沟等；穿越极层竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。
第4．1．5条 对兼有通常生产和洁净生产综合性厂房，其方案设计和构
造处理，应避免在人流和物流运输和防火方面对洁净生产带来不利影响。
@@& 第二节 人员净化和物料净化设施
第4．2．1条 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根
据需要设置生活用室和其它用室。
第4．2．2条 人员净化用室，宜包含雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣
室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。
厕所、淋浴室、休息室等生活用室和工作服清洗间和干燥间等其它用室， 可依据需要设置。
第4．2．3条 人员净化用室和生活用室设计，应符合下列要求：
一、人员净化用室入口处，应设净鞋器。
二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按
设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。
四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内厕所应设前室。
五、空气吸淋室应设在洁净区人员入口处，并应和洁净工作服室相邻。单人
空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改
设气闸室。
洁净区工作人员超出5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。
第4．2．4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室部署，
通常按图4．2．4人员净化程序进行部署。
第4．2．5条 依据不一样空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人
员净化用室和生活用室建筑面积应合理确定。通常可按洁净区设计人数平均每
人4～6平方米计算。
第4．2．6条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定要求。
第4．2．7条 洁净室设备和物料出入口，应依据设备和物料性质、形
状等候征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室部署，应预防净化后物料
在传输过程中被污染。
@@& 第三节 防火和疏散
第4．3．1条 洁净厂房耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，
其耐火极限不宜小于0．25小时。
第4．3．2条 洁净厂房内通常生产工作间火灾危险性，可按附录三进
行分类。
第4．3．3条 甲、乙类生产洁净厂房，宜采取单层厂房。其防火墙间最
大许可占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。
第4．3．4条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中装配式洁净室，
其顶棚和壁板（包含内部填充物）应为非燃烧体。
第4．3．5条 在一个防火区内综合性厂房，其洁净生产和通常生产区域
之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其对应顶板耐火极限不应低于1小
时，隔墙上门窗耐火极限不应低于0．6小时。穿过隔墙或顶板管线周围空隙
应采取非燃烧材料紧密填塞。
第4．3．6条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井
壁上检验门耐火极限不应低于0．6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应
采取相当于楼板耐火极限非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔管线
周围空隙，应采取非燃烧材料紧密填塞。
第4．3．7条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区安全出
口数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：
一、甲、乙类生产厂房每层总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内
生产人员总数不用过5人；
二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行《建筑设计防火规范》要求
者。
安全出口应分散均匀部署，从生产地点至安全出口不用经过曲折人员净化
路线。
第4．3．8条 洁净区和非洁净区和洁净区和室外相通安全疏散门应向疏
散方向开启。安全疏散门不得采取吊门、转门、侧拉门和电控自动门。 第4．3．9条 当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区门窗，
其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙合适部位设置专用消防口。
专用消防口宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有显著
标志。
楼层专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。
@@& 第四节 室内装修
第4．4．1条 洁净厂房建筑围护结构和室内装修，应选择气密性良好，
且在温度和湿度等改变作用下变形小材料。墙面内装修当需附加结构骨架和保
温层时。应采取非燃烧体或难燃烧体。
第4．4．2条 洁净室内墙壁和顶棚表面，应符合平整、光滑、不起灰、
避免眩光、便于除尘等要求；应降低凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采取
于操作；如为抹灰时，应采取高级抹灰标准。
第4．4．3条 洁净室地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚
静电、避免眩光、并有舒适感等要求。
第4．4．4条 洁净厂房技术夹层墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内
更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。
地面、回风地沟和在地下技术夹层，应采取防水或防潮、防霉方法。
建筑风道和回风地沟内表面装修标准，应和整个送、回风系统相适应，并 应易于除尘。
第4．4．5条 洁净室和人员净化用室设置外窗，应采取双层玻璃金属窗，
并应有良好气密性。
第4．4．6条 洁净室内密闭门宜朝空气洁净度较高房间开启。无窗洁
净室密闭门上宜设观察窗
第4．4．7条 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面结构和施工缝隙，
均应采取可靠密封方法。
第4．4．8条 洁净室内色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料光反射系数，
顶棚和墙面宜为0．6－0．8；地面宜为0．15--0．35。
@@& 第五节 装配式洁净室
第4．5．1条 在新建或改建洁净厂房设计中，对于面积不大、层高较低、
要求空气洁净度较高生产环境可采取装配式洁净室。
第4．5．2条 装配式洁净室所在房间应有空气净化要求，并应和装配式洁
净室空气洁净度等级相适应。外围建筑耐火等级不得低于二级。
第4．5．3条 装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身内壁板或支柱支承，
也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑地面以下。
第4．5．4条 装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板要求。装配
式洁净室构配件应做到：连接结构整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、
包装和运输。
第4．5．5条 装配式洁净室四面壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外
围建筑墙壁。紧贴时，壁板和墙壁之间安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清
扫距离。当装配式洁净室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板和外围建筑内墙面
之间净宽不宜小于600毫米。
第五章 空气净化
@@& 第一节 通常要求
第5．1．1条 洁净厂房内各洁净室空气洁净度等级确实定，应符合下列
要求：
一、洁净室内有多个工序时，应依据各工序不一样要求，采取不一样空气洁
净度等级。
二、在满足生产工艺要求前提下，洁净室气流组织，宜采取局部工作
区空气净化和全室空气净化相结合形式。
第5．1．2条 层流洁净室和乱流洁净室和运行班次和使用时间不一样洁
净室，其净化空气调整系统均宜分开设置。
第5．1．3条 洁净室内计算温、湿度，应符合下列要求：
一、满足生产工艺要求；
二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26℃，湿度小于70％；
三、人员净化用室和生活用室温度为16－28℃。
第5．1．4条 洁净室内应确保－定新鲜空气量，其数值应取下列风量中
最大值：
一、乱流洁净室后送风量10－30％，层流洁净室总送风量2～4％；
二、赔偿室内排风和保持室内正压值所需新鲜空气量；
三、确保室内每人每小时新鲜空气量大于40立方米。
第5．1．5条 洁净区清扫，宜采取移动式高效真空吸尘器或设置集中式
真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统管道，应暗敷。
第5．1．6条 在净化空气调整系统设计中，对施工和维护管理要求，可按
附录四和附录五要求。
@@& 第二节 洁净室正压控制
第5．2．1条 洁净室必需维持一定正压。 不相同级洁净室和洁净区
和非洁净区之间静压差，应大于0．5毫米水柱；洁净区和室外静压差，不
应小于1．0毫米水柱。
第5．2．2条 洁净室维持不一样正压值所需正压风量，宜按下式计算：
Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）
式中Q一维持洁净室正压值所需正压风量（立方米／时），
a一依据围护结构气密性确定安全系数，可取l．l－l．2；
q一当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙渗漏风量（立方
米／时·米）；
L一围护结构缝隙长度（米）。
第5．2．3条 围护结构单位长度缝隙渗漏风量 可按表5．2．3采取。
围护结构单位长度缝隙渗漏风量 表5．2．3
┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐
│漏风 ＼门窗 │ │密│单层│单层│单层│传输│壁板│
│＼量（＼ 形 │非密│闭│固定│固定│开启│窗 │ │
│压差＼米^3 ＼式│闭门│门│密闭│密闭│式密│ │ │
│差（毫＼/时 ＼│ │ │木窗│钢窗│闭钢│ │ │
│米水柱）＼米）│ │ │ │ │窗 │ │ │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│0.5 │17 │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│1.0 │24 │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ │1.5 │30 │8 │2.0 │1.3 │6.0 │40 │0.8 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│2.0 │36 │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│2.5 │40 │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│3.0 │44 │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│3.5 │48 │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│4.0 │52 │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│4.5 │55 │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│5.0 │60 │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │
└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘
第5．2．4条 送风、回风和排风系统启闭应联锁。系统开启时，联锁程
序应为先开启送风机，再开启回风机和排风机；系统关闭时则联锁程序应相反。 第5．2．5条 非连续运行洁净室，可依据生产工艺要求在置值班风机，
并应对新风进行处理。
@@& 第三节 气流组织和送风量
第5．3．1条 气流组织选择，应符合下列要求：
一、洁净工作区气流速度，应满足空气洁净度和人体健康要求来。并应
使洁净工作区气流流向单一；
二、回风口宜均匀部署在洁净室下部；
三、余压阀宜设在洁净室气流下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。
第5．3．2条 洁净室气流组织和送风量，宜按表5．3．2选择。
气流组织和送风量 表5．3．2
┌───────┬───────────────┬───────┐
│空气洁净 │ 100级 │ 1000级 │
│度等级 │ │ │
├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤
│ │气流流型 │垂直层流 │水平层流 │ 乱流 │
│气├─────┼───────┼───────┼───────┤
│流│送凤 │1.顶棚满布高效│1.送风墙满布高│1.孔板顶棚送风│
│组│关键 │空气过滤器送风│效空气过滤器 │2.条形部署高效│
│织│方法 │（高效空气过 │水平送风 │空气过滤器顶棚│
│形│ │滤器占顶棚面积│2.送风墙局部布│送风 │
│式│ │大于60％） │置高效空气过滤│3.间隔部署带扩│
│ │ │ │器水平送风 │散板高效空气 │
│ │ │2.侧布高效空气│（高效空气过滤│过滤器顶棚送风│
│ │ │过滤器，顶棚设│器占送风墙面 │ │
│ │ │阻尼层送风 │积大于40％）│ │
│ │ │3.全孔板顶棚送│ │ │
│ │ │风 │ │ │
│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤
│ │回风 │1.格栅地面回风│1.回风墙满布 │1.相对两侧墙下│
│ │关键 │⑴满布 │回风口 │部均匀部署回 │
│ │方法 │⑵均匀局部部署│2.回风墙局部布│风口 │
│ │ │2.相对两侧墙下│置回风口 │2.洁净室面积较│
│ │ │部均匀部署回 │ │大时，可采取 │
│ │ │风口 │ │地面均匀部署 │
│ │ │ │ │回风口 │
├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤
│送│气流流经室│大于0.25 │大于0.35 │ │
│风│内断面风速│ │ │ │
│量│（米／秒）│ │ │ │
│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤
│ │换气次数 │ │ │大于50 │
│ │（次／时）│ │ │ │
├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤
│送风口风速 │孔板孔3～5 │ │孔板孔口3～5 │
│（米／秒） │ │ │ │
├───────┼───────┼───────┼───────┤
│回风口风速 │小于2 │小于1.5 │1.洁净室内回风│
│（米／秒） │ │ │口小于2 │
│ │ │ │2.走廊内回风口│
│ │ │ │小于4 │
└───────┴───────┴───────┴───────┘ 注：１.垂直层流洁净室采取相对两侧墙下部均匀部署回风口方法，仅适适用于两对侧
侧墙间距小于5米．
2.乱流洁净室送风量确实定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散原因．
┌───────┬───────────┬───────────┐
│空气洁净 │ 10,000级 │ 100,000级 │
│等级 │ │ │
├─┬─────┼───────────┼───────────┤
│气│气流流型 │ 乱流 │ 乱流 │
│流├─────┼───────────┼───────────┤
│组│送风 │1.局部孔板顶棚送风 │1.带扩散板高效空气过 │
│织│关键 │2.带扩散板高效空气过 │滤器顶棚送风 │
│型│方法 │滤器顶棚送风 │2.上侧墙送风 │
│式│ │3.上侧墙送风 │ │
│ ├─────┼───────────┼───────────┤
│ │回风 │1.单侧墙下部部署回风口│1.单侧墙下部部署回风口│
│ │关键 │2.当采取走廊回风时，在│2.当采取走廊回风时，在│
│ │方法 │走廊内均匀部署回风口或│走廊内均匀部署回风口或│
│ │ │在走廊端部集中设置回 │在走廊端部集中设置回 │
│ │ │风口 │风口 │
├─┼─────┼───────────┼───────────┤
│送│气流流经室│ │ │
│风│内断风面风│ │ │
│量│速 │ │ │
│ │（米／秒）│ │ │
│ ├─────┼───────────┼───────────┤
│ │换气次数 │大于25 │大于15 │
│ │（次／时）│ │ │
├─┴─────┼───────────┼───────────┤
│送风口风速 │1.孔板孔口3～5 │侧送风口 │
│（米／秒） │2.侧送风口 │⑴贴附射流2～5 │
│ │⑴贴附射流2～5 │⑵非贴附射流同侧墙下部│
│ │⑵非贴附射流同侧墙下部│回风1.5～2.5，对侧墙 │
│ │回风1.5～2.5，对侧墙 │下部回凤1.0～1.5 │
│ │下部回凤1.0～1.5 │ │
├───────┼───────────┼───────────┤
│回风口风速 │1.洁净室回风口小于2│1.洁净室回风口小于2 │
│（米／秒） │2.走廊内回风口小于4│2.走廊内回风口小于4 │
└───────┴───────────┴───────────┘
第5．3．3条 乱流洁净室送风量，应取下列要求最大值：
一、为控制室内空气洁净度所需要送风量；
二、按表5．3．2要求送风量；
三、依据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需送风量；
四、按空气平行所需要送风量。
第5．3．4条 当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达成更高空气洁
净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室不一样区
域形成不一样气流流型和空气洁净度等级洁净工作区，其型式可分别按图5．3．
4－1、图5．3．4－2选择。
第5．3．5条 层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁
净工作台，但其位置应远离回风口。
第5．3．6条 洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流下 风侧。
--@@& 第四节 空气净化处理
第5．4．1条 各等级空气洁净度空气净化处理，均应采取初效、中效、
高效空气过滤器三级过滤。
注：100,000级空气净化处理,可采取亚高效空气过滤器替换高效空气过滤器。
第5．4．2条 确定集中式或分散式净化空气调整系统时，应综合考虑生产
工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等原因。凡生产工艺连续、洁净室
面积较大、位置集中和噪声控制和振动控制要求严格洁净室，宜采取集中式
净化空气调整系统。
第5．4．3条 净化空气调整系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大
量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其它工序有危害时，则不应利用回 风。
第5．4．4条 净化空气调整系统除直流式系统和设置值班风机系统外，
应采取预防室外污染空气经过新风口渗透洁净室内防倒灌方法。
第5．4．5条 空气过滤器选择、部署和安装方法，应符合下列要求：
一、初效空气过滤器不应选择浸油式过滤器
二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调整系统正压段；
三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调整系统末端；
四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选择；
五、阻力、效率相近高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内； 六、高效空气过滤器安装方法应简便可靠，宜于检漏和更换。
第5．4．6条 送风机可按净化空气调整系统总送风量和总阻力值进行选
择。中效、高效空气过滤器阻力宜按其初阻力两倍计算。
第5．4．7条 净化空气调整系统如需电加热时，应选择管状电加热器，位
置应部署在高效空气过滤器上风侧，并应有防火安全方法。
@@& 第五节 采暖通风
第5．5．1条 洁净室采暖型式，应按下列不一样情况确定：
一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采取散热器采暖；l00，000级
洁净室，不宜采取散热器采暖。
二、值班采暖可利用技术夹道散热器进行间接采暖，或采取间歇运行净化
空气调整系统、值班风机系统进行热风采暖。
第5．5．2条 散热器应采取表面光滑、不易积尘、便于清扫型式。
第5．5．3条 洁净室内产生粉尘和有害气体工艺设备，应设局部排风装
置，排风罩操作口面积应尽可能缩小。
第5．5．4条 局部排风系统在下列情况下，应单独设置：
一、非同一净化空气调整系统；
二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；
三、所排出有害物毒性相差很大。
第5．5．5条 洁净室排风系统设计，应采取下列方法：
一、防倒灌方法；
二、含有易燃、易爆物质局部排风系统防火、防爆方法。
第5．5．6条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风
方法。其室内静压值，应低于洁净区。
第5．5．7条 洁净室事故排风系统换气次数，应采取每小时15～20次。
事故排风装置控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作地点，并应和净
化空气调整系统联锁，其室内宜设报警装置。
@@& 第六节 风管和附件
第5．6．1条 风管断面尺寸确实定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，
并在合适位置设置密闭清扫口。风管壁厚按附录六选择。 第5．6．2条 净化空气调整系统新风管、回风总管，应设置密闭调整阀。
送风机吸入口处和需要调整风量处，应设置调整阀。洁净室内排风系统，应
设置调整阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必需设置
防火阀。
第5．6．3条 净化空气调整系统风管和调整阀和高效空气过滤器保
护网、孔板和扩散孔板等附件制作材料和涂料，应依据输送空气洁净要求及
其所处空气环境条件确定。
洁净室内排风系统风管、调整阀和止回阀等附件制作材料和涂料，应根
据排除气体性质及其所处空气环境条件确定。
第5．6．4条 在中效和高效空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管
和送回风总管和需要调整风量支管上，应设置风量测定孔。
第5．6．5条 排除腐蚀性气体风管，可采取塑料风管。其它风管和风
管保温和消声材料及其粘结刑，应采取非燃烧材料或难燃烧材料。
第六章 给水排水
@@& 第一节 通常要求
第6．1．1条 洁净厂房内给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、
地沟管槽内或地下埋设。
洁净室内应少敷设管道。引入洁净室支管宜明敷，但对空气洁净度等级要 求高洁净室可暗敷。
第6．1．2条 洁净厂房内管道外表面，如可能结露，应采取防结露方法。
第6．1．3条 管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道和套管
之间应采取可靠密封方法。
第5．1．4条 管道不宜穿过防火墙。如必需穿过时，穿墙管及其套管应为
非燃烧体管材。
@@& 第二节 给水
第6．2．1条 洁净厂房内给水系统设计，应依据生产、生活和消防等各
项用水对水质、水温、水压和水量要求，分别设置直流、循环或反复利用给
水系统。高纯水系统应设置循环管道。
第6．2．2条 管材选择，应符合下列要求
一、纯水管、高纯水管应采取硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；
二、冷却循环给水和回水管宜采取镀锌钢管；
三、生产用水设备和管道连接宜采取优质软管；
四、管道配件应采取对应材料。
第6．2．3条 洁净厂房内可设置开水供给设施；盥洗室内盥洗盆宜供给
热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。
第6．2．4条 洁净厂房周围，应设置洒水设施。
@@& 第三节 排水
第6．3．1条 洁净厂房排水系统设计，应依据生产排出废水性质、浓
度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。 第6．3．2条 洁净室内排水设备和和重力回水管道相连接设备，必
须在其排出口以下部位设水封装置，并应有预防水封被破坏设施。
第6．3．3条 100级、1000级洁净室内，不宜设置地漏；如必需设置时，应
采取有盖地漏，并不应设排水沟。10，000、100，000级洁净室内许可穿过排水
竖管，但在竖管上不得设置检验口。
第6．3．4条 洁净厂房内应采取不易积存污物、易于清扫卫生器具、管
材、管架及其附件。
@@& 第四节 消防设施
第6．4．1条 洁净厂房应依据生产火灾危险性分类和建筑物耐火等级等
原因确定消防设施。
第6．4．2条 洁净厂房室内消火栓给水系统消防用水量不应小于10升／
秒，每股水量不应少于5升／秒；
第6．4．3条 洁净厂房消火栓设置，应符合下列要求：
一、消火栓水枪充实水柱，不应小于10米。
二、消火栓栓口直径应为65毫米，配置水带长度不应超出25米，水枪喷
嘴口径不应小于19毫米。
第6．4．4条 洁净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或
二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有珍贵设备仪器或生产火灾危险性
较大洁净室，和当火灾发生时消防人员难以进入扑救技术夹层和技术夹道 等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。
第七章 工业气体管道
@@& 第一节 通常要求
第7．1．1条 工业气体管道干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢
气和氧气管道宜明