洁净室检测大全.doc

(完整word版)洁净室检测大全洁净室检测大全洁净室检测之洁净度检测一、洁净室洁净度说明洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。二、洁净室洁净度检测仪器洁净度检测使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流量1cfm，最小粒径可测到0.3mm或是0.1mm，单位多是立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。Class1000或更高：0.5mClass100：0.3m，0.5umClass1到Class10：0.1m若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以ISO为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计算程序。三、洁净室洁净度检测步骤： (1)确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。 (2)确认测试位置与测试点数。 (3)取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。 (4)测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。(5)测量点数以公式计算（与209E相同）。四、洁净室洁净度检测验收标准：洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于规定值。洁净室检测之风速及平衡性测试一、测试目的气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。二、使用仪器洁净室里面使用的HEPA/ULPA滤网，其送出气流的速度多半都控制在0.5m/s以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如ShortridgeVelgrid16点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计（HotWire）虽然高频响应良好，但是低速时0.5m/s以下准确性很低，因此不很适用，一般热反应风速计常用的是Thermeister式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。检验仪器须经校正合格，且仍在有效期限内。三、测试步骤 (1)在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。(2)取样点位于滤网下方75-150mm处。(3)每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每1平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每4平方英尺取一点。(4)每测量点必须取5秒的平均。(5)依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。(6)记录所有原始数值，以及分析后的数值。重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。四、数据分析风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。1.平均值：2.标准差洁净室检测之风量及平衡性测试一、说明风量测量的目的通常是用来计算换气量，一般是在非单一流向型无尘室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法使用气罩的场合（气罩体积较大，有时会受限制），才能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算风量时，须注意出风口之有效面积以及修正系数的取得。在回风口和排气口，使用换算法的准确度非常差，应尽量避免。同样气罩通常可以测量送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注意的是反向测量时，其测量范围通常会降低。二、测试仪器风量测量应当使用气罩（FlowMeasuringHood），气罩的测量范围是152500cfm，精确度要求为读数的3%。由于气罩本身会产生压损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子，应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要，必须主机连同罩子一起校正，才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。三、测试步骤： (1)在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。(2)使用恰当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后测量与计录。(3)依验收标准分析所有风量，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。(4)记录所有原始数值，以及分析后的数值。四、数据分析：风量均匀度的计算与风速向同，都是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。1.平均值：将所有风测量量值取算数平均2.标准差：计算所有风测量量值的标准差洁净室检测之压差测试一、说明压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个commonsense，在209的旧版本中，正压有建议值，但是后来就取消了。目前常见的正压值约是10到25Pascal之间。压力测量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量，尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。因为如果压力不对，要立刻调整以免影响洁净度。测量时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。二、测试仪器压力测量可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的5%，测量范围式压力设计值而定，一般05mmAq（050Pascal）即可涵盖室内外压力差之测量。仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用，检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。三、测试步骤1.必须在风速、风量、气流等测试完成后，才能测试压力，并且排气与MAU要完全正常运转。2.全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为0.0mmAq表压力。3.测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再测量房间与Gowningroom之间压差，最后测量Gowningroom与外部之压差。4.建议压差值为512Pa，并无强制规定。5.记录所有数值。洁净室洁净度之温湿度检测一、说明温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（Level3）。但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（GeneralTestsandComprehensiveTests），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。二、测试仪器：常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是0-100，精确是0.2。湿度测量范围是10到95，精确度是2。一般测量要求温度之显示值可显示0.1的变化，湿度的显示值可显示1的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示0.05的变化，湿的显示值可显示0.1的变化。检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。三、测试程序：1.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。2.依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。3.测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个DryCoil的控制范围要量一点，测量高度为(高架)地板上1.00m。4.将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。洁净室检测之光照度测试一、测前准备1.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成2.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。3.洁净室环境需清洁完成二、测试目的此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。三、测试仪器专业照度仪四、测试步骤1. 无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。2.确认测试点及配置图编号。3.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测10秒记录。洁净室检测之噪音度测试一、检测准备1.竣工图面（初版）与相关规范确认2.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。3.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。4.洁净室环境需清洁完成。二、测试目的此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。三、测试仪器专业噪音仪四、测试位置每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数。五、测试步骤：a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。b.确认测试点及配置图编号。c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录最大值。洁净室检测之气流流向检测一、测试目的平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。二、测试方法一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA、和轻质棉线。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。三、测试仪器1.支架2.铅垂线3.Flo-Viz细线4.气流流向检测仪四、测试步骤1.用支架设立垂线作为基准线。2.将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。计算偏移角=tan-1(悬吊线徧移量/1220)。6.每3m3m区域量1点。若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。洁净室检测之静电检测一、测试目的静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可仿真物体在该气流场中之残余表面电压。二、测试程序1.于无尘室内离地32英吋(813mm)处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数：10个，或由业主自己决定。2. 在同一位置做残余电压测试。