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1、曝光机操作规程修订日期修订单号修订内容摘要页次版次修订审核同意/03/30/系统文件新制订4A/0/同意:审核:编制:曝光机操作规程1 目标正确指导职员操作,提升工作效率,提升产品品质,规范生产管理2 范围生产部曝光工序全体职员3职责生产部曝光工序人员负责设备操作4相关文件4.1SYQC04曝光工序工艺规程5曝光机操作规程5.1检验冷却水循环是否正常;5.2开启电源;5.3按下开启开关(Start)按LCD显示器,选择汉字操作系统;5.4按下主画面上之“开启开关”,开启主系统;52.5按下“灯源系统”进行点灯动作;5.6将“曝光方法”设定在手动“框架前进”设定在自动,并开启黄灯;5.7按曝光尺

2、设定和调整曝光能量;5.8清洁台面后将待曝光板置于玻璃和MYLAR中 5.9按吸真空开关,并用手轻压MYLAR关紧框架;5.10按框架前进按钮,使框架进入曝光室进行曝光;5.11当上框架进行曝光时,可在下框架放置待曝光板,反复第1.81.10之步骤,上、下框架交替使用;5.12操作完成按主画面之“关机开关”选择“是”,关闭电源,关闭冷却水循环。6相关统计表格6.1设备日常维护统计设备日常维护统计部门:工序: 序号:设备名称型号设备编号年 月 日 项目 日期安全装置调整器油、水、气通道过滤器传动部位滑动部位防锈处理卫生清理其它署名12345678910111213141516171819202122232425262728293031注:无此项,请从横格左下角至右上角画一条斜线“/”,已做项目,请打“”,未有保养项目请在其它里面填写。

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