防静电典型工艺技术模板.doc

ICS.Q/RSAG青岛海信电器股份企业标准Q/RSAG J05.002Q/RSAG J05.002-防静电经典工艺 - XX - XX公布 - XX - XX实施青岛海信电器股份公布前言本标准依据GB/T 1.1-起草。本标准替换Q/RSAG J05.002-。本标准和Q/RSAG J05.002-相比，改变以下：增加潮湿敏感器件管理要求，增加脚腕带等防静电用具说明。增加了3.5条增加了防静电脚跟带；增加了3.12条腕带报警器；增加了3.13条人体综合检测仪；修改了4.2.2条工艺要求；修改了9.5条电子产品在装配、测试过程中静电防护要求；增加了9.6条EDS元件和电子产品在运输过程中静电防护要求；增加了11章潮湿敏感器件。本标准由产品引入中心提出。本标准起草部分：产品引入中心。本标准关键起草人：刘明元。防静电经典工艺1 范围1.1 本工艺要求了彩色电视机、数字电视接收器等电子产品生产过程中静电防护要求。1.2 本工艺适适用于电子产品静电敏感元件在进厂检验、保管、存放、收、发、领、退料及生产全过程静电防护。2 术语和定义2.1 静电物体表面过剩或不足相对静止电荷，能够长时间停留在一些物料上。静电是正负电荷在局部范围内失去平衡结果，是经过电子转移而形成。这些不平衡电荷，就产生了一个能够衡量其大小电场，称为静电场，它能影响一定距离内其它物体，使之感应带电，影响距离之远近和其电量多少相关。产生原因：摩擦、剥离、破裂、电解、感应、吸附等。机理：物质因失去或得到电子而带电。2.2 静电放电（ESD）当两个带不一样静电电位物体相互靠近到某种程度或接触时，静电从一个物体忽然流放到另一物体上现象。2.3 静电防护工作区（EPA=ESD Protection Area）无任何材料或活动会造成静电敏感元件有静电损坏风险工作区。配置多种防静电设备和器材，能限制静电电位，含有确定边界和专门标识适于从事静电防护操作场所。2.4 静电放电敏感（ESD）器件对静电放电敏感且极易被破坏器件。静电敏感器件关键包含: a. MOS器件、MOS管及MOS集成电路。bFET器件、包含场效应管和集成电路。c. TTL器件、包含多种逻辑门数字集成电路。d. AMP放大器、比较器、调整器等模拟集成电路。e.X-ROM存放体器件和记忆体器件、包含PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。f.CPU微处理器及多种BGA器件。g.多种二极管、三极管。h.多种半导体开关元件。I.多种厚膜和薄膜电阻。k.SAW声表面波器件。L.石英、晶振体器件。m.以上元器件组装PCBA组件。3 常见防静电用具3.1 防静电腕带 佩戴于人体手腕上，释放人体聚集静电电荷器件（由外部绝缘性高、内置导电丝线软扣带及伸缩性强电线组成），同时预防快速放电产生火花，并起隔离作用。图1： 图13.2 防静电手套 有良好ESD保护作用，预防人体指尖产生尖端放电手套。 图2：图23.3 防静电工衣为了预防衣服静电积累，用防静电织物为面料而缝制工作服。图3。 图33.4 防静电鞋 鞋底用防静电材料制作，不仅能消除人体静电积聚，且能钝化触及250V以下电源电击伤害防护鞋。图4。 图43.5 防静电脚跟带 防静电脚跟带由导电橡胶、可调整魔术贴和导电织带组成，人体电荷可经过导电织带经导电橡胶安全泄放至导电地板，是人员防静电所必需采取方法之一。图5。 图53.6 除静电离子风枪 由外接高压产生器供给电源，枪嘴内离子针电晕放电，将经过高压气流电离为大量正负离子，离子风快速吹向需除静电区域将静电中和，同时吹除灰尘，并预防灰尘因静电再次吸附。离子风枪可方便灵活地移动，适合局部区域静电消除。 图6。图6 （图示中高压发生器未接压缩空气管道）3.7 离子风机利用空气电离产生大量正负电荷，并用风机将正负电荷吹出。形成一股正负电荷气流，将物体表面所带电荷中和掉。当物体表面所带为负电荷时，它会吸引气流中正电荷，当物体表面所带为正电荷时，它会吸引电流中负电荷，从而使物体表面上静电被中和，达成消除静电目标。离子风机是固定在需要中和静电场所，不能随时移动。图 7。 图73.8 防静电台垫 由抗（导）静电材料和耗散静电材料合成橡胶等制做而成。表面层为约0.5mm厚耗散静电层，底层为约1.5mm厚导电层。图8。 图83.9 防静电包装袋由基材、金属镀膜层和热封层多层复合而成，本身“不起”静电和能屏蔽外界静电双重功效。分为防静电塑料袋、导静电塑料袋和防静电屏蔽袋三种。图9。图93.10 防静电衬垫 3.10.1 采取EVA为原材料,经内添加导电助剂并模压交联,发泡而成，摩擦电压低,静电衰减时间短且不受环境空气温度影响，通常采取黑色或粉红色。图10。3.10.2 采取防静电布料套在软材料上防震周转垫，防滑、防擦痕，摩擦静电低，缺点是脏污后防静电效果变差。图103.11 防静电地面 能较少产生静电或易于泄漏静电，以预防静电危害地面。3.12 腕带报警器3.12.1 实时检测操作人员静电手腕带佩戴情况及地线接入大地情况，遇异常情况立即自动报警。腕带报警器灵敏度高，当静电泄放通路出现故障0.1秒，检测器会自动报警。图11。3.12.2 腕带报警器正常状态： 人体手腕带接地系统正常工作时，无声音、绿灯亮，对静电手腕带进行实时监控。 静电手腕带和手接触良好，静电手腕带和接地线接触良好，人体静电放电顺利，无声音、绿灯亮。3.12.3 腕带报警器报警状态： 手腕带线脱落、手腕带和手接触松动。 人体皮肤干燥，静电泄放不畅。 手腕带损坏。 大地线放电不良。图113.13 人体综合检测仪人体综合检测仪是为测量人体静电综合电阻(包含人体、鞋、袜等电阻)而设计用直观发光二极管显示装置。该系统能同时测试两脚和人体间综合电阻。当人体综合电阻过大时，静电不能泄漏进入大地而有静电放电危险，该仪器报警。当人体综合电阻过小时，人体综合检测仪也能报警。有两种工作模式：脚脚工作模式和手脚工作模式，即可测量人员穿着防静电鞋或佩戴脚跟带状态也可测量人员佩戴防静电腕带状态。图12。图124 常见防静电用具技术要求及工艺要求4.1 防静电腕带 4.1.1 技术要求: 内接安全电阻 106（兼顾人体安全和有效放电）；连线内芯6根；静电释放时间小于 0.1 秒。4.1.2 工艺要求：图13。1）必需和人体皮肤接触，不能佩戴在手套或衣服上,另一端必需良好接地；2）工作时间必需连续佩戴；3）进行高压测试工位严禁佩戴防静电腕带。图134.1.3 检测方法：将有绳腕带戴于手腕上，腕带插头端插入腕带测试仪测试孔中，用另一只手按下测试仪导电板，同时连续抖动腕带线，“绿灯”连续亮且有鸣叫声表示合格（即导通）；“红灯”亮表示不合格（即不导通），须更换；“绿灯”时亮时灭也表示不合格（即接触不良），也须更换。图14。 合格 不合格图144.2 防静电工衣（含防静电帽） 4.2.1 关键技术要求: 起电电压100v； 表面电阻在106 109之间；洗涤次数：A级100次；B级50次。4.2.2 工艺要求： 4.2.2.1 严禁在防静电工衣上附加或佩戴任何金属物件；4.2.2.2 必需作为外套，且完全覆盖原有衣物；衣扣全部扣好，拉链式须将拉链拉到最顶端；各袖口需全部锁紧，不得挽起；图15；4.2.2.3 尽可能采取简易方法洗涤，避免使防静电工衣受到较强机械和化学操作洗涤；4.2.2.4 不准在防静电工作区内现场穿上或脱去工作服。衣领需平整，不得竖起。4.2.2.5 职员在佩戴防静电帽时需注意以下事项。图16。 帽檐处不能露出头发；不合格 男士头发不得超出衣领； 女士需将头发收拢在防静电帽内； 在工作区内不得脱帽整理头发和防静电帽。图15图164.2.3 检测方法： 4.2.3.1 将待检衣服平整地放在干燥绝缘塑料板，测试前用干燥抹布擦拭塑料板，消除板上水分和杂质，选择2个衣袖、前襟两侧、后背共5点，被测两点距离在20cm左右，用重锤式表面电阻测试仪，见图17。也可用接触式测试仪，将其轻压在衣服表面，其中测试仪导轨和衣服上导电纤维垂直，检测其表面电阻在106 109之间；将一个检测电极（重锤）放在工衣表面，另一个电极接防静电地，检测其系统电阻（对地电阻）在105 108之间。图174.2.3.2 用静电压测试仪检测起电电压100V，且在10秒内泄放至50V以内。图18。图184.3 防静电布套检测方法同防静电衣。4.4 防静电鞋4.4.1 技术要求：表面电阻105 109；摩擦起电电压60%），但考虑腐蚀及元件氧化，折中湿度要求40%60% （即使高达90%，静电还是可能产生）。见表1。表1产生方法 10-25% RH 65-90% RH在地毯上行走 35000V1500V在乙烯瓦上行走1V250V手拿乙烯塑料袋装入器件时7000V600V坐在椅子上工人 6000V100V在流水线工位接触聚酯塑袋时0V1200V在操作工位和聚胺酯类接触时18000V1500V从椅子上拿起涤纶包0V1200V带有聚氨酯泡沫椅子18000V1500V6.5 决定静电放电速度关键原因6.5.1 放电路径导电性6.5.2 放电环境相对湿度6.5.3 材料表面湿度6.5.4 静电荷自然中和速度 6.6 静电破坏6.6.1 静电破坏路径：1） 对静电敏感元件直接放电；2） 从静电敏感元件对外放电；间接对静电敏感元件放电（EMI感应破坏）。图22。图226.6.2 静电破坏种类： 严重损坏：完全失去功效。比如:金属熔化,短路等。 局部损坏：部分功效退化（通常局部损坏可演变为潜在损坏！） 潜在损坏：部分功效退化，使用中继续退化，直到完全失效。 潜在损坏破坏力强大 占全部损坏关键成份（60%80%）； 无法立即发觉，发觉和证实全部有一定难度； 极难和成因挂钩，较难推进成因更正工作 临时失效：数据电路中功效受到干扰或数据遗失。7 静电放电控制技术依据7.1 阻止静电产生7.1.1 经过设计在产品中置入保护7.1.2 消除产生静电7.1.3 控制放电路径和速度7.2 静电放电控制技术原理7.2.1 AntiStatic（防静电）无静电控制a) 依据静电序列表避免采取易生静电物料；b)选择导电性较高物料，同时兼顾放电速度；c)处理绝缘物料，增加其表面导电性。7.2.2 接地放电控制a)在处理或动ESD器件之前，必需先做好全部接地装置；b)接地物件必需有足够导电性，但放电速度必需得到控制，不能太快或太慢（105R1米/1英尺）；b)使用含有屏蔽功效包装或盒子来运输ESD器件。7.2.4 电容阻隔控制(常见在包装材料上)7.2.5 等电位控制使用导电性好连接物，使得电位差V=0(静电仍可能存在！)7.2.6 电离中和控制使用于绝缘体或无接地物件（工具如离子风机和离子风枪）7.3 静电防护要素图23 静电敏感器件进厂检验 静电敏感器件保管存放 静电敏感器件预处理 静电敏感器件装配过程 静电敏感器件验收配料 静电敏感器件收、发、领、退料 静电敏感器件预加工 机芯调试和检验 机芯中间处理过程8 静电防护工艺步骤9 静电敏感作业岗位防静电要求 9.1 ESD器件（含模块单元）检验、生产岗位防护要求:9.1.1 ESD器件检验所需桌面应铺设防静电台垫，防静电台垫必需接静电地线，仪器、仪表、设备必需安全接设备地。9.1.2 操作人员应含有ESD器件通常防护常识。9.1.3 操作人员必需佩戴防静电腕带和防静电手套（必需时戴防静电指套）。9.1.4 检验过程中必需使用ESD器件原包装进行运输和存放。9.1.5 操作人员严禁触及ESD器件引脚，应持ESD器件两端（塑装部分）。9.1.6 检测ESD器件时, 应从包装容器中取一块，测一块，放一块，经检测合格器件应按原包装封装后退库。9.1.7 ESD器件加电测试时,中途不能随意插入或拔出器件。9.1.8 检测人员应熟悉ESD器件型号、品种和关键技术要求。9.1.9 ESD器件（含模块单元）存放、保管中防护要求:9.1.10 ESD器件应在防静电专用区内存放。9.1.11 操作人员应含有静电敏感器件通常防护常识。9.1.12 ESD器件储存应使用原包装,若需更换包装,要在防静电工作台面上进行，新更换包装必需含有防静电性能。9.1.12.1 ESD器件储存区内敏感器件不能和非敏感器件混放在一起。9.1.12.2 ESD器件储存区内货架应接防静电地线，在每个货架上应设有防静电标志,图24。 a静电敏感 b静电防护图249.1.13 通常要求用ESD器件原包装标识数量（未开封）或用目测方法在透明ESD器件原包装内清点数量。9.1.14 若必需用手清点数量时，操作人员必需佩带防静电腕带和防静电手套（必需时戴防静电指套），并在防静电台面上清点。9.1.15 操作人员应含有ESD器件通常防护常识。9.1.16 通常要求用ESD器件原包装标识数量（未开封）或用目测方法在透明ESD器件原包装内清点数量。9.1.17 须用手清点数量时，操作人员须佩带防静电腕带和防静电手套（必需时戴防静电指套），并在防静电台上清点。9.1.18 ESD器件储存过程应使用原包装,若需更换包装,要在防静电工作台面上进行，新更换包装必需含有防静电性能。9.1.19 严禁操作人员将ESD器件直接放在没有静电保护台面上。9.1.20 ESD器件在收、发、领、退料过程中，均应在防静电包装中运输。9.2 ESD器件（含模块单元）在生产过程中静电防护要求:9.2.1 ESD器件在预处理过程中要在静电防护区（EPA）中进行,即:全部设备、仪表、工作台要静电接地，工作台要铺设防静电桌垫并接防静电地线。9.2.2 程序写入室环境要求：温度1727；相对湿度45%60%。9.2.3 操作人员应含有ESD器件通常防护常识，要佩戴防静电腕带，穿着防静电工艺和防静电鞋，佩戴防静电帽。9.2.4 集成电路写入时应在防静电台面上进行，并将写入机外壳接地。9.2.5 在集成电路写入操作中,操作人员应从包装容器中取一块,操作一块.放一块,不要堆在桌面上。9.2.6 集成电路通电写入时,中途不要插入或拔出器件。9.2.7 操作人员要手持集成电路外壳,避免直接触及集成电路引脚。9.2.8 ESD器件固定到散热器上、更换包装等也属于预处理过程。9.3 ESD器件（含模块单元）在装配过程中静电防护要求:9.3.1 在静电敏感器件装配过程中，操作人员必需佩带防静电腕带，穿着防静电工衣和防静电鞋，佩戴防静电帽。9.3.2 在线路板插装(含SMT)时,当采取自动插件机、贴片机、自动焊接机时，这些设备均应保护接地。自动传送线、工装板表面应采取防静电方法。9.3.3 操作人员在插装过程中,对ESD器件应持其外壳,而避免直接触及引脚。9.3.4 线路板在插装过程中,ESD器件均应在原包装内或在防静电周转盒内存放。9.3.5 已装贴有ESD器件线路板不得裸露叠放，确需临时叠放时必需用防静电材料隔离开。9.3.6 生产过程中使用电烙铁应可靠接地，反面检验工位应使用防静电毛刷对线路板进行清理。9.3.7 在维修带有表面贴装元器件焊接疵点时使用防静电恒温烙铁，在维修不一样元件焊接时可使用接地良好一般烙铁。9.4 模块单元（含机芯）调试、检验过程中防静电要求：9.4.1 机芯调试、检验过程中供电电压、输入电压不得超出额定值，要预防电源电压瞬变。9.4.2 检测人员在拿取模块单元（含机芯）时,要手持线路板边缘部分，避免接触其元器件部分，操作过程中应尽可能降低对ESD器件及组件接触次数。9.4.3 不许可在电源接通情况下插拔线路板,也不许可在通电情况下焊拆线路板上ESD器件。机芯调试工装、仪器仪表必需可靠接保护地，确保电源插头接触牢靠，严禁电源线出现跳火，拉弧现象。9.5 电子产品在装配、测试过程中静电防护要求：9.5.1 含有ESD器件线路板运输必需在防静电周转车或防静电周转箱中进行。 9.5.2 非操作人员未采取防静电方法不得用手触摸线路板。9.5.3 在装配印制板单元和连接装配印制板单元时，操作工需佩戴防静电腕带、防静电手套，穿着防静电工衣(夏季可不穿)和防静电鞋，戴防静电帽。其它工位可穿着防静电工衣(夏季可不穿)和防静电鞋，戴防静电帽。注： 夏季空气相对湿度较高（通常大于65%RH）,且职员操作时身体部位较少会接触静电敏感器件，只是小臂会触及印制板和整机，经检测在夏季穿着长袖防静电工衣和穿着短袖工衣，在佩戴防静电腕带情况下，双臂活动产生静电压基础一致。以此，在夏季可不穿防静电工衣。假如某工位操作工身体常常会接触到ESD器件，这个操作工须整年穿着防静电工衣。9.5.4 测试仪器仪表必需可靠接设备地，各类信号线插装牢靠，不得出现虚插，连接不实现象，严禁电源线出现跳火，拉弧现象。9.5.5 检验、装配、测试EDS元件和电子产品需在防静电台面上进行，防静电台面须接防静电地线；电子产品在测试时须和仪器仪表等地连接，不得将仪器仪表信号端和电子产品地端连接处，也不得将电子产品信号端和仪器仪表地端相连，必需时先连接电子产品和检测仪表地端，再连接信号端，以降低损坏。9.6 EDS元件和电子产品在运输过程中静电防护要求9.6.1 检验、装配、测试EDS元件和电子产品需在防静电台面上进行，9.6.2 EDS元件和电子产品（指电子元件裸露半成品）需用防静电袋放在防静电周转用具中进行运输。9.6.3 防静电周转车须用接地链进行接地；周转车上每层防静电台面须将接地线连接在接地链上接地。9.6.4 各工位人员和用具防静电接地需采取等电位接地法进行接地，不得采取串联接地方法。10 静电防护等级分类10.1 静电敏感区域（EPA）划分a) 敏感器件生产区域-PCBA生产线、整机生产线等。b) ESD敏感器件前加工区域-写入室，散热器装配，预成型等c) ESD敏感器件贮存区域-元器件库房和PCBA半成品和成品库。d) ESD敏感器件返修区域-返修区及返修工位。e) ESD敏感器件老化区域-PCBA老化房、老化区。10.2 静电敏感区域（EPA）等级划分10.2.1 一级静电敏感区域 ：一级EPA为静电放电严格控制区域：生产加工和操作被评定为静电高风险区域和静电高敏感等级产品制造区应划分为一级EPA。通常单板加工、单板测试、单板模块组装区域，高频度、大量使用静电敏感等级高产品极关键器件产品制造区应定义为一级EPA。一级EPA采取全方面严格静电防护方法。我企业关键一级静电敏感区域在元器件库房、写入室、静电敏感器件IQC检验区。10.2.2 二级静电敏感区域：包含静电敏感物料各个生产操作区域定义一级静电敏感区域以外区域，必需实施最基础静电放电控制方法。我企业二级静电敏感区域有PCBA生产线和PCBA返修区等。整机装配生产线、PCBA老化房，整机完检，整机返修区，OQC检验机内装配区域。10.2.3 非静电敏感区域：不接触静电敏感器件生产区域和库房。我企业关键是整机老化和包装工序，各类结构件仓库；整机成品库。10.2.4 一级静电敏感区域静电电压防护要求：一级静电敏感区域不高于100V。10.2.5 二级静电敏感区域静电电压防护要求：二级静电敏感区域不高于500V。10.3 静电敏感区域（EPA）中人员要求： 按静电敏感作业岗位防静电要求11 潮湿敏感器件11.1 潮湿敏感器件等级分类，如表2。表2潮湿分级开封后在3060%RH或按要求温湿度条件下再次烘干前可暴露时间1温度30湿度85%RH条件下，没有时间限制21年2a4周3168小时472小时548小时5a二十四小时6在使用前必需进行干燥处理，干燥后必需在包装上注明规格时限11.2 潮湿敏感器件等级划分11.2.1 我企业现用多种BGA和QFP,SOP等封装形式托盘状包装集成电路器件为3级，其它卷盘包装类片式集成电路器件为2a或3级。11.2.2 其它片式元件为2级。11.2.3 潮湿敏感器件包装标示，图25。 图2511.2.4 潮湿敏感器件警告标示，图26。湿敏器件标示该湿敏器件保管要求该湿敏元件等级为3级图2611.2.5 湿敏元件包装内吸潮程度色别卡11.2.5.1 六环色别卡，图27。图2711.2.5.2 三环色别卡，图28。 图2811.2.5.3 打开湿敏元件包装后发觉色别卡10%色环颜色改变，需采取防潮方法保管元件或立即进行SMT操作，假如30%或以上色环变色，进行SMT工序前需要进行烘烤。11.3 潮湿敏感器件烘干时间划分11.3.1 拆除包装元器件如在表2中时间内没有进行SMT制程，必需进行烘干处理、11.3.2 潮湿敏感器件烘干时间划分a) 包装厚度小于或等于1.4mm：对于2a5a 等级，125C烘焙时间范围414小时，或 40C烘焙59天。b) 包装厚度小于或等于2.0mm：对于2a 5a 等级，125C烘焙时间范围1848小时，或40C烘焙2168天。c) 包装厚度小于或等于4.0mm：对于2a 5a 等级，125C烘焙时间范围48小时，或40C烘焙67或68天。拆除高温tray盘能够进行125烘烤低温编带只能进行40烘烤高温烘烤前要将纸去出11.3.3 烘烤要求图2911.3.3.1 通常装在高温料盘（如高温tray盘）里面器件全部能够在125温度下进行烘烤，除非厂商特殊注明了温度。11.3.3.2 装在低温料盘（如低温tray盘、管筒、编带）内器件其烘烤温度不能高于40，不然料盘会受到高温损坏。11.3.3.3 125高温烘烤以前要把纸、塑料袋、盒等物品拿掉。 防潮袋干燥剂湿度指示卡泡沫料盘11.3.3.4 烘烤完成后需立即同干燥剂、湿度指示卡抽真空包装，料盘、防潮袋及泡沫需采取防静电材料。图30。图3011.3.3.5 为预防烘烤产生静电造成损坏，在烘烤操作时必需穿好防静电服、戴好防静电帽、佩戴防静电腕带或手套，穿防静电鞋。11.4 潮湿敏感器件仓储要求：11.4.1 多种片式电路不仅属于静电敏感器件也属于潮湿敏感器件，而且静电和潮湿防护等级全部比较高，所以需依据生产计划合理控制发放时间。已开启内外包装元器件，如不发放，需立即存放在干燥箱内。多种BGA和QFP,SOP等封装形式托盘状包装元器件在开启内包装后超出半天（4小时）以上，其它卷盘状编带包装元器件在开启内包装后超出一天（二十四小时）以上时间需立即将元器件存放在干燥箱内。对拆包装后发放片式电路须统计发放时间和数量，以控制暴露在空气中时间，进行必需处理。11.4.2 多种BGA和QFP,SOP等封装形式潮湿敏感等级较高片式电路器件优先使用干燥箱保留。11.4.3 干燥箱设置在温度25C5C、湿度低于10%RH。干燥箱需可靠接地。干燥箱温湿度表要每十二个月检定一次。11.4.4 假如盘状（托板）器件内包装材料完好，在取出对应数量后，不发放器件能够用抽真空方法保留，并将这种再次抽真空器件放置在铺有防静电胶垫货架上。AA附录A （规范性附录）静电检测要求及方法表A.1分类工艺要求检测方法频度责任人统计表防静电腕带检测内接安全电阻1X10620%用万用表欧姆挡（x1M）测量防静电腕带地线插头和腕带金属部分之间电阻值应为1M 10%入厂全检ESD检测员腕带戴于手上，将另一端插入测试仪测试孔中，用另一只手按下测试仪导电板，同时抖动腕带线，“绿灯”亮表示合格；“红灯”亮表示不合格，须更换；“绿灯”时亮时灭或红绿灯交替闪亮表示腕带线接触不良，也须更换天天早晨上班前和午饭后上班前操作人员静电腕带检验表防静电工衣(帽、套袖)检测表面电阻：1X1061X1010选择2个衣袖、前襟两侧、后背共5点（头巾、帽、套袖选2点即可）用电阻测试仪（测试仪导轨和导电纤维垂直接触）分别检测其表面电阻在1X106 1X1010之间1次/3月ESD检测员静电工衣检验表电动螺刀接地检测地线检验010拿通常万用表，将电表档位切换到欧姆*10位置，将电表红、黑表针接触进行归零调整，红色表针接触电动螺刀电源线接地端，黑色表笔接触电动螺刀头帽内侧，稍微施力，表针大幅摆动，显示阻值在010，表示接地正常，若指针不动或阻值远大于10，即表示接地不正常，必需进行检修1次/天机动人员电动螺刀接地检验表防静电周转箱(含隔断)检测表面电阻：1X1061X1010选择四侧挡壁各一点、底部各两点共6点（隔断任选2点即可）用电阻测试仪分别检测其表面电阻在1X105 1X1010之间，不合格严禁入厂入厂全检ESD检测员周转箱检验表防静电泡棉、工作台、传送带、防静电车检测表面电阻：1X1051X1010选择对角线各一点用电阻测试仪检测其表面电阻在1X105 1X1010之间，不合格立即提报，由PIC审核后报设备仪表部进行报废更换1次/3月ESD检测员防静电泡棉检验表防静电