1、
Hitachi TM3030使用说明
Tabletop installation
no cooling water, 70mm diameter and 50mm thick. Fast specimen exchange.
TM3030采用了节省空间和轻量化设计，安装快速简单，极为方便。主机使用AC100 V～240 V插座电源(3P地线插座)。
*请准备承重100 kg以上的桌子。
强大的自动化功能
TM3030观察步骤非常简单。只需单击“START”按钮，即可自动打开电子束，自动调整聚焦、亮度及对比度，并自动将初始放大倍率调整到便于观察图像的100倍。
2、
可轻松地对不导电样品进行成像。
使用高真空SEM*观察不导电样品时，电子堆积在样品表面而产生荷电，从而无法进行正常观察。为解决此问题，一般是给样品镀上金属后再观察，但这种方法不仅费时，而且会影响样品表面的形貌，同时很难进行EDX分析。TM3030采用低真空环境，可有效地减轻荷电。而且配有“charge-up reduction mode”，具有更低的真空度，更好的减轻荷电。
*Scanning Electron Microscope
5 kV模式
5kV加速电压模式有利于观察样品表面的细节，既可进行传统的形貌观察，也可进行成分衬度观察。得益于优化的电子光学系统，使 5 kV下图
3、像的分辨率更高。
更好的锐度与衬度
在所有观察条件及观察模式下，这些功能都可以提高图像质量，尤其适用于高倍率下的观察。
Specifications
台式显微镜TM30030规格
项目
内容
放大倍率
15 to 30,000×(数码连续放大: 2×, 4×)
设定观察条件
5kV/15kV/EDX
观察模式
标准模式、减轻电荷模式
图片模式
标准、阴影像1、阴影像2、凹凸像
样品可移动范围
X: ±17.5 mm, Y: ±17.5 mm
最大样品尺寸
70 mm 直径
最大样品厚高度
50 mm
电子枪
预对中灯丝
检测器
高
4、灵敏度4分割半导体背射电子探测器
自动图像调整功能
自动启动，自动对焦，自动辉度调整
图像存储像素
640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素
图像数据保存
PC带硬盘及其他记录媒体
图像格式
BMP, TIFF, JPEG
数据显示
标尺，倍率，日期，时间，图像编号，D＊，输入注解，观察条件，观察模式，图像模式
排气系统
涡轮分子泵: 30L /s × 1 台,
隔膜泵(Diaphragm pump): 1m3/h × 1 台
辅助操作功能
电子束旋转，预设倍率(2级)，电位移范围
(±50 µm@D*=4.5 mm，观察条件：通常)
保护功能
5、
带有过电流保护功能，漏电遮断器
*D(距离)表示从高灵敏度4分割半导体背射电子探测器的下面到样品样品表面的距离。
要求PC规格
项目
内容
OS
Windows® 7 Professional (32/64bit version)
CPU
Intel® CoreTM i5-2520M (同等或更高)
内存容量
2GB 以上
显示器分辨率
1,280 × 800 像素或 1,368× 768 像素
接口
USB2.0 及PC卡插槽
(Oxford EDX必须使用符合IEEE1394标准的6针接口)
存储设备
带有硬盘，DVD只读光驱
其他
硬盘至少有
6、100 MB以上的可用存储空间
*Microsoft®，Windows®是在美国及其他国家Microsoft Corporation正式注册了的商标
*Intel®，CoreTM是在美国及其他国家Intel Corporation正式注册了的商标
*PC规格可能有更改
体积与重量
项目
内容
主机
330(长) × 606(宽) × 565(高) mm，63.0 kg(manual stage)
330(长) × 630(宽) × 565(高) mm，66.0 kg(motor drive stage)
隔膜泵
145(长) × 256(宽) × 217(高) mm,
7、 4.5 kg
设置条件
项目
内容
室温
15 to 30 deg.(Δt=±2.5 deg./h以上)
湿度
45%-70%RH(不结霜)
电源
TM3030 单相 AC100 - 240V(最低 90V， 最高250V) 50/60Hz
D种接地
100Ω以下
*请勿在带有轮子的台子上放置TM3030主机。
*推荐台子尺寸：1,200×800 mm，承重量：可承载100 kg以上。
*主机需要定期维护。
*仅限于室内操作。
*TM3030没有接受医疗仪器的认可。
*电源电缆、接地端子及台子为客户准备品。
*对于在教育领域的客户，请受过培训的老师进行操作。
*隔膜泵放在台子的下面。
*请在主机左侧留200 mm以上的位置，尽量将主机往台子中心部位放置。
*客户不要自己安装或移动仪器。
*安装后需要移动时，请提前与购买处或日立授权维修公司联系。
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