单晶制绒工艺文件A0.doc

完整版)单晶制绒工艺文件A0
单晶硅制绒工艺文件

目录
1.目的 4
2.适用范围 4
3。职责 4
4。 制绒工艺 4
4.1 制绒目的 4
4.2 工艺原理 4
4。2.1 碱制绒原理 4
4.2。2 HCl酸洗作用 5
4.2。3 HF酸洗作用 5
4。3 工艺流程 5
4.4 操作注意点 6
4。4。1开包和插片注意点 6
4。4.2 数量校对 6
4。4.3 抬花篮架注意点 7
4。4.4 配液和加液注意点 7
4。4。5 手动操作的时候注意点 7
4.5 工艺参数 7
5. 异常处理 8
5.1白斑 8
5.2 发白 8
5。3 小雨点 8
5.4 水纹 9
5。5 发亮 9
6. 检验卡片 10
7。 制绒工序控制点 11
8. 设备维护标准 12
8.1 换槽维护标准 12
8.2 每周一大维护标准 12
8。3 大维护周期 12
8.4 制绒辅助用品的清洗与维护 12
9. 安全规范 13

1.目的
确保制绒工艺处于受控和稳定的状态。

2。适用范围
适用于本公司单晶制绒工序。

3.职责
本文件由工艺部负责制定，更新和修订，由工艺主管监督并保证如实执行，工艺部具体执行。
本文件的必须经过工艺部的签字认可并备案，方可交付执行.

4. 制绒工艺
4。1 制绒目的
4。1.1 去除硅片表面污染和损伤层。
4.1.2 在硅片表面形成金字塔,减小反射率.
4。1。2 为扩散准备一个良好的基底。

4.2 工艺原理
4。2。1 碱制绒原理
在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。
NaOH作用:腐蚀硅片，与硅反应.
化学反应方程式:Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑.
Na2SiO3作用：减缓反应，起到缓冲剂的作用
IPA作用：降低溶液的表面张力，起到减小气泡、消泡和调节金字塔大小的作用.
4.2.2 HCl酸洗作用
利用HCL的酸性和Cl—的络合能力去除硅片表面残留的金属离子.
4.2.3 HF酸洗作用
去除硅片表面的二氧化硅氧化层，把硅羟基转变为硅氢键,使硅片表面转变为疏水性,从而去除由水层带来的污染。
4.3 工艺流程

单晶制绒工艺流程图
过程检验
开包检验
不合格

合格
插片

1号预处理槽

2号QDR清洗槽

6号、7号制绒槽
3号、4号制绒槽

5号QDR清洗槽
8号QDR清洗槽

9号混酸槽

10号OF槽

11号混酸槽

12号QDR清洗槽

13号慢提拉槽

14号烘干槽

不合格
质检

异常处理

合格

转入扩散工序

4.4 操作注意点
4。4.1开包和插片注意点
4。4.1。1用美工刀时，深度不能超过包装盒的厚度，防止刀片将硅片划伤。
4.4。1。2整个插片过程中禁止裸手与片盒接触,避免片盒与衣物接触；
4.4.1.3双手须戴PVC手套,手指上需套手指套，手指禁止接触硅片表面;
4。4.1。4手套须洁净、无破损、无汗迹，每插1000片硅片需更换手套；
4.4。1。5片盒需保持干净，不允许贴标签.
4。4。1.6插片过程中，须将有崩边、严重线痕、翘曲、油污片、原损片（穿孔、缺角、隐裂等）、明显偏厚或偏薄等不合格硅片挑出(除包装盒上写明不合格硅片类型外）。具体标准,参考《原硅片来料检验标准》。
4。4.2 数量校对
插完一个包装盒内的硅片后，核对硅片的数量是否与泡沫盒盖上标示的相符合。
插片具体操作，参考《制绒插片操作工艺规范》
4.4.3 抬花篮架注意点
需双人双手抓住花篮架抬，防止花篮架变形.严禁单人操作!
4.4.4 配液和加液注意点
在预清洗槽和制绒槽初始配液跟加液过程中，操作员务必佩戴PVC手套跟口罩，佩戴手套不能露腕以免药液溅出伤害身体.
在混酸槽初始配液补液过程中，操作员必须佩带橡胶手套、3M防毒面具、橡胶防护围裙等劳保用品.加液过程中一定要缓慢细心，禁止将液体溅出.
配液具体操作，参考《配液操作规程》
4.4.5 手动操作的时候注意点
4。4.5。1 机械臂手动操作前一定要在点动状态下恢复原点
4.4。5.2 机械臂脱钩时一定要注意对应槽子的槽盖处于打开状态
4.4.5.3 机械臂在慢提拉槽脱钩时一定要确认慢提拉机械臂要在高位的状态
4。5 工艺参数

NaOH
IPA
NaSiO3
H2O
温度
时间
补液
1号槽

———8L
—--
加至高液位
70℃
180s
IPA：4L/10篮
2,5 , 8号槽
———

--—
加至高液位
室温
180s
每班换液
3，4，6,7号槽
2000g
——10L
1000g———
加至高液位—--
88℃
1200s
NaOH： 220g/篮
IPA：2L/篮———-
9,11号槽
HCl 4L
HF 8L

加至高液位
室温
100s
每班换液
10，12号槽
———
———
———
加至高液位--—
室温
100s
每班换液---—
13号慢提拉槽

-—-
加至高液位——-
65℃
60s
每班换液
14号槽
-—-
--—
---
加至高液位
80℃
180s
每班换液-——
纯水槽
-—-
---
—-—
加至高液位
88℃

—--

5. 异常处理
5。1白斑

对策：适当提高氢氧化钠的浓度（手动补加100-200g的氢氧化钠)
5。2 发白

对策:适当提高氢氧化钠的浓度（手动补加100-200g的氢氧化钠）
5。3 小雨点

对策在制绒槽中手动补加一定量的IPA（1L—2L）
5。4 水纹
水纹

对策： a. 可以将制绒温度适当降低1-2度。
b。 在制绒槽中手动补加一定量的IPA（1L-2L)

5.5 发亮

对策：a。 适当减小NaOH的补液量(可以尝试降低50g左右)
b. 适当增加IPA

6。 检验卡片

检验卡片
产品名称
单晶硅太阳电池
名称
碱制绒
工作地
制绒间
工序号
1
来自何处
材料库
交往何处
扩散
序号
检测内容及技术要求
检测
方法
检验器具
全检
抽检
备注
名称
规格

1
表面清洁度

目检
日光灯

200
3
自检
要求表面无明显的沾污物、指纹和划痕
2
绒面状况
目检
金相
显微镜
10×40

200
1
自检
要求角锥体大小均匀，覆盖率在95％以上
3
硅片重量
称量
电子台秤
0。01g

200
1
自检
要求减少重量控制在0.5g<△〈0.8g之间
4
反射率不大于15。2%
仪器测量
D8反射仪
0。1％

自检

7. 制绒工序控制点

工序控制点
操作指导卡
电池类型
单晶硅太阳电池
编号
碱制绒
工作地

制绒间
工序号
1
工序名称
制绒
控制点编号
TXT—1
设备名称及型号
中联科利制绒机
工装名称及编号

工序因素控制
序号
控制项目及内容
控制方法
检 验 器 具
检查
频次
名 称
规格精度
1
腐蚀温度:△=±2℃
监控温度
水银温度计
1℃
1次/天
控制程序：
1 腐蚀过程控制
1。1 按照控制因素的相应检查要求进行检查调整，使各控制因素稳定在控制界限值之内，并作好记录。
1。2 投片进行生产。
1。3 按照质量特性值和技术要求进行检查、记录。若发现质量特性值不符合规范要求，应按照本程序1。1条进行检查调整，并报告工艺师。

2 工艺状态控制
2.1 按照第1条进行过程控制不能保证产品质量特性值和技术要求时，应当进行工艺状态诊断,查明原因后，提出调整试验方案报告。
2。2 工艺状态的调整应由工艺师出具书面报告，经主管领导批准后方可进行。
2。3 工艺状态的调整试验应有试验记录，试验完成后应有试验报告。

3 化学试剂、气体源代用，更换供应厂商的控制
3。1 当使用新的供应厂商提供的化学试剂时,必须有材料质量检验合格证，并且必须先做工艺应用试验，试验完成后应有记录和报告。
3。2 应用试验报告证明能够满足工艺技术要求和产品质量特性要求的，经质量管理部批准，可用于生产。

8. 设备维护标准
8.1 换槽维护标准
A 维护范围：清洗槽内壁、底板，清洗槽四周，设备表面，及慢提拉架。
B 具体方式：用纯水清洗上述各模块
8。2 每周一大维护标准
A 维护范围:上下料台、清洗槽内壁、底板，清洗槽四周，设备表面,慢提拉架及挡板下加热器，设备窗户等。
B 具体方式:用纯水清洗上述各模块
8.3 大维护周期
每周一维护一次。
8。4 制绒辅助用品的清洗与维护
8。4。1 花篮和花篮框
对于新进制绒花篮，根据工艺要求进行预清洗。预清洗流程：将制绒槽加水至正常液位，加入NaOH=1500g，IPA=8L，每个制绒槽中放4～6个花篮，对制绒槽进行加热（设定87℃），恒温维持2h后，停止加热后浸泡1h后，该花篮方能正常上线使用.
所有制绒花篮，如有横挡处严重变色、有细小裂纹或经过焊接的，全部剔出；

9. 安全规范
9。1 进入制绒车间员工须穿戴好个人工作服、工作帽、防静电工作鞋、口罩.
9。2 员工头发不得露于工作帽外，在硅片附近员工口罩须戴过鼻梁.
9.3 开始工作前,员工须检查PVC手套的气密性，戴好白色作业手套、PVC手套。
9.4 员工不得直接用手接触硅片表面。当员工装原始硅片及倒出制绒后硅片时，可用手拿取硅片两侧，而不得用手直接接触硅片表面。
9.5 设备补充氢氟酸人员与手工操作人员须按车间规定穿戴好个人耐酸碱防护服、耐酸碱手套、耐酸碱靴子及防护面罩。
9.6 酒精桶及酒精清洗槽，在使用完后必须盖好盖子。
9。7 酒精及IPA类易燃、易爆化学品需远离电源等装置。