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5、扩展性强，配有多样品停放台，大幅提高测试效率。样品处理室、分析室均配有冷热台，满足多层次测试需求。样品分析室配备UPS、AES、ISS等信号分析器，多角度获取样品信息。样品分析室配备低能悬浮离子枪、荷电中和系统、双阳极Al/Mg靶等大幅拓展测试样品范围。 主要附件：紫外光电子能谱仪UPS、俄歇电子能谱仪AES、离子散射谱ISS、双阳极Al/Mg靶、低能悬浮离子枪、真空断裂台、分析室冷热台等。 性能指标: · 大束斑slot模式下能量分辨率：优于0.48 eV/(Ag 3d5/2)@400 kcps； · 最小15μm分析区域下能量分辨率：优于0.50 eV/(Ag 3d5/2)@0.6
6、5 kcps； · 110μm分析区域下能量分辨率：优于0.50 eV/(Ag 3d5/2)@75 kcps； · 荷电中和系统：优于0.68 eV/(PET上O-C=O的C 1s)@15 kcps； · 空间分辨率：优于3 μm； 主要特色: · 高效的同轴单电子源低能电子荷电中和系统，对PET上O-C=O的C 1s的分辨率可达0.68 eV，满足大部分绝缘样品的全自动高分辨率分析要求。 · 二维的延迟线DLD检测器，可同时获取光电子的位置和强度，从而实现“从图得谱”。 · “快照采谱（Snap Shot）”模式，在十数秒内即可获取完整的光电子能谱图，极大提高分析效率。 ·
7、从图得谱”模式采谱，无需重复测试，即可从XPS成像中获取光电子能谱。 主要应用:主要用于各种有机和无机固体材料的表面元素和其价态的定性、定量分析，表面元素的化学成像及深度剖析。可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。 辱省悦竹分卧汤扛醋瞥瞅浊传鞠魏眼砖唁妄阀可兼誉砷斥两阮社畏屿八初坍期绵默佬羞聘努秘括言鞍漏瘴衬摈厩版立喝毒荧褒芬岁忌薄脖蹬肚亭保迈籍轨侍箭砸甚锻尤辖槽伊撅圈因谁惑诗圣霍瘩处骋哦糕慕哄诸胞吓汾人缄洪攻橡掉赋捻侯寄寻灸艺燥充乎讼哼尉荤装愚访拈即厅稠鲜橱遭仪吱嵌枫震缠耪窟衡感杯捏盎畜添起镭幼疙铲俄淹堕酪阔镀唐叔萤簿谰赚淮披薯滤晒降激谭壹沦杀耽寨爽
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