1、电液伺服阀研究现状及发展电液伺服阀研究现状及发展丁 凡浙江大学流体传动及控制国家重点实验室电液伺服阀及系统的发展历史电液伺服阀及系统的发展历史l水利机械水利机械l活塞式泵和活塞式马达（活塞式泵和活塞式马达（1900年前）年前）l液压传动液压传动首先用于海军战舰炮塔的俯仰首先用于海军战舰炮塔的俯仰（1906年前）年前）l滑阀特性和液压伺服控制理论研究（滑阀特性和液压伺服控制理论研究（1940年始）年始）l飞机上出现电液伺服系统，滑阀由伺服电机拖飞机上出现电液伺服系统，滑阀由伺服电机拖动动（1945年后）年后）电液伺服阀及系统的发展历史电液伺服阀及系统的发展历史l永磁式力矩马达出现，形成了电液伺服
2、永磁式力矩马达出现，形成了电液伺服阀的雏形（阀的雏形（1950年始）年始）l喷嘴喷嘴挡板阀作为先导级的电液伺服阀挡板阀作为先导级的电液伺服阀出现（出现（1950年底）年底）l各种形式的电液伺服阀开始出现（各种形式的电液伺服阀开始出现（1960年始）年始）电液伺服阀今后发展方向电液伺服阀今后发展方向l大流量、高频响电液伺服阀的研制大流量、高频响电液伺服阀的研制l特种电液伺服阀（如深海）特种电液伺服阀（如深海）l机电液一体化（如飞机上）机电液一体化（如飞机上）l低成本、抗污染、工作可靠的电液伺服阀低成本、抗污染、工作可靠的电液伺服阀l电液比例伺服阀电液比例伺服阀机电液一体化（机电液一体化（MOOG
3、）电液伺服阀创新方向电液伺服阀创新方向l新的结构（电新的结构（电机械转换器的结构、阀机械转换器的结构、阀的结构）的结构）l新材料的利用（压电陶瓷、新材料的利用（压电陶瓷、GMM、记忆、记忆合金、纳米材料？）合金、纳米材料？）电液伺服阀的组成电液伺服阀的组成l电电机械转换器机械转换器l液压先导级控制阀液压先导级控制阀l液压功率级控制阀液压功率级控制阀l反馈部件反馈部件l附件（过滤器等）附件（过滤器等）电液伺服阀的结构分类电液伺服阀的结构分类l从电从电机械转换器分类机械转换器分类 动铁式动铁式 直线式直线式 动圈式动圈式 动铁式动铁式 回转式回转式 动圈式动圈式电液伺服阀的结构分类l利用新型功能材
4、料研制电机械转换器l利用压电陶瓷元件利用压电陶瓷元件 （PZT材料）材料）l利用超磁致伸缩材料利用超磁致伸缩材料（GMM材料）材料）l利用电流变体利用电流变体 （ER流体流体）l利用磁流变流体利用磁流变流体 （MR流体流体）l利用记忆合金利用记忆合金电液伺服阀的结构分类l液压先导级控制阀l 喷嘴挡板阀 射流管阀 圆柱滑阀l液压功率级控制阀l 圆柱滑阀l反馈部件l 位移反馈 力反馈 电反馈二种常见的电液伺服阀二种常见的电液伺服阀1.力反馈二级电液伺服阀（反馈二级电液伺服阀（MOOG阀）阀）力矩马达力矩马达 先导级喷嘴先导级喷嘴-挡板阀挡板阀 功率级圆柱滑阀功率级圆柱滑阀 力反馈力反馈2.二级动圈式电液伺服阀二级动圈式电液伺服阀 动圈式力马达动圈式力马达 先导级圆柱滑阀先导级圆柱滑阀 功率级圆柱滑阀功率级圆柱滑阀 直接位移反馈直接位移反馈二级力反馈电液伺服阀外型 二级力反馈电液伺服阀结构二级力反馈电液伺服阀原理MOOG三级电液伺服阀外型力士乐三级电液伺服阀外型力士乐三级电液伺服阀结构力士乐三级电液伺服阀频响
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