酸洗、烘烤、分选、单晶装料.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,1,、所需化学药剂及辅助材料：,1.1,氢氟酸,1.2,硝酸,1.3,盐酸,1.4,冰醋酸：,纯乙酸在,16.6,以下时能结成冰状的固体，所以常称为,冰醋,，乙酸是规定的一种酸度调节剂。,酸 洗,1.5,氨水,1.6,漏斗,1.7,量杯,1.8,花篮,1.9,搅拌棍,1.10,冲洗槽,酸 洗,酸 洗,2,、使用的劳保防护用品：,2.1,防酸服,2.2,防酸雨鞋,2.3,防酸围裙,2.4,口罩,2.5,防酸面罩,2.6,防酸手套,酸 洗,3,、准备工作：,3.1,检查劳保防护用品是否穿戴规范。,3.2,检查通风效果是否良好。,酸 洗,4,、操作步骤：,4.1,当班负责人根据物料的不同性质安排相应的生产工艺。,4.2,当硅料装入酸洗花篮中，装料时注意轻拿轻放。容量不得超过该花篮高度的三分之一。,4.3,根据各种原料配置不同比例的酸。清洗时应注意勤搅拌，若有大量黄烟说明氢氟酸比例过高，此时应加入硝酸或在通风口处加氨水。待硅料与酸反应不大时应及时换酸。回收的废酸不得超过该桶的三分之二，且桶盖不可拧的太紧，一般二圈半到三圈，再标示该酸的名称。以备再使用。,酸 洗,酸 洗,4.4,用清水冲洗硅料上残留的酸防止硅料中有酸残留与碱起反应，转交给碱煮环节。,4.5,碱煮过后的硅料必须用,5%,的氢氟酸加高纯水浸泡3,分钟以上，冲洗干净后再进入烘房。,4.6,清洗多晶硅时如有,U,型料，必须将,U,型部位敲开后作业，因为,U,型部一般含有石墨。,酸 洗,5,、注意事项：,5.1,不得擅自更改清洗工艺或盲目生产。,5.2,所有原料在清洗过程中不得赤手接触。,5.3,水龙头以要用即开，不用即关为原则，杜绝浪费现象。,烘 房 作 业,1,、使用工具及设备：,1.1,烘箱,1.2,超声波,1.3,电导率测试仪,1.4,花篮,1.5,烘车,1.6,水池,1.7,锦纶网布,烘 房 作 业,2,、使用防护用品：,2.1,无尘服,2.2,无尘帽,2.3,防酸雨鞋,2.4,口罩,2.5,防酸手套,烘 房 作 业,3,、准备工作：,3.1,检查洁净服，手套，雨鞋，口罩是否穿戴整齐，头发是否暴露。,3.2,检查超声波及烘箱的电源是否正常，设备性能是否有异常情况。,3.3,检查酸洗入烘房的硅料中是否有酸碱残留并起冲洗干净。,烘 房 作 业,4,、操作步骤：,4.1,对交接班的产品批次、性质、超声时间进行了解。,4.2,超声波放入三分之二的高纯水并铺上网布。,4.3,将硅料倒入超声波、超声，每台超声波小料不得超过,7kg,，大料不得超过,15kg,4.4,启动超声波电源调节所需要的时间。,烘 房 作 业,4.5,每隔十分钟搅拌一次，,30,分钟换一次水。,4.6,关闭超声波用高纯水冲洗，硅料连过四个冲水池。,4.7脱水两分钟，待脱水机不在转动时，取出硅料放在花篮上铺开，装烘车推进烘箱。,烘 房 作 业,4.8,启动烘箱，设定时间，根据料不同所设定不同的时间。,4.9,待到达预设的时间后，戴上,PVC,手套、尼龙手套检查硅料是否烘干，主要表现为没有成团与叠片现象。,4.10,戴上防烫手套拉出烘车关闭电源。,4.11,等硅料冷却后装入干净周转箱，填写制程流转卡，并称出流出料的实际重量。,烘 房 作 业,5,注意事项：,5.1,清洗过程中，不能赤手接触产品，对正在超声的产品要勤搅拌。,5.2,产品装入烘车时由上往下装，卸车时由下往上卸，避免铁锈掉入硅料中。,5.3,保证周装箱的清洁度。对于较大的块料，必须轻拿轻放，不得直接倒入箱中。,5.4,烘箱出料时，必须用耐高温操作以防烫伤，严禁用棉质防护用品与硅料接触。,无 尘 分 选,1,、作业使用的工具：,1.1,竹镊子,1.2,分选盒,无 尘 分 选,2,、使用的劳保用品：,2.1,无尘服,2.2,无尘帽,2.3,无尘鞋,2.4,口罩,2.5,手套,无 尘 分 选,3,、作业前准备工作：,3.1,检查劳保用品是否穿戴规范。,3.2,检查洁净房进出口设备是否正常，防止紧急出口的堵塞。进洁净房时必须经风淋十五秒左右。,3.3,检查洁净房各处电源开关是否正常，电子称、封包机等各种生产工具性能是否正常。,无 尘 分 选,4,、操作步骤：,4.1,从烘房口交接产品，并由当班负责人检查产品是否有异常，如有异常情况，需填写“腐蚀车间不良品跟踪表”交至酸洗当班班长处理。,4.2,由组长将货分发给线上员工，根据产品性质的不同挑出不良品及垃圾，分选时必须严格把好质量关，杜绝任何含杂质或氧化、蓝,/,白雾、水印等因酸洗不到位的不良品转入下道工序。,无 尘 分 选,4.3,将分选出的不合格品再交至酸洗工序重新作业，合格的产品由品检处进行检查。,4.4,经品检后的合格品按相应的重量用无尘袋进行包装，然后用封包机封口存放。并在无尘袋上贴上标签注明相应的品名、批号和总量。,品质部抽检：,主要是对电阻率进出抽检，如果有强电流的要进行剔除,无 尘 分 选,5,、注意事项：5.1,穿戴无尘劳保用品时，头发不允许外露、戴三层手套，由内到外顺序依次是一次性尼绒手套、一次性皮手套、棉手套。,5.2,净化设备必须定期检修，确保车间内作业温度适宜，如出现呼吸困难等异常现象，立即撤离现场至安全区。,无 尘 分 选,5.3,分选作业时，严禁作业人员赤手接触免洗料、严禁不戴口罩近距离对硅料部讲话，以防止硅料中沾有唾液、头发、油脂污染，从而确保免洗料的质量。,5.4,打包作业时，操作现场物品需严格区分，以防止笔套、钥匙、竹镊子、标签等非硅料物品混入产品中。,单晶装料,石墨坩埚放在炉内，石英坩埚放在石墨坩埚内，石英坩埚是盛放硅料的容器，一定要注意干净，用时要检验是否干净，里面是否有气泡。,单晶装料,1,、作业目的：,为更防止原料在操作过程中玷污，规范员工在装料时使用正确的操作方法，避免因不规范操作影响原料的品质。,2,、作定范围：,适用于单晶车间装料作业。,单晶装料,3,、作业内容：,3.1,、领取原料时保证包装表面干净整洁、无损伤，如果包装袋表面灰尘太多，必须清洁后再领取（防止表面灰尘在装料时掉落在坩埚内）。,3.2,、把备好的硅料及石英坩埚放在操作平台上，穿上装料工作服、戴好口罩、无尘帽及,PVC,手套（防止上身除了脸部之外的其他部位外露，戴好装料手套后只允许碰内包装袋、石英坩埚及原料）。,单晶装料,3.3,、打开真空包装取出石英坩埚，检查有无异物，并对光检查石英坩埚有无气泡、黑点、裂纹，如有直径大于,2,的气泡拒绝使用。确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要抣匀，确认后放置保温盖及装料护板（防止衣袖与保温盖摩擦）。,单晶装料,3.4,、取碎料,35kg,平铺于埚底，大块料放置边上，为了稳固可放一些小块料。中等块的料放置中间，将剩下的小块料放入，尽量填满缝隙。最后整理上部硅料，高出石英坩埚的要向内倾斜（禁止使用金属物品和放在地板上敲料）。,单晶装料,3.5,、装料完毕后，用吸尘器吸尽装料时掉落在护板上的硅粉，然后取出护板，将三瓣埚降至化料位置（化料埚位：平口下,0,110,，不可低于,110,），放置好保温盖和导流筒，并保证原料不接触导流筒。,3.6,、将经过腐蚀后，干净的籽晶安装在夹头上，注意将籽晶位置摆正。用沾有酒精的无尘纸将炉筒密封面接合部污物除去，检查无误后合上炉盖和上炉筒。,