LCD制程异物分析.ppt

按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片文字樣式,第二階層,第三階層,第四階層,第五階層,*,左右,ADI,製造,TFT,機能的良率。,原因之一為異物。,因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，進而達到製品品質穩定之目的。,使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。,若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用,。,異物對策,異物不良,所有異物對策之目的,1,1),Array,工程,發生大批,pattern,不良。,斷路、短路。,2),Panel,工程,發生大批之,pattern,不良。,電氣特性及表示畫面不良。,3)模組工程,電氣特性不良。,BL異物不良。畫面不良的原因。,異物對策,異物成為何種不良,2,在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。,以,m,尺寸（,size),為單位的物質稱為異物。,異物尺寸從最大數十,m,到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01,m,之物質皆有。,現在的半導體業已經從64,M 0.28,m,更進一步到256,M 0.2,m,的,Pattern,配線，必需要求同程度以下的異物對策。,人的頭髮直徑大約在5070,m,TFT,的配線大約在6,m,的程度,異物對策,異物是何種尺寸的東西,3,依,Array、Panel、Module,之不同，對異,物大小(,size),所訂定之管理辦法亦不同。,Array,無塵室(全室)管理等級訂定100。,Panel,管理等級訂定10010000。,Module,部份的管理等級訂定10000100000。,異物對策,工廠的異物管理,4,與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進,無塵室。,與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。,從設備和工具，保修部品等帶進。,從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。,從器具備品、棚架和台車帶進。,上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。,異物對策,異物從何處進入?,5,*付著在物品上進入,一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。,*人員攜入,鞋子和無塵服和食物、手提袋等，會帶入污染物,。,*從環境破壞而入,從門縫、建築縫隙、天花板的間隙等，建築物的不良部份侵入。,異物對策,異物如何進入,6,*金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物產生。,*加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因摩擦而產生異物。,*材料的角邊和材質會產生異物。,在,TFT,基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材質會因剝落而產生異物。,異物對策,異物如何產生,有摩擦的地方、部份等，全部會發塵,7,*裝置驅動的地方就是產生異物的地方。,齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子等，會摩擦的地方為發塵源。,*關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有細小的異物付著。,*人體會有很多細小的異物產生。,皮膚、毛髮、體毛等異物會產生。,異物對策,實際上從哪裡產生的?,8,*塵埃類,土類、油類、煙類、塑膠類、其它。,*金屬類,裝置類、器具備品類、保管庫、其它。,*紙類,包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文 具。,*人,頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。,異物對策,有哪些種類的異物存在?,一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣,9,*裝置類,金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。,*材料關係,材料材質的發塵，加工時的發塵。,*梱包關係,梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。,*人體,皮膚、手垢、體毛、動作。,*建築關係,外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。,異物對策,異物從哪裡產生?,10,*半導體是高精密度的圖案製成的,因此,圖案上若,有東西附著或橫跨,會造成斷線及短路不良,。,*,TFT,是畫面的生命,其中若有異物附著,會遮住於畫,面,造成不良,。,*,ASSY,製程中若異物進入,B/L(BLACKLIGHT),內部,會遮住顯示畫面,看不見部份即為不良,。,*異物是最大的敵人,建造工廠必須花費很多經費,因此設備也是異物對策中最優先的課題,。,異物對策,半導體製造是和異物的戰鬥,11,*,Array,方面,4,m,以下,。,由於配線上之異物造成短路,斷線,。,*,Panel,方面,4,m,以下,由於配線上之異物造成短路,斷線,。Module,方面,B/L,異物是以250,m,以下做為良品判定基準,且以 畫面上之障礙物之大小為主,。,異物對策,半導體現在和異物大小間的關係,肉眼在外觀可視異物為不良原因,12,*,TFT,的面積比現在的晶圓大,。,晶圓尺寸是 2530 公分,。,*,TFT,是大畫面,即使有 1 個規定以上的異物附,著於畫面上,都會引起畫面不良,因此比晶圓,廠更嚴格的塵度管理是有必要的,。,*現實上常因不良異物造成不良率達 40 50%,要說明如何對策異物是困難的,但若能克服異,物,即能期待高品質,高良率的產出,。,異物對策,異物是,TFT,之良品率的關鍵,13,*,Array,製程 90分,機器手臂引起的灰塵,設備的清潔,*,Panel,製程 70分,機器手臂,仕掛品,材料,作業面積,*,Module,製程 30分,通箱,拖盤,材料,清掃,5,S,*,品保 30分 室內環境,5,S,室內面積,*資材中心 30分 室內面積,開梱,搬入出方法,清掃,異物對策,現在的異物環境達多少分?,目標,100,分,14,*因成本的關係最少需 90 分,。,本來,在工廠建設,設計階段時,檢討出塵,埃管理標準來維持管理規定,。,*造成工廠污染,或低於設計以下的,是人所造成,要教導相關知識,及維持 無塵室,清潔,若無法推,動 即會造成污染,。,*制訂定期實施的適當維持體制,管理者的指導也,是很重要的,。,異物對策,異物環境至少需多少分?,15,*管理監督者必須對塵埃有深入的理解。,*人員必須有塵埃的意識。,*人員必須有塵埃的知識。,*人員必須有對於塵埃的實際操作技能。,*必須有對於塵埃的工作團隊體制。,*必須對塵埃管理。,知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。,異物對策,異物對策必要的工作有那些？,知不知道？,要做什麼？,16,*知識關於異物三原則及其具體的內容和異物。,*意識品質的關係和製造損失等。,*實技實際上如何做？,*清掃道具什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？,*管理方法在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？,*管理者的意識推動塵埃關係的整合。,異物對策,以什麼樣的方式實施教育？,17,異物對品質左右品質的一個原因為異物，,突然使製品,機,能變化造成不良。,*材料發塵，不當梱包方法產生異物，搬出入方法產生物,品。,*設備及工具也會從測定器發塵。,*室內的一切器具備品，人員穿著的無塵服，鞋子，洗手,機，,Air Shower,等的異物意識。,異物對策,人的意識可以改變品質度,意識和,知識,18,*特殊的產業,就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活動,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工廠。但是被要求以,m,為單位的場所,可說是以半導體相關的行業為代表。,*塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用支出的目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設備和維護管理都必須用掉很大費用。,異物對策,所有異物的影響,19,*廠內人員對塵埃不能理解。,*不能理解生產與塵埃間的關係。,*裝置必須在何種狀態?,*室內環境該如何?,*材料該如何?,*要用什麼樣的對策及方法來維持管理,若大多數的人不能 理解即是問題。,異物對策,連目的都不知道的人,20,不良的半數為異物,*影響,TFT,或晶圓的良率，,歸究原因為異物所引起的佔大多數。,*在製品的圖案中，有異物附著會造成短路的情形，在傳送的配(引)線上時，會對正確的配線構成損害。,*異物附著在畫面上，造成陰影而使影像無法看見。異物成為引發各種損害的原因。,異物對策,所謂異物三原則,提昇良率的第一步即為對異物的管理,21,氣象條件與國民性,*日本人是極為愛好清潔的。,即使在住家也區別室內、室外鞋。,四季分明，冬季寒冷，採取以門確實隔離,內外部的生活方式。,*可能和開放的炎熱國家，有很大的差異。,並且，維持良好的環境。,*被塵埃所左右生產的半導體產業，就日本人的,生活方式，正好可輕易達成嚴實的生產條件。,異物對策,垃圾及異物與國民性,22,清掃，是對人的意識改革，由人來清除異物。,異物決定了品質，影響利益，所以防止異物,的對策可謂關鍵。,根據異物三原則，貫徹的作法是必要的，,建立這些(以下等等)平常能實施的體制,。,*有效的清掃方法。,*有效的清潔工具。,*有效的清掃頻度。,*制定不需清掃的環境。,*有效清掃特定時間。,異物對策,要提高品質就要清掃,23,清掃的方法改變了成效,*清掃的方法決定成效,雖然稱做清掃，但若只將吸塵器啟動實施,清潔那麼成效並不彰顯。,*清掃地點的順序,從高的地方到低的地方，上風處至下風處,。,*,清掃上使用工具的順序,先用吸塵器再擦拭，擦拭時以單方向進行,往復式清潔易造成擦拭後仍有污染附著,。,異物對策,用清掃的方法清掃效果的改變,24,*,不攜入,不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室,室的東西須全數實施異物對策。,*不使發展,不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、,設備及異物發塵。,*去除到不殘留,要全部徹底除去潔淨室內的異物，從意,想不到的地方之發塵去除並建立發塵對策。,異物對策,所謂異物三原則,25,半導體關連產業,沒有異物的環境，可作為品質製造上的基準。,*必須和5,S,緊密的接合,作業場所雜亂會是什麼東西造成的？或是處於易發生錯誤的狀態下。,*在整齊和美觀狀態下之作業場所的生產人員，對於異物較能察覺。,*同一製品在大量生產時，要保持美觀、整齊，就是要先做好異物的管理。,每個人份內的清掃工作做好的話，那是製造完美產品的捷徑。,異物對策,清掃達到品質基準,26,*關於,D,計劃,D：,日,day,每天五分鐘，自作業場所一公尺內周邊實施清掃。,*關於,W,計劃,W：,週,week,週末的三十分鐘，將高架地板上面全部清掃。,*關於,M,計劃,M：,月,month,每,月一次花費8小時的時間，從高架地板下面從頭到尾的仔細清掃。,異物對策,知道,DWM,計劃嗎？,27,它項10,*從人的衣服上,從衣服發出灰塵。,從內衣褲、外衣、襪子等產生。,*從皮膚上、體毛等,從手的皮膚上發出灰塵，及臉上皮膚脫落。,化妝品也會在一天之中掉落，頭髮體毛等的脫落。,*活動時,人行動時產生風，因而將異物捲起向上擴散。,人打噴嚏也會引起。,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項1,28,它項10,*門,在門故障時，異物容易在間隙中積存。,在門的橫條縫中，異物容易在這裡積存。,*從,Air Shower,從門的空隙進入無塵室。,吹出口周圍及標示牌的膠帶脫落後，都容易積存。,異物對策,在哪一種地方會產生異物,它項9,29,它項10,*機械手臂,在貨物裝載的地方容易積存。,裝卸部的驅動部分容易堆積。,從機械手臂的導輪部發塵。,*機械手臂路徑,從導輪屑、導軌,Tape,的摩耗部發塵。,異物對策,在哪一種地方會產生異物,它項10,30,環境的確認,在無塵室入口徹底的清除異物是非常重 要的。,Air shower,能適時將異物吹落嗎？,要從吹的高度及吹的時間等來觀察,？,雙層梱包的陷井,物品在雙層包裝中不會受污染，因此問題在於要在無塵室開梱及是在何處梱包？,若不檢討開梱場所的話，所攜入的物品就會散布異物。,異物對策,物品攜入無塵室應如何作？,31,去除異物場所的確認,開梱場所的指定和開梱方法及搬入都與散佈異物有所關連。,直接在地板上做開梱等動作時，會使異物附著在攜入物品上。,搬入路線和中途的置放場所,一定要經過,Air shower,再進入無塵室。,置放的場所不可靠近地板，要考慮如何對策異物的附著。,異物對策,攜入物品時的注意點,32,去除異物的方法和場所？,利用,ir,Shower,走道,。,用酒精等擦拭,。,防止異物附著的對策,將物品保管在無塵罩內。,利用密閉容器。,異物對策,攜入物品時異物的去除,請確認己經將異物除去了嗎？,33,不注意下列項目物品就會發塵、散亂,材料的開梱場所,開梱場所選定了嗎？,開梱場所和生產場所有否分開？,開梱場所地板的地上已舖上墊子嗎？,包裝材的瓦楞紙是在外面做開梱嗎？,開梱前的場所與開梱後的場所是分開的嗎？,異物對策,無塵室內的發塵源,34,不注意下列項目物品就會發塵、散亂,裝置,是否有漏油嗎？,是否有生銹嗎？,從驅動部是否有異物發塵嗎？,電鍍油漆部位是否有剝落？,裝置的角落，是否有與台車或其他物品擦到而剝落 嗎？,氣體是否有外漏嗎？,異物對策,無塵室內的發塵源,35,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂,治工具,*是否有污垢？,*是否有油污附著？,*是否生鏽？,*是否有金屬脫落及金屬屑？,*是否有鍍膜或油漆的剝落？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO3,36,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂,部材,*何種包裝材料？,*包裝材料是否有污染？,*裝材料用托盤是否污染？,*材料無污染嗎？,*材料會發塵？,*開梱場所地板的狀況？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO4,37,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂,紙類,*是否使用無塵紙？,*是否未切割的很小？,*是否無破裂？,*角落是否無磨擦到？,*開始發塵的期間是否不長？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO5,38,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂,搬運,*搬運什麼？*如何地使用,Air shower？,*,何種搬運方法？,*搬運時從何處通過？,*何種的搬運速度？,*一次搬運的數量為何？,*容器放在什麼上面搬運？,*使用何種的搬運車？,*門如何地開關？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO6,39,各種容器,*托盤容易付著,托盤裝載半製品至次工程，當然製品的異物也容易,附著拖盤，進而污染下一製品。,*通箱和垃圾箱具有相同的污染程度，通箱內灰塵容,易聚集且不易掉落，因此在這種情況下製品取出放,入的磨擦又引起發塵，造成各式各樣的東西容易聚,集、容易發塵，且不易掉落的情形。,異物對策,無塵室內的發塵源,NO7,40,棚架,棚架容易遮斷氣流，堆積異物於週邊，所以不可,放置在加工作業場所附近，由於棚架容易堆積異,物，所以使用網板材。,櫃子,東西放入裡面，門關起來,雖然外表看起來美觀，,其實裡面容易污染，即使不整理被放置在裡面的物品所產生的污染物也看不見，所以希望櫃子是沒有門的。重要物品及書類等要另外保管。,異物對策,無塵室內的發塵源,41,待投入品的放置場所,製品的放置場所，方便性是很重要的，但若設置,在通路及人通行頻繁的場所，容易引起異物的附,著。,待投入品的放置方法,從地板上堆積待投入品，由於異物都集中在地板,下，較容易捲入異物，所以待投入品最低也要放,置在地板高80公分以上的地方。,異物對策,無塵室內的發塵源,42,空氣的利用及漏出,在無塵室內，無法排出過度擾亂之空氣及氣體，,所以，軟管不可以脫落，確實安裝。,氣體,當然有毒氣體，如果是氯氣類的氣體洩漏的話，,會 因為生鏽，這時有關金屬類裝置，如工具及計,量儀器類等全部被破壞。,異物對策,無塵室內的發塵源,43,漏水,漏出的水乾燥之後，和水一同聚集的異物會散佈週邊，造成不良的影響。另外，水乾燥後又造成金屬生鏽。,藥品類漏出,藥品類漏出的週邊會有嚴重的生鏽發生，特別會,對金屬類造成影響，成為製品污染的原因，,所以藥品類漏出要十分注意。,異物對策,無塵室內的發塵源,44,垃圾箱,垃圾箱裝滿狀態下，若持續將垃圾放入時，需將,垃圾擠壓，造成異物隨空氣排出，而污染無塵室,。異物裝滿垃圾箱時，若移動袋子，會造成異物,散佈在四周。,廢料,廢料不管放置到什麼時候，終究還是會造成污染,，異物會散佈在四周。,異物對策,無塵室內的發塵源,45,告示物：,紙類這種東西，隨著時間會慢慢的破損，不久就,會成為細小的異物，而成為發塵源。,膠帶類：,貼附的東西大部份是膠帶類，在貼附後，假如經,過長時間之後，膠帶本身和乾燥的接著劑便成了,異物。,膠帶撕下後：,牆或石棉系的牆，在膠帶撕下之後，會因表面的,破損而成異物的發塵源。,異物對策,無塵室內的發塵源,NO.13,46,膠帶類：,膠帶剛開始貼時沒有什麼問題，但是經過六個月,之後，膠帶便會脫落而成為大的異物，而且，接,著劑亦因時間而掉落，亦是造成異物的原因。,接著劑：,瞬間接著劑和其他接著劑常被使用，但再乾燥的,無塵室裏，是造成意想不到異物的原因。有些接著劑會和其它物品摩擦之後，會有細小的異物產生而發塵。,異物對策,無塵室內的發塵源,NO.14,47,工具類及工具箱：,工具類及工具箱都是異物容易聚集的地方，因此，,工具箱的構造也要檢討。,放入工具箱中的工具類也會攜帶異物使異物附著,於工具箱中，所以要經常清掃。,以油及化學藥品除銹：,工具使用油類及化學藥品等，維修設備時，在工,具上的油污會吸附異物，也會因藥品的影響而產,生銹。,要經常觀察金屬在摩擦時有無銹的產生。,異物對策,無塵室內的發塵源,NO.15,48,工作場所的周邊：,在工作場所的周邊，不要放置不必要的物品，因,為這樣清掃是很困難的，而形成異物聚集的地方。,作業方式：,作業空間內不要擾動空氣而引起風，不急劇動作,及不使物體來回振動，異物就不會隨著氣流飛揚。,袋類的使用：,袋內的空氣因為袋子裝著空氣，急速地裝入物品，,袋內的空氣因受到壓擠而吹出氣 流，會揚起周圍,環境的異物,。,異物對策,無塵室內的發塵源,NO.16,49,維修作業：,為了維修而分解裝置的故障部份時，同時會有大,量的金屬屑或異物的產生，另外，在螺絲旋緊時,及其他為了安裝而實施金屬加工時，亦會有金屬,屑的產生。,防止異物掉落在周圍和地板下：,在維修作業時，不使各種屑掉落在周圍及下面地 板是很重要的，因此，加工應在無塵室外實施，然後在無塵室內部僅做安裝動作，這一點是很重要的。,異物對策,無塵室內的發塵源,NO.17,50,*,REPAIR,作業,因需將部份已組合的製品，部份或全部分解，過程中易伴隨各種異物的發生。偏光板切斷時的切斷屑、膠帶剝離的接著劑、金屬屑、摩擦屑、鍍膜脫落屑及作業台的摩擦屑。,*偏光板剝離,剝離時必然會產生接著劑屑、玻璃破片屑、偏光板屑、切斷屑等產生。,異物對策,無塵室內的發源,NO18,51,NO1,*,空氣過濾器的連續運轉,使用時的動作確認和使用狀態的確認。過濾的電源,OFF,時，從罩外侵入的異物堆積在罩內。,*清潔桌的門,使用後將防止污染的門關閉，或讓過濾器(風扇,)連續運轉，也可防止污染。,預先做好外在污染不帶入無塵罩內的措施。,異物對策,無塵室內的異物對策,52,NO02,*,防塵罩內的活用,考慮氣流的活動，設置異物對策的防塵罩。不妨礙防塵的目的下，對物品及棚架的放置方法也需考慮。,*,PVC,罩,PVC,防止異物侵入之設置物不要任意打開或撤除。,即使材質不同也能達到相同之目的，注意使用及周邊利用，確認做好靜電防止加工。,異物對策,無塵室內的異物對策,53,NO3,*,棚架板的網孔化,大部分的方式為下吹式迴風，重複重天花板吹出較乾淨之空氣並從地下吸入，不斷送出乾淨的氣,。不阻礙空氣流動的棚架及台子是必要的(網孔方式較好)。,*作業台的網孔化,設置很多的作業台時，好讓空氣的流動順暢，一定要挖孔。,遮擋物會從天花板的空氣流動。,異物對策,塵室內的異物對策,54,*,清掃頻度,依清掃場所來決定清掃次數，次數越多越乾淨，但成本亦愈高，因此依地點決定清掃之次數。直接加工的場所的周邊清掃的頻度也較高。,*清掃時間,依場所裝置部分，有些地方必須花費必要之時間仔細的清掃。,綜合場所、頻度和加工內容一併討論，設定頻度及清掃時間。,異物對策,清掃頻度和時間,55,*,掃除機(吸塵器)：,使用無塵室專用的掃除機(吸塵器)。,因製造廠商眾多，購入時要仔細確認。或者使,用無塵室專用的中央控制真空集塵設備。種,情形就必須使用較長的管子，故對於操作方法,及保管場所必須加以檢討。,*擦拭材料：,因為無塵布的種類多，選擇符合用途及等級之,無塵布，沾酒精之材料亦可使用。,異物對策,清掃道具,NO.1,56,*,小鑷子：,在金屬(機器)的狹窄空間作清掃時，手無法伸,入，即使伸入亦有危險，必須將無塵布纏繞在,小鑷子或金屬棒上做清潔動作。,*刷子：,就使用場所而言，依發塵的場所必須使用刷子,清潔時才使用。,*橡膠手套：,使用藥品等及清潔有油的地方時，必須戴上手,套。,異物對策,清掃道具,NO.2,57,*,在金屬加工及其它加工所產生的粉塵散佈在地板上,，人們穿的鞋子踏到粉塵後，在工場內到處走動而,造成異物的擴散。,*維修室的物品搬至無塵室時，須先清掃(清除)乾淨,後再搬入。,*在維修室、設保的房間內，須設置清掃用具及無塵,布。,異物對策,維修室及保全室鞋子的發塵,鞋子要有內部與外部的區別,58,它項 2：,*在裝置方面：,在裝置的驅動部，傳動帶等摩擦的地方，動力部的Air、Gas,噴出口的周圍，裝置加工部，因不同的加工方法會產生不同,的發塵。,*在治工具方面：,在治工具中金屬角落(邊)摩擦產生的金屬粉屑。,*在計器類(儀表)方面：,油漆、接著劑等產生的粉屑。,*在材料、製品、取出口方面：,在材料的取出口，製品的出入口，及裝入材料及製品的容器。,異物對策,在哪一種場所會產生異物,59,它項 3：,*在材料搬入方面：,從外面搬入的材料，大量異物會附著在上面。,應該在何種環境下生產？,*包裝材料：,包裝材料的容器、包裝的袋子、瓦楞紙等都會,產生大量異物。,在工場的入口處要防止異物的搬入。,異物對策,在哪一種場所會產生異物,60,製品通箱,使用之製品容器,，即通箱含有很多異物掉入,，因,平常不會從下方抽出通箱,，故易堆積異物,。,托盤,使用之托盤平常為外露狀態,，若不清掃會堆積污,垢,，長時間下來若不擦掉污垢就無法去除,。,異物對策,異物在何處?,它項4,61,異物對策,異物在何處?,它項5,製品棚架,製品架是異物易停留的地方,，迴風是由上而下,，因此從,上方而來的異物,，全部被阻擋在製品棚架的上方,。,保管庫內,製品保管庫內若不清掃,，亦會成為異物堆積的地方,，但,每次出入時,，會擾動異物而擴散至周圍,。,62,異物對策,異物在何處?,它項6,台車,台車上也是異物常掉落而堆積的地方,，儘量設計為不掉,落之構造,，人員作上下裝卸時,，引起很多風的捲動,，異,物亦隨之散落,。,車輪,無塵室內來回移動台車的輪胎,，會將異物帶至各處,，且,輪胎本身亦會發塵,。,63,異物對策,異物在何處?,它項7,文具類,紙類膠帶類筆記用品類等都是發塵的來源,記錄用品類,從各種記錄用紙或紙類的四角磨擦皆會發塵,公告欄,公告欄長時間在乾燥的室內,，表面會變的容易發塵,。卡,片匣須作防靜電處理,，若沒有則容易使異物吸付在上,面,。,64,異物對策,異物在何處?,它項8,無塵服,無塵服容易與裝置設備因接觸而污染,，所以須定期送,洗,。,穿著方法,無塵服拉鍊須完全拉上,，頭套須套住臉與頭髮,，以防止,異物發生,。,手袋,從破損,、油,、藥品及污垢等產生異物,。,65,