ESD研讨会.ppt

按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片,第二層,第三層,第四層,第五層,*,靜電防護研討會,防靜電技術研討,一、,何謂,ESD,二、,防靜電等級區分與無塵室等級區分,三、,靜電的產生,四、,靜電防護主要目的及執行,五,、,靜電防護,四大原,則,六、,電子工作區之靜電防護,七、,靜電消除方法,八、,靜電接地的目的,.,分析,九,、,靜電防護設備要求,一、何謂,ESD,Electrostatic Discharge(,靜電放電,),或,Electrostatic Dissipative (,靜電釋放,),二,、,防靜電等級區分與無塵室等級區分,靜電產品考量要點,1.,產品阻抗值,2.,磨擦帶電壓,3.靜電消散時間,1.,絕緣體,表面組抗值,:10,e12.5/SQ,以上,2.,抗靜電級,表面組抗值,:10,e1010e12/SQ,3.,靜電消散級,表面組抗值,:10,e710e9/SQ,4.,導電級,表面組抗值,:10,e6/SQ,以下,無塵室等級區分,根據美國,Federal STD,（,聯邦標準）,209,E,定義：,一立方英呎體積內允許,Particle,之數量及大小來分辨無塵室等級,等級,量測,Particle,尺寸大小（,m,）,0.1,0.2,0.3,0.5,5.0,1,35,7.5,3,1,N.A.,10,350,75,30,10,N.A.,100,N.A.,750300,100,N.A.,1000,N.A.,N.A.,N.A.,1000,7,10000,N.A.,N.A.,N.A.,10000,70,100000,N.A.,N.A.,N.A.,100000,700,三、靜電的產生,靜電帶電,放電現象,力學現象,電擊,火災,産生故障,n,靜電帶電之現象:,1.,磨擦帶電,:,為最普遍的一種，如滾輪移動,及人員走動,2.,剝離帶電：如幻燈片,3.,流動帶電：如油罐車泄油時,4.,噴出帶電：如噴嘴噴出之溶劑,5.,攪拌帶電：攪拌機,6.,感,應帶電：,Monitor,摩擦電序列表,空氣,人手,+,電荷,石棉,兔毛,玻璃,雲母,hair,尼龍,羊毛,毛皮,鉛蠶絲,鋁,紙,棉花,钢,中性,木材,琥珀,密封蠟,硬橡膠,鎳、銅,黃金、白金,硫磺,嫘瑩,聚脂,賽璐璐,奧龍,聚胺脂（,PU,）,聚乙烯（,PE,）,聚丙烯（,PP,）,乙烯基（,PVC,）,Kel,-F,矽,鐵弗龍,-,電荷,作 業 衣 與 人 體 帶 電,溫度25，濕度38%,RH,測定條件,作業衣類別,在絕緣板上時的人體帶電,V,穿靜電鞋時的人體帶電,V,磨擦中,脫作業衣時,磨擦中,脫作業衣時,特多隆65 嫘瑩35,(夏作業衣),-3500,-12000,0,-90,聚丙烯30 棉70,(,Pylen,棉混),-4000,-12000,0,-90,維尼隆50 棉50,(克拉伯),-4500,-12000,-60,-150,亞克力30 聚脂25,嫘瑩45 (海希特隆),-2000,-12000,-30,-180,特多隆65 棉35,(紐魯克),-2500,-12000,-90,-150,棉100,舊作業衣,-2800,-12000,-30,-120,人體（,C=200,P,F）,與日常活動所産生之靜電量,活 動 項 目,電 位,能 量,人體：走動,3.5,KV,1.2,mJ,人體：離座,10,KV,10,mJ,人體：脫夾克,15,KV,22.5,mJ,人體：自15,M,高度飛過,200,KV,20,mJ,粉塵處理,50,KV,125,mJ,投影透明片滑動,10,KV,3,mJ四,、靜電防護主要目的,及,執,行,一、,增加生產量（,Increased Yields,）,二、,節省成本（,Cost Saving,）,三、,產品可靠性較佳（,Better Product,Reliability,）,四、,產品壽命較長（,Extended Usage Life),公司政策,適用的,DoD,ESD,標準,標準程式指導書,規劃及控制程式,品質程式,製造程式,製造方法,材料取用規範,五、,電子元件的敏感度,視電子電路特性不同，不同電子元件對靜電的敏感度亦有不同（表,2-3,）。,電子元件根據對,ESD,的敏感度區分,ESDS,的等級。例如，,DoD-STD-1686,將元件對ESD,的敏感度區分爲三級：,Class1-,元件敏感度從,0,1,999,V,Class2-,元件敏感度從,2,000,V,3,999V,Class2-,元件敏感度從,4,000,V,15,999V,表,2-3,電子元件的,ESD,敏感度,元,件,型,式,對,ESD,的,敏,感,範,圍,VMOS,30,to,1,800,MOSFET,100,to,200,GaAsFET,100,to,300,FPROM,100,to,JFET,140,to,7,000,SAW,150,to,500,Opamp,190,to,2,500,COMS,250,to,3,000,Sxhottky,Diodes,300,to,2,500,Film,ResistorS(Thick,/Thin),300,to,3,000,Biplor,TransistorS,380,to,7,000,ECL(PCB Level),500,to,15,000,SCR,680,to,1,000,Schottky,TTL,1,000,to,表,2-3,電子元件的,ESD,敏感度,很多公司不願做分級試驗，原因是所費不,貲，變通的辦法是將他們的産品規格訂在最敏,感的一級,-,Class1,。,因此，他們的工件區域須按,處理最敏感元件要求標準設計。有些公司也可,能被供應商要求採納及執行分級試驗，例如,MIL-STD-883,。,爲適應MIL-STD-1686,規範，這些,動作是可被接受的方法。,地,點,來,源,解,決,方,法,電子業靜電的產生與防制,1.,工作表面,2,地板,3.,衣服,4.,座椅,5.,包裝、處理,及儲存,6.,裝配、清潔,測試或修護場所,l,打臘、油漆或平滑表面,l,玻璃,l,一般膠墊,l,未接地的金屬,l,混凝土,l,打臘,l,光滑木板,l,聚乙烯地板,l,無塵室工作服,l,合成外衣,l,絕緣鞋,l,綿質衣服,l,光滑地板,l,未接地的金屬,l,聚乙烯,l,玻璃纖維,l,塑膠、包裹、信封,l,氣泡袋,l,塑膠盤、塑膠零件盒、玻璃瓶、零件箱、箱架,l,空氣噴槍,l,除錫槍,l,未接地的焊槍,l,毛刷、室內高速流動的空氣、電熱槍及,吹風機,l,導電墊,l,導電膠墊,l,導電枱面,l,抗靜電工作枱,l,導電地板,l,導電地毯、抗靜電板,l,導電腕帶,l,導電鞋帶,l,抗靜電服、罩衫,l,手套及鞋子,l,導電椅套,l,導電的椅子並接地,l,靜電防護罩,l,導電包裝材,l,導電零件盒、箱,l,特殊的清潔器具,l,抗靜電、導電除錫,l,電焊槍接地,l,抗靜電的器材,規,格,表,面,阻,抗,鞋底：,1.0*10,e4,R 1.0*10e6,體,積,阻,抗,1.0*10,e6,-1.0*10e8,聚,集,電,壓,A.,導電地板,-,步行狀態：,40,V,-,靜止狀態：,20,V,B.,非導電地板,-,步行狀態：,500,V,-,靜止狀態：,20,V,靜電消散時間（,5,KV,）,0.01,秒,韌,性,良好,1500,1000,500,1分鐘,2分鐘,量測到之電壓,歨行狀態 靜止狀態,一般地板,靜電防護對人體的效果,一般地板,步行狀態 靜止狀態,1500,1000,500,導電地板,1分鐘,2分鐘,六,、,靜電,防,制,四大原,則,1,環境,控制,2,人,員,控制,3,包,裝,材料控制,4,人,員訓練,七、電子工作區靜電防護,1.,靜電防護標語：進入靜電防護區之門口挂有,“,注意防靜電防護區，未經許可,不得進入,”,明確表示靜電防護之重要性。,2.,人員防護：,A,）,靜電手環,B,）,防靜電無塵衣帽,C,）,靜電手套,D,）,靜電指套,E,）,靜電鞋或導電鞋,3.,工作環境：,A,）,防靜電桌墊,B,）,防靜電地板或導電地板,C,）,防靜電椅或導電椅,D,）,靜電消除器,E,）,手推車加金屬練條,4.,包裝材料：,A,）,防靜電袋,B,）,防靜電或導電箱盒,5.,品管設備：,A,）,靜電壓測試器,B,）,表面阻抗器,C,）,手環測試器,八、靜電消除方法,一、,接地,二、,增加濕度,三、,使用靜電消除器,四、,使用抗靜電材料,五、,降低磨擦速度,九,、,靜電接地的目的,.,分析,靜電接地的目的,靜電危害防制技術中靜電接技術是最有效,且經濟的防制措施，其目的如下：,防止物體儲存電荷成帶電體,防止鄰近帶電體附近的物體産生靜電感應,電機工程接地與靜電接地比較表,電機工程,靜電,電阻,低,1,1K,很高,10,8,電壓,低,1,V,500V,高,100,V,100KV,電流,較高,1,mA,10mA,很低,1,pA,1mA,電源,電壓源,電流源,接地電阻值,低,100,高,10,6,接地物類別,狀況描述,最大接地電阻值,一般導體,如：機器設備,10,大型固定導體,一般而言，固定導體本身已做到接地，若有絕緣物阻隔無法達到,10,要求，則必須額外做接地。,10,金屬管路,一般而言，金額管路本身已做到接地，管路間若有絕緣物阻隔無法達到,10,要求，則必須額外做接地。,10,導體運輸設備,如：金屬容器,一般而言，無法達到,10,要求，則必須額外做接地。,10,與非導體組合之導體設備,如：旋轉軸,非導體與導體組合之對地電阻須要,10,6,10,6,抗靜電材料,如：鞋子、衣服,10,6,10,8,十,、,靜電防護設備要求,靜電對地電阻表,靜電安全接地系統故障分析表,檢核項目,查核內容,故障原因,查核方法,斷線檢查,1.,接地導體有無斷線,2.,接地電極與接地導體有無斷線,雷害震動、腐蝕、外物碰觸,裸線：目視法,絕緣線：電錶量測電阻,（10,才無斷線）,連接器檢查,1.,夾具與接地蔔端子確實連接,2.,螺絲有否鬆脫,震動、銹蝕、彈簧彈性疲乏,目視法,電錶量測,電極腐蝕,接地電極是否腐蝕,自然腐蝕、電蝕,接地電阻測定,ESD,稽核檢查表,1,採購：,稽核項目,A,採購清單上是否有適當的,ESD,要求。,B,是否向品質經認可的,ESD,産品供應商採購。,C,是否保持最新的,ESD,認可供應商清單。,D,是否要求供應商指定的包裝、標示及正確發,票。,2,收貨：,稽核項目,A,是否可由外包裝或（及）發票確認其為,ESDS,元件。,B,ESDS,元件與非,ESDS,元件是否分區堆放。,C,檢查,ESDS,元件的包裝與標示是正確。,D.,開啓,ESDS,包裝的區域是否配置適當的,ESD,防裝設備（如桌,墊、腕帶等）。,3,進料檢驗：,稽核項目,A,內含,ESDS,元件的包裝，是否在,ESD,指定區由經過訓練且接,地良的人員開啓。,B,ESDS,元件是否裝在保護包裝內運送至倉庫及工作區。,C,進料檢驗員是否有對任何不當標示或不當包裝的元件開立,問題標簽，並將缺點報告品保、採購、及元件工程部門。,4,運送：,稽核項目,A,ESDS,元件是否只在有,ESD,保護的工作臺由經過訓練且接地,良好的人員取用。,B,ESDS,元件是否有正確的標簽與保護包裝。,5,Stockrooms,storage Areas,Kitting and Staging Areas,稽核項目,A,ESDS,元件是否在,ESD,保護袋內保存與配發。,B,存於,ESDS,元件的儲存盒或貨架是否有貼識別標簽C,在,Kitting,及,Staging,區是否執行,ESD,程式。,6,工程發展,稽核項目,A,所有工程發展實驗室內是否執行,ESD,程式。,B,設計中所有用到的,ESDS,元件是否都被確認，設計工程,師與採購所用的,ESDS,料件表是否隨時更新。,C,符合性能要求前題下,所選用的料件是否能提供最大的,ESD,安全性。,D,總成的最低層次是設計有,ESD,保護線路。,E,是否有對,ESDS,總成,/,模組進行線路分析，以決定,ESD,防,護到達的層次。,F,所有設計審查是否都考慮到,ESD,設計，與,ESD,防治程式,是否有一致性。,G,工程圖及相關的工程文件是否按,MIL-STD-129,或按合約,要求標注,ESDS,電子元件的符號，及,ESD,警告記號。,H,硬體是否也貼有,ESDS,元件符號及警告標簽。,7,製造與製造工程區,稽核項目,A,在此全區內是否設置,ESD,指定區及工作臺。,B,在此區域內的作業員是否受過使用,ESD,工作臺及取用,ESDS,元件程式的完整訓練。,C,所有制造裝備是否正確接地。,D,每一個工作臺是否都有,ESD,防護料件（如袋、乳膠泡棉、,箱等）可用，,ESDS,元件在這些區域內傳送時，是否都裝,在防護包裝內。,E,必要的特殊,ESD,防治裝備，如導電地板、導電外衣、濕度,控制、離子産生器等，是否都適當完成。,F,ESD,區域是否有明顯的警告標示，進出此區域的人員是否,都受過初步訓練。,8,生產測試及測試工程,稽核項目,A,在測試及燒機區是否完成,ESD,工作臺。,B,測試區內的靜電源是否完全清除。,C,ESD,防治措施是否完成。,D,ESDS,元件傳送至下一工區時，是否裝在防護袋內。,E,當施加工作電壓時，作業員的接地是否解除。,9,品控部門,稽核項目,A,正規的品質稽核是否依照,ESD,防治程式進行。,B,供應商品質稽核供應商是否按,ESD,規定？,C,ESD,工作臺是否經,QA,確認。,D,品質部門是否按時稽核,ESD,訓練計劃？,E,工程圖是否有正確的,ESD,警告條文或警語。,10,可靠度工程,稽核項目,A,與,ESD,故障有關的資料庫是否經常維護，問題範圍與故,障趨勢所需的調查與矯正措施是否向,ESDS,委員及,QC,報告。,B,可靠度部門與工程發展部門是否共同分析、偵測、及分類,與,ESD,有關之元件,/,總成失效或性能減損，並在硬體設計,中加入,ESD,防治需求。,C,可靠度部門與測試工程部門是否共同分析,/,測試,ESDS,元件,、模組、及總成，以對它們的,ESD,敏感度進行分類。,人員訓練,1,工程師訓練,工程師為工廠主要技術來源與改善者，每位元工程師必須具備各種靜電產品知識，以便於教導操作人員對靜電防護概念。,2操作人員訓練,操作人員最直接接觸電子零件，必須要具備最基本概念，以及每項靜電產品正確使用。,人員訓練,先前所提，凡是取用、組裝、測試,ESDS,零元件,/,總成的作業地區，我們稱之爲,ESDS,指定區（,ESDS Designated area,）。,人員訓練初期的物件，包括經核准能在此區域內工作、清潔、檢修設備，甚至可能通過此區域的所有人員。爲何如此多的人員都需要納入訓練？因爲，即使我們採取了所有與,ESDS,元件有關的預防措施，只要有這些元件，或是將某些物件放置在這些,ESDS,元件上，那將危及整個工作及投資，使得原已成功運作的計劃功虧一簣。,最容易違反,ESD,規定的人員是主管與工程師。必須要讓他們瞭解，他們手指所帶的靜電量，與在線上作業的人員一樣多。很明顯，所有人員都需要接受,ESD,訓練，只是依工作性質不同，所需接受訓練的程度不同。未接受過,ESD,訓練的人員，不允許進入,ESDS,指定區。爲了便於管制這些區域，每一位元員工都需配戴明顯可見的識別標誌，用以辨認其接受了何種等級的訓練。例如，在識別證上粘貼不同顔色的貼紙。正式的訓練，必須讓每一位員工都能有正確的,ESD,防護知識，並建立標準程式。現您已瞭解,ESD,訓練的一般概念，我們再進一步詳細說明。,1初級訓練,初級訓練（,Awareness Training,）,的施訓物件是不直接取用未包裝,/,無保護之,ESDS,元件的人員，屬於知道了的訓練。物件只有主管、清潔人員、行政事務人員、搬運已包裝妥當元件的臨時搬運人員等，這些人都有機會進入,ESDS,管制區，接觸到,ESDS,元件。此類訓練可利用錄影帶教學。此等級的錄影帶避免高深的,ESD,理論，只需強調違反,ESD,規定可能造成的嚴重後果，以及他們的工作應增加那些步驟或注意事項，以配合,ESD,防治措施。,初級訓練應讓受訓人員清楚瞭解用於識別,ESDS,零組件及區域的警告標誌與標識，告知基本限制事項，如切勿碰觸未經包裝的元件，並告知他們可供採取的,ESD,防護方法（如腕帶等）。此項訓練至少需,20,至,30,分鐘，視實際需要，可於員工新進時施訓一次或全員工定期複訓。受訓人員應接受資格認定，或以其他方式確認其完全瞭解受訓內容，公司也應該爲訓練活動留下可供稽核的文件（如記錄等）。,2資格訓練,資格訓練是完整周延的訓練計劃，至少需要,1.5,至,3,小時。凡是會取用未包裝,/,無保護,ESDS,零元件的重要人員，就必須接受此項訓練。訓練課程包括前述的初級訓練，以及使用特殊,ESD,裝備的教育，如腕帶、離子風扇、,topical anti-stats,、,防靜電桌墊等。某些原理，如接地原則、不同包裝材料間的特性差異等，都應包含在內。附錄,A,爲課程規劃範例。示範、錄影帶、問與答、測驗等，都是完整訓練課程所需包含的內容。此項訓練必須至少每年資格檢定一次、並製作成文件備查。,無論你的訓練計劃如何訂定，無可避免地，作業員的日常工作會面對許多繁瑣但卻很重要的限制與程式。由於,ESD,既看不見也感覺不到，除非督導人員在周會中不斷加強宣導，否則有進,ESD,會被抛諸腦後。,ESD,防治計劃一旦展開，訓練計劃最重要的第一步是克服心理障礙，說服參訓人員相信,ESD,的確存在；第二步是說服參訓人員，除非每個人無時無刻都按,ESD,計劃中所規定的規則與程式去作，否則極可能産生不良後果。只需一個小火花，就足以破壞昂貴的,ESDS,元件。,以下是兩種區別,ESD,訓練等級的貼紙，供在,ESDS,區域工作，或可能進出該區的人員，粘貼於識別證上，以資識別。如果投注心力，你的,ESD,計劃可以做到新鮮、創意、有趣。注意，當你選擇教具或訓練媒體時，必須與你工廠的設施相一致，同時，不要企圖一次傾囊而授，那會影響學習效果！此外，在職訓練也具實效。,此範圍的下限包括腕帶導線至接地點的電阻值。此值允許比導線至接地點的一百萬歐姆電阻低,20%,。上限包括靜電消散材料之桌墊的電阻,測試頻率,6,個月至,1,年,設備名稱：離子風扇,測試項目：放射電壓,此項測試是確認離子風扇運作是否正常，及調整吹出的正負離子平衡。,測,試,方,法,測試設備,電赫,板伏特計（,Charge Plate Voltmeter,）,測試方式,1.,CPM 374,正負離子平衡儀置於距離子風扇,30,cm,位置。,2.,開電源。,3.,按,start,4.,檢測器會顯示消散時間和平衡值,合格標準,範圍：消散時間,5,秒內,測試頻率,如廠商要求，視機型而定。,設備名稱：導電地板,測試項目：面電阻係數,此項測試是量測導電地板到接地點間的電,阻。,測 試,方,法,測試設備,兆歐姆錶（,500,VDC,）、,鋁箔測試電極（,2,3,吋）、測試導線（,2,）、,5,磅金 屬砝碼,測試程式,1,以負測試線（黑）連接兆歐姆錶與接地點，正測試線（紅）連接至鋁箔測試電,極。,2,電極放置於距導電地板接地點,12,吋處，朝向地板中央。,3,測試電極上放置,5,磅重砝碼。,4,兆歐姆錶輸出設定於,500,伏。,5,兆歐姆錶電源開關置於,“,on,”,。,6,放電開關置於,“,量測,”,位置。,7,以相同方法測定導電地板其他,5,點以上與接地點間之電阻。,合格標準,高於,25,000,歐姆,測試頻率,1,年或有需要時,設備名稱：接地導線（,Ground Cord,）,測試項目：按扣端至接地點間電阻,此項測試是量測接地導線按扣端到接地點間的電阻。,測,試,方,法,測試設備,兆歐姆錶（,250,VDC,）、,測試導線（,2,）,測試程式,1,以負測試線（黑）連接兆歐姆錶與接地點，正測試線（紅）連接至接地導線的,按扣端（即桌墊接地點、地板墊的連接點、或腕帶導線末端）連接法如圖,12-2,所示。,2,兆歐姆錶輸出設定於,250,伏。,3,兆歐姆錶電源開關置於,“,on,”,。,4,放電開關置於：量測,”,位置。,5,注意：接地導線不應爲,daisy chained,，,因爲它會增加導線的電阻。,合格標準,範圍：,0.8,10,6,1.2,10,6,歐姆,測試頻率,桌墊導線：每,6,個月或對其産生懷疑,腕帶導線：每日,設備名稱：烙鐵,測試項目：與地間的電位差,此項測試是量測烙鐵尖端到接地點間的電位,差。烙鐵需特別注意，因爲它與,ESDS,線路,直接接觸。,測,試,方,法,測試設備,TRMS,電壓錶、導線,(,BNC,到鱷魚夾有,3,層隔離,),、接地夾、導電板球、焊錫,測試程式,1,去除導電板表面上的污垢及及腐蝕。,2,在導電板上焊上一小堆焊錫。,3,NBC,接頭接至電壓錶的輸入端。,4,接地夾接至烙鐵插頭的接地線。,5,電壓錶與烙鐵的插頭共同插入牆上的雙聯插座。,6,正,(,紅,),與負,(,黑,),導線鯉魚夾夾於導電板,如圖,12-2,所示,.,7,接地鯉魚夾接至導電板球如圖,12-2,所示。,8,打開電壓錶及烙鐵電源開關，烙鐵溫度開關旋至最大，等,15,分鐘熱機。,9,記錄電壓值（,V,1,）。,10,從導電板上取下負線鯉魚夾與地線鯉魚夾。,11,上述兩鯉魚夾相連。,12,從烙鐵架上取出烙鐵，以烙鐵頭緊壓導電板上的焊錫堆，停留,30,秒使穩定。,13,記錄電壓值（,V,2,）。,14,計算烙鐵頭尖端與接地點間的電位差（,P,）：,P=V,2,-V,1,。,合格標準,不超過,mV RMS,歐姆,測試頻率,使用者自行決定,設備名稱,:,烙鐵,測試項目,:,從烙鐵尖端至接地點間的電阻,此項測試是量測烙鐵尖端到接地點間的電阻,.,測,試,方,法,測試設備,兆歐姆錶（,250,VDC,）、,測試導線（,2,）,測試程式,1,確定烙鐵電源,“,OFF,”,。,2,以負測試線（黑）連接兆歐姆錶與接地點，正測試線（紅)連至烙 鐵尖端。,3,兆歐姆錶輸出設定於,500,伏。,4,兆歐姆錶電源開關置於,“,on,”,。,5,放電開關置於,“,量測,”,位置。,合格標準,範圍：低於歐姆,測試頻率,使用者自行決定,設備名稱：桌墊,/,桌面貼皮,測試項目：面電阻係數,此項測試是量測工作臺面,(,桌墊或桌面貼皮,),到工作臺面接地點的電阻,.,測,試,方,法,#1,測試設備,兆歐姆錶（,500,VDC,）、,鋁箔測試電極（,2,3,吋）、測試導線（,2,）、,5,磅,金屬砝碼,測試程式,1,以負測試線（黑）連接兆歐姆錶與接地點，正測試線（紅）連至鋁,箔測試電極。,2,電極放置於距工作臺面接地點,12,吋，朝向桌墊,/,桌面貼皮中央。,3,測試電極上放置,5,磅重砝碼。,4,兆歐姆錶輸出設定於,500,伏。,5,兆歐姆錶開關置於,“,on,”,。,6,放電開關置於,“,量測,”,位置。,7,以相同方法測定桌墊,/,桌面貼皮其他,2,至,3,點與接地點間之電阻。,測,試,方,法,#2,測試設備,兆歐姆錶（,500,VDC,）、,測試導線（,2,）、金屬接地板（鋁、不,銹鋼等）、,0.1%,鹽水溶液，噴壺,測試程式,1,在桌面上噴灑小範圍鹽水溶液。,2,金屬接地板置於鹽水溶液上。,3,兆歐姆錶開關置於,“,ACV/M,”,。,4,負測試線（黑）連接兆歐姆錶與接地點，正測試線（紅）,連至金屬接地板。,5,按下兆歐姆錶上的紅色按鈕，讀出電阻值。,合格標準,範圍：,0.8,10,6,10,9,歐姆,ESD,產品測試標準及規範要求,