无锡百级洁净室施工方案.doc

无锡百级洁净室施工技术方案
一、行业标准与设计依据
本洁净室施工严格遵循GB50591-2025《洁净室施工及验收规范》强制性标准，针对无锡地区电子半导体行业生产需求，设定洁净度等级为ISO5级（100级），每立方米空气中≥0.5μm粒子数≤3520个。温度控制采用分区精度管理：核心生产区维持22±0.5℃，辅助区24±1℃，相对湿度统一控制在45%-55%，波动幅度不超过±5%。压差梯度设计遵循"三区五级"原则，洁净区对非洁净区保持10Pa正压，ISO5级区域相对ISO7级缓冲区维持15Pa压差，所有区域静压差监测点设置密度不低于1个/50㎡。噪声控制执行空态≤60dB（A），动态≤65dB（A），照度标准为操作区≥300Lux，走道≥200Lux，应急照明持续时间≥90分钟。
二、材料选择与技术参数
（一）围护结构系统
墙面系统采用0.6mm厚彩钢板，芯材为密度140kg/m³的防火岩棉，双面烤漆层硬度达2H铅笔测试标准。板材拼接采用"双榫卯+硅酮密封胶"工艺，接缝宽度≤2mm，密封胶邵氏硬度≥60A，固化后伸长率≥300%。圆弧角处理半径严格控制在50mm±2mm，阴阳角铝合金收边型材氧化膜厚度≥12μm，与墙面间隙填充防火密封胶。生物安全区局部采用316L不锈钢覆面墙板，焊接后电解抛光处理，表面粗糙度Ra≤0.4μm，接缝处形成R3mm圆角过渡。
地面系统实施三层复合结构：基层采用C30细石混凝土随打随抹，平整度误差≤3mm/2m；中层为2mm厚无溶剂环氧砂浆，添加导电炭黑形成10⁶-10⁹Ω防静电通路；面层采用自流平环氧地坪，厚度≥2mm，耐磨性（750g/500转）≤0.02g，附着力达到划格法1级标准。施工环境温度控制在15-30℃，每道工序养护时间不少于48小时，表面电阻测试点密度为1个/10㎡。
吊顶系统主龙骨选用50×30×1.5mm铝合金型材，承载能力≥200kg/㎡，吊筋间距≤1200mm，采用M10膨胀螺栓固定。吊顶板材为0.8mm厚铝镁合金扣板，表面静电喷涂处理，光泽度60±5度，开孔率根据送风量精确计算，与HVAC系统接口采用密封垫+压条双重密封。灯具、风口气密性处理达到静态泄漏率≤0.5%。
（二）空气净化系统
采用FFU风机过滤单元设计方案，百级区天花板全覆盖H14高效过滤器，过滤效率达99.995%@0.3μm。FFU机组尺寸为1200×600mm，额定风量1500m³/h，运行噪音≤55dB（A），风速均匀性误差≤±10%。风机采用无刷直流电机，具备变频调速功能，调速范围20%-100%。
空调系统采用组合式空气处理机组，包含初效过滤（G4）、中效过滤（F8）、表冷器、加热器、加湿器等功能段。加湿器采用干蒸汽加湿方式，控制精度±2%RH，加热盘管采用紫铜管串铝翅片结构，换热效率≥85%。空调箱漏风率≤0.5%，风机全压≥1500Pa，电机功率配备15%冗余量。
送回风管道采用镀锌钢板制作，厚度按风管尺寸分级：≤800mm采用0.8mm厚，800-1200mm采用1.0mm厚，>1200mm采用1.2mm厚。风管焊接采用氩弧焊工艺，焊后进行酸洗磷化处理，内表面粗糙度Ra≤1.2μm。风管保温采用25mm厚难燃B1级橡塑海绵，导热系数λ≤0.034W/(m·K)。
三、施工工艺与流程
（一）前期管制阶段（净化板材安装阶段）
施工准备主体结构验收完毕，屋面防水及外围护结构施工完成，外门、外窗安装到位。设置专用施工入口，配备专人管理，入口处设置鞋尘清理装置及工作服存放区。施工工具、材料进场前进行清洁处理，净化板材保护膜完整保留，严禁提前撕除。施工现场的环境温度不宜低于5℃，当在低于5℃的环境温度下施工时，应采用保证施工质量的措施，对有特殊要求的装饰工程，应按设计规定的温度实行。
现场管理施工区域实行封闭管理，严禁吸烟、饮食，切割作业必须配备专用吸尘器，产生的粉尘即时清除。每日施工结束后清理垃圾，分类存放并及时清运，保持施工面洁净。施工全过程应对现场封闭清洁管理，在进行粉尘作业时，应采取有效的防止粉尘扩散的措施。
（二）中期管制阶段（空调及设备安装阶段）
人员管控施工人员经培训合格后方可入场，实行出入登记制度，配备统一洁净工作服。设立专用切割间，切割、打磨作业必须在隔离区域进行，全程开启吸尘器，切割后材料需二次清洁。施工人员均应通过有关洁净室的施工、验收规范的培训及考核，特殊工种应持有上岗证。
材料管理材料与人员通道分离，外包装在洁净区外拆除，禁止使用波纹纸板、木材等易产尘材料。金属材料焊接处进行防腐防锈处理，现场喷涂作业需一次完成，做好防火措施。不应使用木材和石膏板直接做饰面，隐蔽使用的木材应经充分干燥并做防潮防腐和防火处理，石膏板应为防水石膏板。
（三）后期管制阶段（调试及验收阶段）
单一出入口+风淋室控制，严格执行出入登记制度。施工人员需提前申请施工许可，采用实名制管理。全员穿着连体洁净服、口罩、发罩、手套， footwear采用防静电洁净鞋。所有工具材料需在室外进行三级清洁处理（吹扫→酒精擦拭→紫外线消毒）后方可入场。严禁在洁净区内进行任何产尘作业，特殊情况需办理专项审批并采取隔离防护措施。
地面保护采用双层防护：底层为0.2mm厚聚乙烯薄膜，上层为18mm厚多层夹板，接缝处重叠200mm以上并用胶带密封。设备搬运使用专用橡胶轮推车，轮胎表面包裹防静电胶带，禁止在地面上拖拽任何物品。施工区域设置专用垃圾桶，垃圾日产日清，采用双层包装袋密封后运出洁净区。
四、各专业系统施工要点
（一）围护结构施工
测量放线使用激光投线仪，精度控制在±1mm以内，弹出墨线后采用美纹纸覆盖保护。彩钢板切割在专用切割间进行，采用等离子切割工艺，切割后切口需用专用锉刀修平，去除毛刺。立板安装采用天地龙骨固定，龙骨与地面、顶面间隙用防火岩棉填塞后打胶密封。板材连接采用自攻螺丝+密封胶双重固定，螺丝间距≤300mm，且必须加装防水垫圈。
圆弧角施工采用专用铝合金型材，与墙面间隙用硅酮密封胶填充，胶面需修成R50mm圆弧过渡。不锈钢墙板焊接采用钨极氩弧焊，焊丝选用ER316L材质，焊接电流控制在80-120A，焊后进行电解抛光处理，表面粗糙度达到Ra≤0.8μm。
（二）空气净化系统施工
风管制作采用数控等离子切割下料，咬口形式为联合角咬口，咬口宽度12mm，折边角度90°±1°。风管焊接采用氩弧焊，焊口需进行气密性检测，试验压力500Pa，保压30分钟压力降≤5%。风管安装吊架间距：水平风管≤1500mm，垂直风管≤2000mm，吊架与风管之间垫3mm厚橡胶垫减震。
FFU安装前需进行外观检查和性能测试，包括风速、噪音、振动等参数。安装时采用可调式吊架，水平度误差≤1mm/m，相邻FFU之间高度差≤2mm。高效过滤器安装前需在洁净环境中拆除包装，进行检漏测试（扫描法），合格后方可安装。过滤器与静压箱之间采用刀口式密封，压缩量控制在3-5mm。
空调机组安装前需进行开箱检查，核对型号、规格及技术参数。机组安装水平度误差≤1mm/m，垂直度误差≤1.5mm/m。与风管连接采用柔性短管，长度200-300mm，材质为防火帆布。空调水系统管道采用镀锌钢管，DN≤100mm采用丝扣连接，DN>100mm采用沟槽连接，试压压力1.0MPa，保压30分钟无泄漏。
（三）电气系统施工
动力配电系统采用TN-S接地系统，接地电阻≤1Ω。配电箱箱体采用304不锈钢材质，厚度≥1.5mm，表面拉丝处理。进出线开孔采用机械开孔，严禁气割开孔，穿线后用防火密封胶密封。导线选用交联聚乙烯绝缘铜芯电缆（YJV），截面积根据负荷计算确定，余量≥20%。
照明系统采用洁净型LED泪珠灯，功率36W，光效≥100lm/W，色温4000K±200K，显色指数Ra≥80。灯具安装与吊顶平齐，间隙用密封胶填充。应急照明采用EPS电源供电，连续照明时间≥90分钟，照度≥50Lux。
静电接地系统采用60×6mm紫铜带沿墙周圈敷设，形成静电接地环网。所有金属设备、管道、支架均需与接地环网可靠连接，连接点电阻≤0.1Ω。接地干线采用35mm²铜芯电缆，支线采用16mm²铜芯电缆，接地端子采用铜质接线端子，压紧式连接。
（四）自控系统施工
温湿度控制系统采用分布式控制系统（DCS），控制器精度±0.1℃/±1%RH。传感器安装位置避开送风口、回风口及设备散热区域，安装高度1.5m。控制算法采用PID调节，温度控制波动≤±0.5℃，湿度≤±5%RH。
压差控制系统采用微差压变送器，测量范围0-500Pa，精度±2%FS。差压传感器安装在洁净区与非洁净区之间的墙体上，正压侧取压孔朝向下风方向。当压差偏离设定值±2Pa时，系统自动调节回风阀开度，维持压差稳定。
洁净度监测系统配置激光粒子计数器，可实时监测0.5μm和5μm粒子浓度，数据每5分钟记录一次，超标时发出声光报警。系统具备数据存储功能，可保存至少1年的历史数据，支持USB导出和网络查询。
五、质量控制与验收标准
（一）材料质量控制
所有进场材料需提供出厂合格证、性能检测报告及质量保证书，进口材料需提供报关单和商检证明。彩钢板抽样送检项目包括：厚度、涂层附着力、防火性能、抗弯强度等，抽样比例为每批次10%。高效过滤器需进行检漏测试，采用扫描法，上游浓度≥10⁷粒/L0.3μm），漏泄率≤0.01%。
环氧地坪材料需检测：附着力、硬度、耐磨性、防静电性能等指标，每500㎡为一个检验批，每批抽取3个试样。密封胶需检测：邵氏硬度、拉伸强度、断裂伸长率、耐老化性能等，每批次取样500ml送第三方检测。
（二）施工过程控制
隐蔽工程验收包括：管线预埋、接地系统、风管保温等，验收需留存影像资料。分项工程检验批划分：围护结构每500㎡为一个检验批，空气净化系统每2000m³风量为一个检验批，电气系统每个配电箱为一个检验批。
关键工序控制点：
1. 彩钢板安装：垂直度≤2mm/m，平整度≤3mm/2m，接缝间隙≤0.5mm
2. 环氧地坪施工：表面平整度≤2mm/2m，附着力≥1级，表面电阻10⁶-10⁹Ω
3. 风管安装：漏风率≤0.5%（试验压力500Pa），风速均匀性≤±10%
4. FFU安装：水平度≤1mm/m，噪音≤55dB（A），振动速度≤1.5mm/s
（三）竣工验收标准
洁净度检测按照GB/T 25915.1-2021标准执行，采用静态测试，测试前需进行全面清洁并空吹24小时。采样点数量：每50㎡设1个采样点，不足50㎡按50㎡计算，每个采样点采样量≥100L。ISO5级（百级）标准：≥0.5μm粒子≤3520个/m³，≥5μm粒子≤29个/m³。
温湿度检测在系统稳定运行24小时后进行，每个功能区至少设置3个检测点连续监测3天，每天记录4次数据。温度控制精度：核心区±0.5℃，辅助区±1℃；湿度控制精度±5%RH。
压差检测采用数字式微压计，精度±1Pa，检测顺序从洁净度最高区域开始，逐步向低级别区域推进。静压差要求：洁净区对非洁净区≥10Pa，相邻不同级别区域≥5Pa，所有区域压差均需保持正压。
噪声检测在空态条件下进行，采用积分声级计，测量高度1.5m，每个检测点测量时间≥30s。噪声限值：空态≤60dB（A），动态≤65dB（A）。
照度检测采用照度计，测量网格2m×2m，距地面0.8m高度。操作区照度≥300Lux，走道≥200Lux，照度均匀度≥0.7。
六、施工进度计划
本项目总工期为180天，具体进度安排如下：
1. 施工准备阶段（15天）：图纸会审、技术交底、材料采购、施工方案编制。
2. 结构施工阶段（30天）：地面基层处理、围护结构安装、门窗安装。
3. 管线安装阶段（45天）：风管制作安装、电气管线敷设、给排水管道安装。
4. 设备安装阶段（30天）：空调机组安装、FFU安装、高效过滤器安装。
5. 装饰装修阶段（30天）：环氧地坪施工、吊顶安装、墙面收尾。
6. 系统调试阶段（20天）：空调系统调试、电气系统调试、自控系统调试。
7. 清洁验收阶段（15天）：全面清洁、性能测试、竣工验收。
关键线路：结构施工→风管安装→设备安装→系统调试→竣工验收，总工期控制在180天内。为保证工期，将采用平行作业法，各专业交叉施工，高峰期投入施工人员不少于50人。
七、安全与环保管理
（一）安全管理措施
施工现场设置明显安全警示标志，划分危险区域并设置隔离护栏。高空作业（≥2m）必须搭设脚手架或使用高空作业平台，作业人员系好安全带。临时用电采用TN-S系统，配电箱配备漏电保护器（动作电流≤30mA），电缆架空敷设高度≥2.5m。
动火作业办理动火许可证，清理作业点周围可燃物，配备灭火器和看火人。焊接作业必须设置接火斗，防止火花飞溅引发火灾。油漆、稀料等易燃物品单独存放，与火源保持≥10m距离，配备防爆型灯具和开关。
（二）环境保护措施
施工垃圾实行分类管理，可回收垃圾与不可回收垃圾分开存放，及时清运出场。切割、打磨作业必须配备吸尘器，粉尘排放浓度≤8mg/m³。油漆作业设置专用喷漆房，废气经活性炭吸附处理后排放。
施工噪声控制：白天≤70dB，夜间≤55dB，噪声超标时采取隔声措施。施工废水经沉淀池处理后排放，悬浮物去除率≥80%。施工现场洒水降尘，保持地面湿润，扬尘排放浓度≤1.5mg/m³。
八、验收程序与标准
（一）竣工验收流程
1. 施工单位自检：对照设计图纸和规范要求进行全面自检，整改不合格项。
2. 监理验收：监理工程师对工程质量进行验收，签署验收意见。
3. 第三方检测：委托具有资质的第三方检测机构进行性能测试，出具检测报告。
4. 业主验收：业主组织设计、施工、监理等单位进行竣工验收，形成验收纪要。
5. 试运行：系统连续稳定运行30天，各项指标达标后进行最终验收。
（二）验收标准
洁净度：ISO5级（百级），≥0.5μm粒子≤3520个/m³，≥5μm粒子≤29个/m³
温度：核心区22±0.5℃，辅助区24±1℃
相对湿度：45%-55%，波动幅度≤±5%
静压差：洁净区对非洁净区≥10Pa，相邻级别区域≥5Pa
噪声：空态≤60dB（A），动态≤65dB（A）
照度：操作区≥300Lux，走道≥200Lux
新风量：≥40m³/h·人
表面防静电性能：10⁶-10⁹Ω
所有检测数据需形成书面报告，验收合格后签署竣工验收证书，工程正式交付使用。保修期为自竣工验收合格之日起2年，其中设备保修期按厂家规定执行，但不低于2年。