1、天威新能源控股有限公司
标准编号
TN.L DL.44-2009
版 次
A
SIH4钢瓶更换操作规程
实施日期
2009年06月10日
1 范围
本文件规定了SIH4钢瓶更换操作规程。
本文件适用于成都天威SiH4 BSGS,且经过培训的有经验的特气管理操作人员。
2 操作规程
2.1 更换前记录：
更换日期
操作人员1
操作人员2
吹扫钢瓶压力
吹扫气种类
吹扫压力
起始时间
保压钢瓶压力
保压气体种类
保压压力
结束时间
左钢瓶号
左钢瓶压力
送气压力
左侧状态
2、
右钢瓶号
右钢瓶压力
送气压力
右侧状态
2.2 准备工具、PPE、手持式侦测器。
2.3 检查新钢瓶是否合格：气体名称、填充量、外观；若钢瓶脏，则需要把钢瓶擦干净。
2.4 打开钢瓶帽检查钢瓶接口型式和泄漏情况，记录新钢瓶号
2.5 确定左右钢瓶已正常切换，更换已在IDLE状态的钢瓶 （左/右）。
2.6 确定钢瓶内的气体达到更换条件（SiH4：满瓶压力的 10%），关闭钢瓶。
2.7 点击ACK消除屏幕上报警信息。”
2.8 确定GN2压力在 5～7bar。
2.9 确定气柜抽风静压大于 20mmH2O。
2.10 确定 Ve
3、nt 口处无人员、施工、动火等安全隐患。
2.11 将 Vent 管的 Bleed 开大，氮气流量调至 10L/min。
2.12 确定高压保压钢瓶压力不低于 900Psig，吹扫钢瓶压力不低 300Psig。否则更换钢瓶。
2.13 拔下吹扫侧 SiH4 钢瓶阀门气动软管。
2.14 旋转钢瓶阀阀锁，将钢瓶阀锁上。
2.15 将吹扫侧的MIV手动阀关闭（如果换左侧气瓶，关闭 MIV(L),更换右侧气瓶，关闭 MIV(R)）。
编制：
校对：
审核：
批准：
发送部门
份 数
2.16 选择吹扫需更换一侧。（如更换左侧气瓶，点击[ylinder
4、Select];更换右侧气瓶，点击[Cylinder Select]）
2.17 点击[Purge & Leak Check],输入“2222” 。
2.18 进入选择吹扫模式，点击[Cylinder Purge],确定钢瓶阀已经关闭后点击[Start]。
2.19 系统自动开始一次吹扫，负压保压，二次吹扫。
2.20 当屏幕显示“ Purge gas is bleeding now”,再次确认钢瓶以关闭。
2.21 在两小时内更换钢瓶，否则重新吹扫。
2.22 穿戴好合适的 PPE。
2.23 使用合适的扳手缓慢松开 CGA 螺帽，同时用手持
5、式侦测器检查瓶口是否泄漏。若侦测器报警，立即 拧紧 CGA 螺帽，并通知现场主管。
2.24 从瓶口上完全卸下 Pigtail，立即拧紧钢瓶阀出口螺帽，然后堵上 Pigtail 接口。移走空钢瓶并安装钢瓶帽，贴上“空瓶”标签。记录空钢瓶号 。
2.25 新钢瓶就位，保证钢瓶口的位置与 Pigtail 钢瓶接口的距离在可安装范围内。
2.26 缓慢松开钢瓶阀出口螺帽，并用手持式侦测器检查瓶口是否泄漏。若侦测器报警，立即拧紧螺帽， 并通知现场主管。
2.27 检查新钢瓶阀出口是否脏污和损坏，必要时须用洁净布擦拭干净。若擦不干净，报告主管。
2.28 更换新的垫片，先用手拧紧
6、Pigtail 螺帽后，查看 HPT 能否保持在 60psig 以上。
2.29 确认扭力扳手扭矩，并将 CGA 螺栓和螺帽旋紧。
2.30 插上钢瓶气动软管，点击[Start]，旋转钢瓶阀阀锁。
2.31 状态显示puge good”,根据提示“Push the Start after close the Regulator”关闭调压阀 点击[Start]
2.32 根据提示use the Start after open the Cylinder Valve”打开钢瓶后点击[Start]
2.33 徐徐的顺时针调节调压阀，使 LPT 压力
7、显示在 40Psig 至 50Psig 之间。
2.34 根据提示，use the Start after open MIV” 打开手动隔离阀MIV 后点击[Start],完成工艺气 体输送。
2.35 记录气体输送压力HPT psi，LPT psi
2.36 将空钢瓶退运至客户仓库。
2.37 再次检查 BSGS 系统运行状态。
2.38 将 Vent 管的 Bleed 调至 4L/min 。
2.39 收拾现场。通知相关人员钢瓶更换完成。
2.40 数据更新，文件存档。
注：需穿戴的ＰＰＥ：安全帽、安全鞋、防火服、防火手套、护目镜、防护面罩。
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