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第六章-半导体的物质结构和能带结构.doc

1、第6章 异质结和纳米结构 1、试讨论用窄禁带n型半导体和宽禁带p型半导体构成的反型异质结中的能带弯曲情况,画出能带图。 答: 2、 仿照第4章对pn同质结的讨论方法,完成突变pn异质结接触电势差表达式(6-5)和势垒区宽度表达式(6-7)的推导过程。 解:设p型和n型半导体中的杂质都是均匀分布的,其浓度分别为NA1和ND2。势垒区的正负空间电荷去的宽度分别为(x0-x1)=d1,(x2-x0)=d2。取x=x0为交界面,则两边势垒区中的电荷密度可以写成 势垒区总宽度为 势垒区的正负电荷总量相等,即 Q就是势垒区中单位面积上的空间电荷数值。因此上式可以简化为 设

2、V(x)代表势垒区中x点得电势,则突变反型异质结交界面两边的泊松方程分别为 ε1ε2分别为p型及n型半导体的介电常数。对以上两式分别积分一次得 C1‘C2是积分常数,有边界条件决定。因势垒区外是电中性的,电场集中在势垒区内,故边界条件为 注意,在交接面处的电场并不连续,但电位移连续[即]。由边界条件定出 将C1C2带入上式中得 对以上两个公式积分得 在热平衡条件下,异质结的接触电势差VD为 而VD在交界面p型半导体一侧的电势降为 而VD在交界面n型半导体一侧的电势降为 在交接面处,电势连续变化,即,故

3、令V1(x1)=0,则VD=V2(x2),并带入上面的公式可得 因此,降D1,D2分别带入得 由,即得接触电势差VD为 而 , 进一步化简可知 ; 将上述两式带入VD公式得 进一步可以求得势垒区宽度XD为 3、 仿照第4章对pn同质结的讨论方法,完成突变pn异质结微分势垒比电容表达式(6-8)的推导过程。 解:势垒区总宽度为 (1) 势垒区的正负电荷总量相等,即 (2) 由(1),(2)式可得 (3) 势垒区宽度XD为 (4) 将(4)带入(3)式可得 (5) 由微

4、分电容定义C=dQ/dV,即可求得单位面积势垒电容和外加电压的关系为 4、 已知纤锌矿结构GaN和AlN的电子亲和能分别为4.1eV和0.6eV,禁带宽度分别为3.39eV和6.2eV。设固溶体AlxGa1-xN的电子亲和能和禁带宽度随组分比x线性变化,试按安德森定则求nn-GaN/Al0.2Ga0.8N同型异质结的DEC和DEV,并画出能带示意图。 解:导带底在界面处的突变△EC为两种材料的电子亲和能之差,即: 价带顶的突变自然就是两种材料禁带宽度之差的剩余部分,即 固溶体AlxGa1-xN的禁带宽度EgAlGaN(X)由下式计算 代

5、入GaN和AlN禁带宽度3.39eV和6.2eV,计算可得 固溶体AlxGa1-xN的电子亲和能随组分比x线性变化 代入数据可得 因此nn-GaN/Al0.2Ga0.8N同型异质结的DEC为 因此nn-GaN/Al0.2Ga0.8N同型异质结的DEV为 5、 用安德森定则计算一个用n-Ge与p-GaAs形成的异质结在室温下的△EC,△EV和VD。已知Ge和GaAs的电子亲和能分别为4.13eV和4.07eV,掺杂浓度均为1016cm-3,Ge在300K时的ni=2.4×1013cm-3。 解:查表可知,GaAs的禁带宽度为1.43e

6、V,Ge的禁带宽度为0.66eV 根据安德森定则 异质结在室温下的△EC为 异质结在室温下的△EV为 查表可知,掺杂浓度均为1016cm-3时n-Ge与p-GaAs的功函数分别为4.31eV和5.32eV。 代入公式可得VD 6、 对用受主浓度为1×1015cm-3的p-Ge和施主浓度为1×1014cm-3的n-Si构成反型异质结,求其室温热平衡状态下的接触电势差VD和势垒区总宽度X及其在两边的分配VD1、X1和VD2、X2,并据此画出能带图。已知Ge和Si的电子亲和能分别为4.13eV和4.05eV,室温下杂质完全电离。(我计算了一个结果,感觉

7、不太对,就没计算其它结果) 解:查表可知Ge和Si的功函数分别为4.57eV和4.37eV 由接触电势差公式可知 由势垒区宽度公式可知 代入数据可得XD=1.72×10-2cm 结左边的空间电荷区宽度为 代入数据可得X1= 交界面p型半导体一侧的电势降为 代入数据可得VD1= 结右边的空间电荷区宽度为 代入数据可得X2= 交界面n型半导体一侧的电势降为 代入数据可得VD2= 7、 大致绘出Al0.3Ga0.7As/GaAs突变异质结在下列情况下的能带图:(a)n+-AlGaAs与本征GaAs;(b)n+-AlGaAs与p-GaAs,(c)p+

8、AlGaAs与n+-GaAs。假定Al0.3Ga0.7As的Eg= 1.85eV,△EC等于△Eg的2/3。 解: 8、GaAs和GaP的晶格常数分别为0.56531nm和0.54505nm,试计算以GaAs为衬底外延GaP薄膜时的晶格失配率和GaP应变膜的临界厚度。 解:根据晶格失配率定义 失陪率 临界厚度 =7.3317 9、接上题,计算GaAs衬底为(100)面时,GaP/GaAs异质结界面的悬挂键密度。 解: = 0.2368 10、对以n型Ga0.5In0.5P和p型GaP构成的晶体管发射结,当GaP的受主浓度为2×1019cm-3,Ga0.5In0.5P的施主浓度为4×1017cm-3时,求其室温下的注入比和发射效率。 解:查本书表1-6知GaxIn1-xP固溶体室温禁带宽度与组分比x的关系为1.351+0.643x+0.786x2 代入数据可得 该异质结的禁带宽度为 室温下的注入比为 室温下的发射效率 11、试证明以d为薄层重复周期的超晶格的小简约布里渊区的边界为k=±p/d。 12、试画出用同种半导体按nipi方式掺杂构成的超晶格的能带图。

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