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制程涨缩管控制度

一、 目的:

有效的管控板材涨缩变化, 降低因板料涨缩变化造成的内短、 层偏、 菲林偏 位等品质不良, 同时减少菲林、 钻带更改次数, 方便锣板, 满足品质要求。

二、 适用范围:

2.1 所有普通多层板;

三、 各工序管控措施:

1、 开料

1.1、 开料要区分板料的经纬方向, 对于同型号中有两种方向的板件, 在开好

料后做好经纬方向的标识转序;

1.2、 开料后板厚≤30mil要烤板, 烤板参数为:150℃+10℃温度下烤板4小时;

13、 每叠板高度1in以下, PC板上下面需用牛皮纸隔开;

1.4、 烤板后冷却至室温再生产, 并做好烤板记录。

2、 内层
2．1、 菲林涨缩控制

2.1.1、 内层所有菲林上机前需要经过二次元测量合格, 新菲林偏差±1mil,
层偏 1.2mil, 二次元精度±0.2mil;

2.2、 PE值控制 控制在 ±50um

2.3、 ME值控制 控制在 ±25um

2.4、 层偏控制

2.4.1、 菲林上机前量测菲林长度, 上下菲林的长度差异值需控制在±35um以内, 单张菲林的长度值与工程的理论预防值相差在±30um以内, 超出偏差范围需重新申请新菲林;

2.4.2、 菲林不使用时应将菲林膜面对膜面存放在专用的菲林袋中, 防御菲林柜中, 存放环境温度为22±2, 湿度为55±5%

2.4.3、 内层线路图形层间对准度检验方法: 生产首件及制程抽检同心圆偏差不能超过1.5mil并做好相关记录;

2.4.4、 菲林上机前需静置30分钟而且每生产1000PNL用二次元测量涨缩;

2.4.5、 蚀刻每2LOR卡96pnl用二次元抽量2pnl测内层菲林方向孔偏差是否在1.5mil范围内, 对偏差超出范围的分开走板。

2.5、 不合格品判断与处理

2.5.1、 内层菲林首板检验时不合格, 菲林直接退回PE, 由PE进行菲林复检, 复检不合格则提出报废;

2.5.2、 IPQC抽检不合格的菲林退回PE, 再由PE提出报废;

2.5.3、 内层批量生产过程中IPQC抽检到不合格时, IPQC需追溯到前几批首板, 从后往前做复检, 一直到OK板为止并分开不良板, 由生产将此料号之菲林退回PE复测, 复测动作同2.5.1;

2.5.4、 不良板的处理由生产以书面UI单形式申请QE、 ME会签, 同意特采此不良板, 分LOT卡, 由生产在短边右上角打凹槽生产至压合后制定最终处理意见。

3、 压合

3.1 钻靶标定位孔

3.1.1、 每次在钻靶位孔前进行校准, 钻咀使用使用寿命控制在 孔次以内;

3.1.2、 每生产48pnl自检一次孔形, 不允许有残铜、 披峰;

3.2、 普通多层板及高层板涨缩区间的划分与标识

超差区间
数据记录
标识

压合靶距数据记录表
无

压合靶距数据记录表
板边捞1个V槽

压合靶距数据记录表
板边捞2个V槽

压合靶距数据记录表
板边捞3个V槽

压合靶距数据记录表
板边捞4个V槽

压合靶距数据记录表
依此类推
3.3、 压合X-RAY打靶机需二次元校正, 打靶偏差与二次元测量偏差值≤±1mil,校正频率: 1次/班, 并做好校正记录, 打靶时板面温度需冷却至室温;

3.3.1、 压合打靶方式选择抓靶中心打孔, 及中心打靶方式作业。

3.4层偏控制

3.4.1、 首件及制程抽检, 同心圆偏差不超过2mi并做好相关记录;

3.5、 涨缩系数的由来及调整:

3.5.1、 由于压板后都有一定程度的涨缩, 同时又要满足客户原装资料及后
续贴片要求( 即与客户资料 1 : 1) ,故ME对按以下方式内层补
偿值之设定:

3.5.1.1、 芯板按其不同板厚作补偿;

3.5.1.2、 经向与纬向的补偿值应有所区分;

3.51.3、 芯板不同残铜量记录为后续补偿基准;

3.5.1.4、 不同压板结构补偿值应有所区分;

3.5.1.5、 TG 值的不同补偿值也需调整;

3.5.1.6、 不同板材供应商、 不同结构及经纬方向由供应商提出补偿参考值;

每批料投产前先测试之实际补偿值并记录, 经过一段时间生产板的涨缩数据收集, 对内层系数内层补偿估计, 总结出一套补偿系数( 即板到外层钻带按 1 : 1 资料做出) 给到PE;

3.5.2、 ME根据FA试板的情况收集整理相关信息建立补偿系数表并根据实际情况修订, 每月对压合工序压合靶距数据记录、 有所改料号的异常钻孔板进行整理, 经过测量值与理论值对比, 提供给PE最优化的补偿更新系数;
3.5.3、 ME对于直接批量生产或返工的料号, 在过程出现的异常情况建立优化流程:
回收菲林→工程系数优化→效果确认→数据分析→优化系数规范

3.6、 不合格品的判断与处理
压合完成后生产在测量钻靶孔时发现不合格, 由生产反馈给ME、 QE, ME根据此板涨缩数据调整钻带生产, 钻带由PE负责, QE负责钻带调整后钻孔首板的判定。

4、 钻孔
4.1、 钻带数量控制: 同一料号只允许一个钻带在生产线上流转;
4.2、 钻孔工序根据料号、 版本、 涨缩区间的板必须相互区分标识单独存放且出货时也要区分;
4.3、 CCD孔披峰控制: 钻孔出来的CCD孔不允许有残铜、 披峰;
5、 电镀
5.1、 检查CCD孔有无变形, 如有分开出货;
5.2不同钻孔系数的板分开走板。
6、 干菲林
6.1、 所有菲林上机前必须经过二次元量测合格才能上机
6.2、 同系数板控制同一系数菲林生产, 同系数、 同一菲林生产不了的板由ME确认并调整;
6.3、 PE值控制 控制在±50um
6.4、 ME值控制 控制在±25um
6.5、 温湿度控制 温度为22±2, 湿度为55±5%
6.6、 菲林单面偏差±1mil, 层偏1.2mil, 二次元精度±0.2mil
6.7、 不同系数的板分开出货
6.8、 不合格品的判断与处理
6.8..1、 菲林首板检验时不合格, 菲林直接退回PE, 由PE进行菲林复检, 复检不合格则提出报废;
6.8.2、 IPQC抽检不合格的菲林退回PE, 再由PE提出报废;
6.8.3、 批量生产过程中IPQC抽检到不合格时, IPQC需追溯到前几批首板, 从后
往前做复检, 一直到OK板为止并分开不良板, 由生产将此料号之菲林退回PE复测, 复测动作同6.8.1;
6.8.4、 不良板的处理由生产以书面UI单形式申请QE、 ME会签, 同意特采此不良板, 分LOT卡, 由QE跟进至AOI后制定最终处理意见。
( 可能原因及解决方法: 菲林系数与板系数不匹配, 重新出系数, 可重新退洗 板测二次元( 如将当套与板不匹配的菲林重新测二次元是 OK 的, 则能够直接经过目测出菲林系数) , 也有可能是菲林变形, 有可能是之前测板时因板本身存在较大极差, 而测二次元时未测到中心值的板, 即菲林系数处于当批板的系数极端, 会导致部分板能够生产, 其它有 PE 值很大而拒曝; 当出现只有一个面孔偏时有可能是单面菲林变形, 最可能的原因还是线路图形 A/B 差( 亦有可能 2 个面 A/B造成 2 个面都有偏破孔, 只是一个面相对正一些而已 ) 检验图形是否存在 A/B差可直接拍 X-RAY 看同心圆是否有相切或相交或接近相切情况, 当前最新层间对准度设计了多组同心圆, 可方便追溯异常; 再者, 产生孔偏为各制程磨板不当, 如放板方向不一, 压力大小不一, 或磨刷过重, 树脂塞孔磨板次数未统一, 干膜退洗返工板再次经过磨刷, 还有其它诸如菲林版本不匹配或错误或操作异常情况少些。)
7、 AOI
7.1、 前工序不同系数的板分开出货

8、 绿油
8.1、 磨板方向: 前处理磨板同一料号统计方向孔生产;
8.2、 同一涨缩区间板同一菲林生产, 如有异常及时通知ME处理;
8.3、 菲林涨缩控制
8.3.1、 菲林单面偏差±1mil, 层偏1.2mil, 二次元精度±0.2mil
8.4、 PE值控制 控制在±50um
8.5、 ME值控制 控制在±25um
8.6、 温湿度控制 温度为22±2, 湿度为55±5%

8.7、 不合格品的判断与处理
8.7..1、 菲林首板检验时不合格, 菲林直接退回PE, 由PE进行菲林复检, 复检不合格则提出报废;
8.7.2、 IPQC抽检不合格的菲林退回PE, 再由PE提出报废;
8.7.3、 批量生产过程中IPQC抽检到不合格时, IPQC需追溯到前几批首板, 从后往前做复检, 一直到OK板为止并分开不良板, 由生产将此料号之菲林退回PE复测, 复测动作同6.8.1;
8.7.4、 不良板的处理由生产以书面UI单形式申请QE、 ME会签, 同意特采此不良板, 分LOT卡, 由QE跟进此板问题并最终制定处理意见。
( 可能原因及解决方法: 菲林系数与板系数不匹配, 重新出系数, 可重新退洗 板测二次元( 如将当套与板不匹配的菲林重新测二次元是 OK 的, 则能够直接经过目测出菲林系数) , 也有可能是菲林变形, 有可能是之前测板时因板本身存在较大极差, 而测二次元时未测到中心值的板, 即菲林系数处于当批板的系数极端, 会导致部分板能够生产, 其它有 PE 值很大而拒曝; 当出现只有一个面孔偏时有可能是单面菲林变形, 最可能的原因还是线路图形 A/B 差( 亦有可能 2 个面 A/B造成 2 个面都有偏破孔, 只是一个面相对正一些而已 ) , 检验图形是否存在 A/B差可直接拍 X-RAY 看同心圆是否有相切或相交或接近相切情况, 当前最新层间对准度设计了多组同心圆, 可方便追溯异常; 再者, 产生孔偏为各制程磨板不当, 如放板方向不一, 压力大小不一, 或磨刷过重, 树脂塞孔磨板次数未统一, 干膜退洗返工板再次经过磨刷, 还有其它诸如菲林版本不匹配或错误或操作异常情况少些。)