特殊气体供应系统演示幻灯片.ppt

Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,*,(,*,),*,SMIC Confidential,特殊气体介绍,1,Pressure unit:（,压力单位）,psig,表压，,psia,绝对压力,psia=psig+14.7,1bar=10,5,Pa=1.0197Kg/cm,2,=14.504psi=0.987atm,1atm=14.7psi,Flow rate unit:（,流量单位）,sccm,毫升/分钟,slpm,升/分钟,1,slpm=1000sccm,S,表示标准状态，即：1大气压，20,。,Weight unit,:（,重量单位）,1Kg=2.2Lbs,压力/重量单位,2,化学品及企业标识 :,化学品名称,企业名称,企业应急电话等,危险性概述 :,危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等,急救措施 :,皮肤接触，眼睛接触，吸 入等,消防措施 :,危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等,泄露应急处理:,应急处理和消除方法等,操作处置与储存:,操作注意事项，储存注意事项等,接触控制/个体防护:,最高容许浓度,TLV，,呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等,理化特性 :,PH,值，沸点（），相对蒸气密度（空气=1）等,废弃处置 ：,废弃物性质，废弃处置方法，废弃注意事项等,法规信息 ：,国内化学品安全管理法规，国际法规等,MSDS,物质安全资料表,3,SMIC,的特殊气体分为四种:,惰性气体,毒性气体,腐蚀性气体,可燃性/毒性气体,气体的定义,4,在,SMIC,总共有41种特殊气体:,14,种惰性气体,CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N2,6,种毒性气体,SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H6,8,种腐蚀性气体,ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne,10,种可燃性/毒性气体,NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4,Sub-Fab(,腐蚀性,)C5F8,BCl3,和,WF6,气体的定义,5,气体房包括,CQC(,连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房,.,气体房布置图如附件,:,气体房布置图,6,特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器,VMB/VMP,然后送到机台端给制程用,特使气体供应系统包括,3,部分:,气瓶柜,气体供应的源头,供应稳定压力的气体,VMB/VMP,气体分配器,装有阀门来控制每一路气体管道,机台,特殊气体的最终用户,特使气体供应系统,7,G/C,气瓶柜,VMB/VMP,Tools,机台,1,st,Floor Gas Room,1,楼 气体房,2,nd,Floor Sub-Fab,2楼 次洁净室,3,rd,Floor Clean Room,3,楼 洁净室,特殊气体供应流程图,8,气体房,9,FAB1,特气气瓶柜,10,气瓶柜流程图,(Air Liquid),11,所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换,在紧急情况下会自动停止供气,.,我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.,气瓶柜,12,对高压的气体,我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.,当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧,.,气瓶柜,13,对液态的气体,我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况,.,当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报,.,当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧,.,气瓶柜,14,FAB2 BSGS,大宗特殊气体供应包括,:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4,Y,气瓶供应包括,:CO2,C2F6,N2O,气瓶组供应包括,:NF3,SiH4,FAB2,大宗特殊气体供应简介,15,大宗特殊气体供应,-Y,气瓶,16,大宗特殊气体供应,-,气瓶组,17,在,SMIC,共有 6 种气体需要安装双套管:,SiH4,CO,1%PH3/N2,1%PH3/H2,0.7%AsH3/H2,ClF3,因此类气体比其它的气体更具危险性,所以我们使用双套管来确保安全,.,针对,ClF3,这种特气,因为需要加热,但真空是绝热的,所以我们在内外套管之间通入70,psi,的,PN2,来传热.,特殊气体 双套管,18,双层管示意图,通常,在双套管的中央应保持负压.我们在双套管的中央安装一块压力表,当压力表的压力上升时,说明内管中的真实气体有泄漏.,特殊气体 双套管,19,特殊气体供应系统介绍,由于,WF6,和,ClF3,这二种气体的腐蚀性特强，如果在新的管路中注入纯度很高的这类气体，它们会破坏管路的内表面。所以，我们先用,N2,和它们进行混合后，再注入管路中，让新的管路适应这类气体后再正式使用，这就是需要做钝化的原因。,20,VMB,21,VMB,22,真实气体在排放到中央排气系统之前,需要进废气处理装置进行处理.,在,SMIC,气体房,我们使用吸收式废气处理装置来处理废气,.,废气处理装置,23,