1、单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,MEMS,典型器件介绍,主要内容：,MEMS,概述,MEMS,典型器件,1,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,-Micro-electro-mechanical-system,微电子机械系统,-,把信息传感、处理，机械执行机构以及其他一些微器件，按照集成电路的制造原则，以高密度，低成本的方式集成在一个微系统中。,什么是,MEMS?,2,MEMS,的主要特点,MEMS,器件的优点是,体积小,、重量轻、性能稳定，,通过,IC,等工艺可批量生产,，成本低，性能一致性好
2、功耗低,，谐振频率高，响应时间短，综合集成度高，附加值高，具有多种能量转化、传输等功能，包括力、热、声、磁及化学、生物能等。,微机电学作为一门新兴的交叉学科，涉及到许多科学技术领域，包括机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通讯、控制等方面。研究人员需要对这些学科领域有广泛的、深入的了解，微机电系统才有可能逐步走向应用。,3,MEMS,工艺的可重复性,MEMS,产品性能的稳定性和可靠性,MEMS,产品的成品率,MEMS,产品的封装和测试,MEMS,器件与电路集成形成微系统,MEMS,发展面临的机遇和挑战,4,惯性,MEMS,器件,RF MEMS,器件,NEMS,器件和新型材料,
3、MEMS,器件,MEMS,器件的发展,5,惯性,MEMS,器件在汽车业中的应用（包括微陀螺、加速度计、压力传感器）,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,6,MEMS分类,Optical MEMS,Bio-MEMS,Sensors Actuators,Nano-Tools,Micro-Fluidics,7,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,微型传感器,8,加速度传感器,9,Accelerometer,Sense fingers,Anchor,Proof mass,Springs,Self-test,actu
4、ators,Curl matching frame,proof mass,y,x,z,Tri-axis microstage,Thin-film z-axis accelerometer,DRIE z-axis accelerometer,10,微陀螺仪,J.Micromech.Microeng.18(2008)115014 N-C Tsai and C-Y Sue,11,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,微型执行器,12,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,微型电磁马达,13,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,Electrostatic Motors,14,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,研究生系列课程,-,半导体微纳加工技术,Hydraulic actuators,15,微镊子,16,微型光学元件,17,微型光学元件,18,
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