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1、CH&HW 冰热水系统 CHW 中温冰水系统 CH-XX 中温冰机 HCH-XX 热回收冰机 CWP-XX 中温冷却水泵 CHP1-XX 中温冷冻水一次泵 CHP2-XX 中温冷冻水二次泵 CH-ET 膨胀水箱 LCHW 低温冰水系统 LCH-XX 低温冰机 LCWP-XX 低温冷却水泵 LCHP1-XX 低温冷冻水一次泵 LCHP2-XX 低温冷冻水二次泵 WW 温水系统 WWP 温水泵 HW 热水系统 SH 壳管式热交换器 HWP 热水泵 CRP 蒸汽冷凝水泵 ST-CT 蒸汽冷凝水箱 CR 洁净室 MAU
2、 新风空调 VFD 变频器 FFU 风机过滤机组 ULPA 超高效空气过滤器 DCC 干冷盘管 EXH 排气系统 GEX 一般排气 SEX 酸性排气 AEX 碱性排气 VEX 有机排气 SCR 洗涤塔 PCW 工艺制程冷却水 PCWP 工艺制程冷却水泵 PHE 板式热交换器 Filter 过滤器 UPS 不间断电源系统 DySC 电压暂降补偿器 ET 膨胀水箱 PV 工艺真空 PVP 制程真空泵 PV TANK 制程真空罐 HV 清扫清扫 GHVAC 一般空调系统 OAHU 新风空调系统 PAHU
3、 （RCU) 循环风空调系统 FCU 风机盘管 EF 排风机系统 CCTV 闭路电视监控系统 NVR 网络硬盘录像机 POE 以太网供电 TV BOX 电视盒子 CMS 中央控制系统 SSR 固态继电器 GEN 柴油发电机 CTTS 闭路过渡式转换开关 ATS 自动转换开关 UPS 不间断电源系统 SCADA 数据采集与监视控制系统 RTU 远程终端单元 GPS 全球定位系统 MTR 主变 HV 高压 LV 低压 AC 交流电 DC 直流电 REC 插座 DYSC 电压暂降补偿器 ELEV 电梯
4、 UPW 超纯水 UF 超过滤 Polish 抛光床 MDG 膜脱气 MB 混床 MDG 膜脱气 UV 紫外线杀菌机 TOC-UV 紫外线除TOC杀菌机 RO 反渗透 MMF 多介质过滤器 AC 活性炭过滤器 WC 弱阳树脂塔 2B 阳床，阴床 DG 脱气塔 PAC 聚合氯化铝 DO 溶解氧 TOC 总有机碳 Silica 可溶解硅 TUB 浊度 SDI 污染密度指数 WWT 废水处理系统 NS 中和废水处理系统 SS 悬浮物质 COD 化学需氧量 BOD 生物需氧量 HF 含氟废水
5、处理系统 CMP 化学机械研磨 AMT 含氨废水处理系统 PDS 制程排水系统 DWWA 一般酸碱排放管路 DCHF 浓氢氟酸排放管路 DDHF 稀氢氟酸排放管路 DB/GW 晶背研磨排放管路 DFRW-Cu 铜制程初道冲洗水排放管路 DLRW 后道冲洗水排放管路 DCMP-clean 化学机械抛光废水排放管路 DF-FAB 地板排水排放管路 DIPA 异丙醇排放管路 Dsolvent-1 有机溶剂-1 排放管路 DWWA-Photo Photo区一般酸碱排放管路 DH2SO4-Cu 铜制程初硫酸废液排放管路 DH2 SO4
6、硫酸废液排放管路 DH3PO4 磷酸废液排放管路 PLB 管道设备 DW 生活用水 PW 生产用水 DWW 生活温水 MW 中水 RWRS 雨水回收系统 IWWS 工业污废水排水系统 EEW 紧急冲身洗眼器 GMS 气体监控系统 CDA 洁净的干燥的空气 XCDA 高纯的洁净的干燥的空气 HPCDA 高压的洁净的干燥空气 IA 仪表空气 PN2 制程氮气 GN2 一般氮气 PH2 制程氢气 PO2 制程氧气 PAr 制程氩气 PHe 制程氦气 CQC 连续质量控制 ASU 空气分离厂 TCN
7、 制氮机 UPO 高纯度氧 THC 碳氢化合物总量 LIN 液氮 LOX 液氧 SGS 特殊气体系统 GC 气柜 GR 气架 BSGS 大宗特殊气体系统 ESG 电子特气 VDB/P 分配阀箱/盘面 VMB/P 阀箱/盘 EFS 过流切换装置 CV 单向阀 PT 压力传感器 PG 压力表 SCBA 自我控制呼吸装置 HPM 高危害的制成材料 GDS 气体监测系统 GIS 气体信息系统 UPS 不间断电源系统 RIO 远程输入输出盘 PLC 可编辑逻辑控制器 EMO 紧急停止 SCADA 数据
8、采集与监视控制系统 TLV 阈限值 LDL 气体检测下限 LEL 气体爆炸下限 CDS 化学分供系统 SDS 研磨液分供系统 CCB 清洁连接设备 CDM 化学分供设备 T-BOX T型盒 E-BOX E型盒 SG 密度计 VG 真空表 LS 液位传感器 DP Cell 压差液位计 HEPA 高效过滤器 DCP 数据集中盘 SOP 标准操作程序 TGCM 全面气体及化学品管理 MSDS 物质安全数据表 NMP N-甲基-2-砒咯酮 IPA 异丙醇 DEV 显影液 PPE 个人防护器具 FMCS 厂务监
9、控系统 Power 供电 PP 电盘 Plug in 插接箱 Breaker 断路器 Cable 电缆 Scoket 插座 UPW 超纯水 PVDF 聚偏氟乙烯 VMB 阀箱 SUS 316 316 不锈钢 specialty gas 特种气体 Bulk gas 大宗气体 CDA 洁净的干燥的空气 PCW 制程冷却水 SUS 304 304 不锈钢 NPT 美国标准的60度锥管螺纹 PV 制成真空 UPVC 硬聚氯乙烯 PU 聚氨酯 PVC 聚氯乙烯 CW 城市给水 GEX 一般排气 SEX
10、 酸性工艺排气 AEX 碱性工艺排气 VEX 有机工艺排气 SWG 可检测卡套管接头和转换接头 DWWA 一般酸碱排放管路 DCHF 浓氢氟酸排放管路 DDHF 稀氢氟酸排放管路 DB/GW 晶背研磨排放管路 DFRW-Cu 铜制程初道冲洗水排放管路 DLRW 后道冲洗水排放管路 DCMP-clean 化学机械抛光废水排放管路 DF-FAB 地板排水排放管路 PDS 制程排水系统 DH2SO4-Cu 铜制程初硫酸废液排放管路 DH2 SO4 硫酸废液排放管路 DH3PO4 磷酸废液排放管路 CPVC 氯化聚氯乙烯 PE 聚乙烯 PP 聚丙烯 PTFE 聚四氟乙烯 CS 碳钢 PFA 可溶性聚四氟乙烯 GBS 厂务一般公用 PCS 厂务制程系统 FPT 厂务工程科 FP 消防
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