净化室NEBB认证测试规定.doc

净化室NEBB认证测试规定正式版

无尘室测试与认证
无尘室性能测试〈Cleanroom Performance Testing〉和无尘室认证〈Cleanroom Certification〉有何分别？基本上无尘室认证就是做无尘室的性能测试，但是认证者对所测试的结果要负完全责任，要保证测试仪器、测试程序都满足NEBB规定。这话说来简单，做起来可不容易，因为空调系统与无尘室的设计变化很多，有些时候业主的要求也不尽相同。在不同的设计理念与不同的业主要求之下，测试的执行就有些差异。因此做无尘室认证，首要之务是熟悉空调系统与无尘室设计。NEBB对无尘室认证人员〈称为Cleanroom Performance Testing Supervisor〉的基本要求有四，一是对空调系统和无尘室的了解，二是对相关规范的了解，三是对测试仪器与测试程序的了解，四是本身的经验与口碑。这些是入门的要求，通过检定成为Supervisor之后，须受NEBB管辖，并且要时时温习法规规范与关注新科技发展，每年向NEBB报到至少一次，两年复检一次资格，要求很多。
　　因此无尘室性能测试谁都可以做，只要会操作仪器就可以；但是要得到严谨可信赖的测试数据，就必须依*资格符合的专业人士。以下数据是尘室的各项性能测试说明，首先是测试简介，说明一些基本概念，之后是测试程序及注意事项。至于测试的底线，就是数据不可更改也不可抛弃，这是不变的铁律。
测试简介
　　在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。
　　有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关数据。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
2.ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
3.JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
4.VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的测量技术。
5.Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
　　以上是无尘室等级规定，与洁净度测量的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
1.IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒测量，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
2.NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
3.ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
　　每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。

1.无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
2.微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
3.外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
4.内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
5.隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
6.稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
7.气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
8.单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
9.非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
10.As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
11.At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
12.Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
　　　　　　　Class X (at Y μm )
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如 0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
　　　　　　　Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
　　　　　　　Class 100(0.2μm , 0.5μm )
　　　　　　　Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在 Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
　　　　　　　Class X (at Y μm )， At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
　　　　　　　Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
　　　　　　　Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。

以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
比较以上两表我们可看出
1.209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆。
2.在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性。
3.在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性。
四、无尘室测试范围 
　　凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
1.待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
2.测试的目的
3.测试程序
4.使用仪器
5.测试报告撰写方式与内容
6.工期

　　在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
　　由上表可看出，风测量试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速测量，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：A. 风速测量
B. 风测量量
C. 前两项的均匀度分析
D. 滤网泄漏测试
E. 洁净度测试
F. 压力测量
第二级〈Level   II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
A. 气流平行度测量〈只适用层流型无尘室〉
B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
第三级〈Level   III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
A. 照度与其均匀度
B. 噪音测试
C. 振动测试
D. 温湿度测试

　　这里说明 NEBB 所要求无尘室性能测试的各项测试程序，当然这些程序是 NEBB 所认定的基本要求，业主可视状况自行修改。NEBB 唯一的要求是，若是修改后的程序比较宽松，就不能说是符合 NEBB 标准。
2.1 气流测量
　　无尘室内的气流控制，是维持洁净度的关键，因此高效过滤网〈HEPA Filter〉的出口速度控制，是非常重要的课题。由于滤网速度关系着空气流场型态、微粒控制能力、换气量与平行度等，因此无尘室的气流测量，是无尘室认证的第一步。经由数据分析，可察觉问题所在，再对无尘室做细微的调整，使性能达到要求。
本章说明无尘室气流测量的步骤，分为速度与均匀度测量，风量与均匀度测量，平行度测量等三部份。测量程序与数据分析，都是依照 NEBB 的标准。
一、滤网速度与均匀度测量

1‧测试目的
　　气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
　　单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要，因此多只需要测量风量。
　　在单一流向型无尘室，风速测量的位置可由业主指定，一般是在滤网表面或是工作高度。但是需注明是滤网风速测量（滤网表面）或是无尘室室内风速测量（工作高度）。
2‧使用仪器
　　无尘室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内，因此所使用的风速计必须属于低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计（Hot Wire）虽然高频响应良好，但是低速时〈0.5m/s 以下〉准确性很低，因此不很适用，一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。NEBB 的要求是在 50fpm 到 120fpm 之间〈0.25 m/s 到 0.6 m/s〉，要有〝 ±5 percent of the reading 〞的精确度。
检验仪器须经校正合格，且仍在有效期限内。于正式检测前及缴交报告时均须检附合格的校正文件。
3‧测试步骤
(1)在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。
(2)取样点位于滤网下方75-150mm处。
(3)每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每1平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每4平方英尺取一点。以600㎜×1200㎜滤网为例，单点式风速计要量8点；多点式风速计要量2点。
(4)每测量点必须取5秒的平均。
(5)依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。
(6)记录所有原始数值，以及分析后的数值。
风速测量的测试步骤，在单一流向型或非单一流向型无尘室都相同。重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。
4‧数据分析
风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。
1.平均值：将所有风速测量值取算数平均  
             VAM = (V1+V2+…+VN)/N
2.标准差：计算所有风速测量值的标准差  

3.相对标准差：相对标准差是一个百分比，将标准差除以平均值，再乘以100得到百分比  
             RSD= SDV/VAM ×100
风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。 由以上说明可看出，相对标准差其实只是把标准差去单位化，其物理意义与标准差一样，都是数据偏离平均值的程度。因此，相对标准差愈高，代表这一群数据愈不均匀，在垂直层流场合，当然希望相对标准差愈低愈好。

5‧验收标准
验收基准必须是由业主订定，设计团队依照业主要求设计空调系统，测试单位则依规范测试，提供给业主作为允收依据。一般而言，允收条件有以下三种。
1.相邻两点之风速值，差距不可大于20﹪
2.测量之平均风速，应在设计规格之 ±5﹪以内3.相对标准差应在 ±15%以内
关于第一条的规定，差距大于20﹪表示这一区已经有足够条件产生区域乱流，必须加以调整。关于第二条，无尘室里面，单一的滤网平均风速，通常会定在设计规格 ±10﹪以内，总量才是±5﹪以内。一般空调则是个别出风口 ±20﹪以内，总量 ±10﹪以内。
二、滤网风量与均匀度测量
1‧说明
　　风测量量的目的通常是用来计算换气量，一般是在非单一流向型无尘室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法使用气罩的场合（气罩体积较大，有时会受限制），才能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算风量时，须注意出风口之有效面积以及修正系数的取得。在回风口和排气口，使用换算法的准确度非常差，应尽量避免。同样气罩通常可以测量送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注意的是反向测量时，其测量范围通常会降低。

2‧测试仪器：
　　风测量量应当使用气罩（Flow Measuring Hood），气罩的测量范围是 15~2500 cfm，精确度要求为读数的±3%。由于气罩本身会产生压损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子，应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要，必须主机连同罩子一起校正，才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。

3‧测试步骤：

(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。
(2) 使用恰当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后测量与计录。
(3) 依验收标准分析所有风量，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。
(4) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。

4‧数据分析：
风量均匀度的计算与风速向同，都是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。

1.平均值：将所有风测量量值取算数平均
            QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N
2.标准差：计算所有风测量量值的标准差

3.相对标准差：相对标准差是一个百分比，将标准差除以平均值，再乘以100得到百分比
                   RSD= SDQ/QAM ×100

　　如前述在垂直层流场合，当然希望相对标准差愈低愈好。但是气罩一般适用在非单一流向型无尘室，其滤网覆盖率并非100﹪，因此计算相对标准差就没意义。在一般空调更是不需计算相对标准差。
5‧验收标准：
验收基准必须是由业主订定，一般可接受范围与风速相同，条列如下。
1.相邻两点之风量值，差距不可大于20﹪
2.测量之平均风量，应在设计规格之 ±5﹪以内
3.相对标准差应在 ±15%以内 [NextPage]
三、
1‧测试目的
　　平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据，结果是重测。
2‧测试方法
　　一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA、和轻质棉线。在无尘室里面一般不使用烟雾，因为烟雾所含微粒太多，恐怕会造成污染。干冰加热水可以制造水雾，水雾对半导体是无污染，但是在制药厂或生化无尘室，又怕细菌会粘着，因此也有缺点。PFA是polyfunctional alcohol（多功能酒精？），是一种水性溶液，基本上是水加染料，然后用超音波打成水雾，释放出之后就形成可见雾气。
　　烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。
　　另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在早期由于棉线比较重，因此只有在风速很强的地方才能使用。无尘室的风速较低，恐怕吹不动棉线，平行度根本无法测量。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量。
　　测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。
3‧测试仪器
1.支架
2.铅垂线
3.Flo-Viz 细线
4‧测试步骤
1.用支架设立垂线作为基准线。
2.将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。
3.在离地2135mm处将铅垂线与悬吊相交作为测量起点。
4.在离地915mm处测量悬吊线偏移铅垂线的量(mm)。
5.偏移角=tan-1(悬吊线徧移量/1220)。
6.每3m×3m区域量1点。 
 偏移角θ=    

若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，之后如上图所示，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。
5‧使用三维超音波风速计
　　三维超音波风速计是实验适用的精密测量仪器，拿进半导体厂内测量气流平行度的机会不多，当然由于其客观性十足，准确度自然较高。如果非用不可，其测试方式是把风速计架好，校准水平与方位，将探头高度调整到1525mm，然后测量三维风速。三维风速的合量与垂直线的夹角，就是气流的平行度。
6‧验收标准
验收标准当然由设计规范决定，一般都是14度。
7‧测试报告
测试报告需包括：
1.所有的测量位置
2.垂直水平方向位移量或风速
3.偏移角
4.与允收基准的比较
滤网流量之数据分析
平均值 QAM
QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N   
QAM = 719.38 cfm  
标准差 SDq SDQ = 17.71  
相对标准差  RSD RSD = SDQ /QAM = 17.71/719.38 = 2.46%

2.2 压力测量
一、说明
　　压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个 common sense，在209的旧版本中，正压有建议值，但是后来就取消了。目前常见的正压值约是10到25 Pascal之间。
　　压力测量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量，尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。因为如果压力不对，要立刻调整以免影响洁净度。测量时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。

二、测试仪器：
　　压力测量可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的 ±5%，测量范围式压力设计值而定，一般0~5mm Aq （0–50 Pascal）即可涵盖室内外压力差之测量。仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用，检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试步骤：
1.必须在风速、风量、气流等测试完成后，才能测试压力，并且排气与MAU要完全正常运转。
2.全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。
3.测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再测量房间与Gowning room之间压差，最后测量Gowning room与外部之压差。
4.建议压差值为5~12Pa，并无强制规定。
5.记录所有数值。  
四、验收标准：
无尘室室内外压差之验收标准是由业主所指定。

五、使用发烟管：
　　压力测量的目的是确认气流可以依照设计的方向移动。若是没有规定压力值，只需确认流向正确，或是在不方便测量的区域，可考虑使用发烟管检视空气流向，但是需要业主同意。发烟管在空调系统测试调整时，是非常方便可*的工具之一。，虽然不提供数值，但是可以确认气流流向、，也可检视泄漏，并且随着烟雾的移动，可确认泄漏位置或缩小检查范围。
无尘室完整性测试
　　另一个与压力有关的测试是空间的完整性测试，完整性测试的英文原文是Integrity Test， Integrity 有完好无缺的意思，像滤网的泄漏测试，有些人就称之为 Filter's Integrity Test。
　　完整性测试的做法是在无尘室外〈如走廊、或是隔壁等级较差之处〉施放微粒，然后在室内墙版接缝处用微粒计数器扫描，检查有无泄漏。但是随着无尘室研究数据日益充实，专家发现只要维持适当正压，污染微粒经由已经打上硅胶的墙缝侵入的机率微乎其微，因此现在都不做完整性测试。微粒虽然比较不会由墙缝入侵，但是会从配线的开口渗入，这点必须注意。完整性测试已濒临淘汰，在此不多叙述，需要这项服务者请个别联络。
2.3 滤网泄漏测试

　　滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：1.滤网的材料无破损，2.安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是FFU系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。 
    滤网泄漏测试基本上是把挑战微粒施放在滤网上游，然后在滤网表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有：1.气胶光度计测试法，2. 微粒计数器测试法，3.全效率测试法，4.外气测试法，说明如下。

一、气胶光度计测试法

1. 说明

气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可*，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。

2. 测试仪器

　　本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年必须校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正。 

三、测试步骤： 
(1)确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。
(2)确认测试位置与测试点数：
(2.1) 测试高度：约1.00m处，或由业主指定。
(2.2) 测试点数：
  单一流向型无尘室，取样点数计算公式如下。
  公制：
        （a）   或（b）  

  其中 N 代表公制的无尘室等级，area是面积，单位是平方公尺，但是小数点要无条件进位。在上两式中取较小的值，  就是无尘室洁净度测试的最小测量点数。
    英制：
        （a）        或（b）  

  其中N代表公制的无尘室等级，area是面积，单位是平方英呎，但是小数点要无条件进位。在上两式中取较小的值，就是无尘室洁净度测试的最小测量点数。

          非单一流向型无尘室，取样点数计算公式为

  公制：

  其中N代表公制的无尘室等级，area是面积，单位是平方公尺。，小数点要无条件进位。这个值，就是无尘室洁净度测试的最小测量点数。

  英制：

  其中N代表英制的无尘室等级，area是面积，单位是平方英呎，小数点要无条件进位。这个值，就是无尘室洁净度测试的最小测量点数。

注意：每个无尘室或无尘独立隔间的最少测量点数是 2 点，最少的样本总数是 5 个样本。

(3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，可参考NEBB规范TABLE 7-2之规定。若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。  

(4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在会产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。另外，测试位置需在业主指定(及/)或标定位置之9m2内。代表该点的最后数据，这个最后数据需小于业主规定值。

(5) 测量点数依前述NEBB规范之公式计算（与209E相同）。任一区域内至少要有二点以上之测试点且须平均分布(除非有设备影响)，并且取样数需大于或等于5次。任一区域之测试总点数若少于10点，需作信赖度上限分析(计算Upper Confidential Limit)。  

(6) 需纪录所有数值，包括统计分析数据。
四、验收标准：
　　洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。也就是如果某一点取样三次，这三个数据的平均值代表该点的最后数据，这个最后数据需小于业主规定值。
　　任何测量点数少于10点的无尘室（可能是无尘室内的某一隔间），该隔间必须做信赖度上限分析。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于业主规定值。  
    一般而言，业主规定值都会比洁静度等级定义少一些。在As-built测试时，规定值常常定为等级定义的10﹪，At-rest测试时，规定值常常定为等级定义的15﹪。这样做的目的是确保在Operating 状态，洁静度可以为持在等级定义以下。
五、信赖度上限分析：
 任一无尘室或是独立的隔间，若是取样点数小于10（2到9），就必须做信赖度上限分析，分析结果需小于。信赖度上限分析有五个步骤，说明如下。

(1)计算将该房间内，每一取样点的平均值，也就是每个取样点的所有样本的平均值，代表该点的微粒测量值。公式如下                  其中 Ai 代表取样点的平均值，CN 是微粒测量值，N是每点的样本总数。

(2)计算在该房间内，所有取样点数据的平均值（Mean），公式如下：

其中 AL 代表取样点的平均值，M是房间内微粒总平均值，L是房间内总的取样点数。

(3)计算标准差（Standard Deviation），公式如下：

其中SD代表标准差， AL是取样点的平均值，M是房间内微粒总平均值，L是房间内总的取样点数。

(4)计算标准误（Standard Error），公式如下：

其中SE代表标准误，SD是标准差，L是房间内总的取样点数。

(5)计算信赖度上限（Upper Confidential Limit），公式如下：

        UCL = M + (UCL factor x SE)

其中UCL代表信赖度上限，M是房间内微粒总平均值，SE是标准误，UCL factor 要查表，表列如下。

    依照以上步骤所计算出的UCL，就是该房间的信赖度上限值。

 2.5 温湿度
一、说明：
　　温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（Level 3）。但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。
　　温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（General Tests and Comprehensive Tests），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测量数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认温湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。

二、测试仪器：

　　常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是0-100℃，精确度是±0.2℃。湿度测量范围是10﹪到95﹪，精确度是±2﹪。

　　一般测量要求温度之显示值可显示0.1℃的变化，湿度的显示值可显示1﹪的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示0.05℃的变化，湿度的显示值可显示0.1﹪的变化。

　　检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试程序：

一般测量的程序如下

1.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿度控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。
2.依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。
3.测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个Dry Coil的控制范围要量一点，测量高度为(高架)地板上1.00m。
4.将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。

一般测量的报告应包括以下项目

1.测量位置图
2.所测量的温湿度数值与取样时间
3.简单数据分析
a.取样点总数
b.最小值
c.平均值
d.最大值
e.平均值减最小值与最大值减平均值

进阶测量的程序如下
1.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。
2.依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。
3.测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个Dry Coil的控制范围要量一点，测量高度为(高架)地板上1.00m。
4.将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。
5.至少每6分钟纪录一次温湿度值，并且持续纪录2小时。亦即每一测量点至少有20笔数据。

进阶测量的报告应包括以下项目

1.测量位置图
2.所测量的温湿度数值与取样时间
3.简单数据分析