PTH线操作手册.doc

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PTH线操作手册

目 录
一、 目的范围
二、 工艺流程
三、 PTH设备规格表
四、 PTH程序图及各缸时间范围
五、 操作程序
5.1开缸程序
5.2工艺控制
5.3生产操作和维护
5.4 PTH线停产处理方法
5.5 PTH线生产异常处理方法
5.6沉铜效果检测
六、 PTH线常见问题及处理方法
七、 背光级数图
八、 附录
1、 PTH线操作控制表
2、 PTH线设备检测一览表

一、 目的规范
规范PTH线流程, 提供PTH线工艺控制参数和操作方法, 指导生产人员正常生产, 以确保生产产品品质, 适用于PTH手动或自动线操作。
二、 工艺流程

三、 PTH线设备规格表

备注:
SS: 不锈钢 QTZ: 石英 P.P: 聚丙烯 T: 气缸振荡
M: 机械摇摆 A: 打气 V: 电振荡器 TF: 铁氟龙
C: 冷却

四、 PTH自动线程序图及各缸时间范围
注: 滴水时间栏空白无要求 各厂根据实际情况可作适当调整

五、 操作程序
5.1开缸程序
5.1.1前期准备
A、 清洗缸体: 新线开缸前须用3-5% NaOH溶液泡缸12小时, 用清水清洗干净后, 再用3-5% H2SO4泡缸12小时, 再用清水冲洗, 至少2次, 药水槽再用纯水清洗一次备用。旧线视缸体清洁度, 可考虑不用酸碱泡, 但缸体须用清水洗净, 药水缸须用纯水清洗;
B、 测量: 测量缸内壁长、 宽、 高, 计算出缸体积, 计算方法:
V 体= 长×宽×高( 药水液位高度) ;
C、 检查生产辅料( 比如, H2SO4是否浑浊等) 。
5.1.2开缸
5.1.2.1整孔除油缸:
A、 加入DI水至2/3体积;
B、 加入整孔剂DS-122(10%);
C、 补充DI水至液位;
D、 打开加热, 开启过滤机
5.1.2.2微蚀缸:
A、 加入水至2/3体积, 开启打气;
B、 加入硫酸4%( 或硫酸8%, 适合硫酸双氧水系列产品) ;
C、 冷却后加入过硫酸钠80g/L;
D、 加水至液位, 搅拌。
5.1.2.3酸浸缸:
A、 加入DI水至2/3体积;
B、 加入2%( V/V) H2SO4;
C、 加入DI水至液位, 搅拌均匀。
5.1.2.4预浸缸:
A、 加入DI水至2/3体积;
B、 加入预浸剂DS-133 220g/L(或DS-133 220g/L,AR盐酸5%, 适合DS-133体系);
C、 加入DI水至液位, 搅溶后开启过滤泵。
5.1.2.5活化缸:
A、 加入DI水至2/3体积;
B、 加入预浸盐DS-133 220g/L, AR盐酸5%。
C、 加入DI水至液位, 搅溶后开启过滤泵;
D、 加入活化剂DS-140 2%;
E、 打开加热器循环。
5.1.2.6加速缸:
A、 加入DI水至2/3体积;
B、 加DS-155 10%;
C、 加入DI水至液位;
D、 打开过滤泵。
5.1.2.7沉铜缸:
A、 加入DI水至2/3体积;
B、 开启打气, 加入沉铜液DS-166M 5%;
C、 缓慢加入DS-166A 7%;
D、 缓慢加入DS-166B 7%;
E、 补充DI水至液位, 开启过滤。
5.2工艺控制
5.2.1整孔除油
A、 工艺参数
a、 温度 60-70℃
b、 时间 5-8min
c、 过滤 连续过滤
d、 摇摆 连续
B、 控制
a、 碱度控制在0.09-0.15N;
b、 每生产100m2板补加1-1.5L DS-122;
c、 每班分析一次, 依化验结果调整维护。
C、 更换
a、 每升工作液处理30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸;
b、 每次全部排净旧液, 洗净缸体后, 重新开缸。
5.2.2微蚀
A、 工艺参数
a、 温度 25-35℃
b、 时间 1-2min
c、 浓度 Na2S2O8 60-100g/L H2SO4 3-5%
d、 过滤 连续过滤
f、 打气 过硫酸钠体系开打气, 双氧水体系无须打气。
B、 控制
a、 每生产100m2添加Na2S2O8 5KG, 硫酸2L;
b、 每班分析一次, 微蚀速率控制在0.6-1.0um/mm;
C、 更换
a、 铜含量大于25g/L时更换;
b、 更换时保管1/6左右旧槽液, 再加入1/2体积纯水, 然后加入4%硫酸及80g/L Na2S2O8,用纯水补充至液位。
5.2.3酸浸缸
A、 工艺参数
a、 温度 室温( 20-30℃)
b、 时间 1-3min
c、 摇摆 连续
B、 控制
a、 H2SO4浓度控制在1-3%;
b、 每班分析一次, 按分析结果补加。
C、 更换
与微蚀缸同时更换。
5.2.4预浸
A、 工艺参数
a、 温度 室温( 18-30℃)
b、 时间 0.5-2min
c、 过滤 连续过滤
d、 摇摆 连续。
B、 控制
a、 比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/L DS-133可升高比重0.01SG(或补加165g/L DS-133可升高比重0.01SG, 8.3ml/L盐酸可提高酸度0.1N,此适合DS-133体系);
b、 每生产100m2板补加2.5KG DS-133、 0.5L盐酸。
C、 更换
a、 每升槽液生产30m2时更换;
b、 或溶液转变成蓝色或绿色时更换。
5.2.5活化
A、 工艺参数
a、 温度 35-44℃
b、 时间 5-8min
c、 搅拌 摇摆或过滤循环
d、 加热器 石英或铁氟龙
e、 过滤 定期过滤
B、 控制
a、 每生产100m2补加DS-140 0.6L;
b、 比重控制在1.116-1.142SG, 比色控制在60-90%。
C、 更换
a、 每升槽液生产600m2时换缸;
b、 铁含量高于150ppm时更换;
c、 换时排除全部旧液, 再用稀盐酸泡洗槽壁, 以清水洗净后用纯水清洗, 重新开缸。
5.2.6加速
A、 工艺参数
a、 温度 酸性室温( 20-30℃)
b、 时间 2-4min
c、 搅拌 摇摆或过滤循环
d、 过滤 连续过滤
B、 控制
a、 酸性控制到0.2-0.4N;
b、 每生产1000ft相对补加DS-155 1.5L。
C、 更换
a、 每升槽液生产20-30m2时更换;
b、 当溶液变混浊时;
c、 更换时全部排除旧液, 洗净槽液重新更换。
5.2.7化学铜
A、 工艺参数
a、 温度 25-30℃
b、 时间 12-18min
c、 沉积速率 1.6-25微英寸/分钟
d、 过滤 连续过滤
e、 搅拌 空气及机械搅拌
f、 操作容量( 负载) 0.15-0.25ft2/L
B、 控制
a、 浓度控制
Cu2+ 1.5-2.5g/L
NaOH 11-13g/L
HCHO 6-8g/L
b、 浓度控制在正常范围之内
补加量计算方法:

1.每生产6-8m2板添加DS-166A、 B各1L;
2.每星期更换一次过滤棉芯, 更换时用稀硫酸浸洗新滤芯, 用DI水洗净, 放入滤槽中使用;
3.每周倒一次槽, 并将槽内壁沉积铜消除, 方法: 抽入废微蚀液或加入一定量H2SO4、 Na2S2O8并加水至液位并开启打气;
4.每班分析3次, 即4小时分析一次。
C、 更换
a、 每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸;
b、 更换时将槽液全部排放, 消除缸内壁沉积铜, 洗净后重新配。
5.3生产控制与维护
5.3.1新开缸药水须化验分析, 确保浓度正常范围, 检查各药水缸温度应达到正常范围;
5.3.2 取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。每架双面累积应达沉铜缸最佳负载, 即0.2ft2/L;
5.3.3 紧接拖缸板后做一架生产板, 抽取生产板背光, 要求: 双面板8.5级以上, 多层板8.0级以上( 详见背光等级表) 。正常后批量生产, 并连续生产, 并连续跟进至少3缸板。
5.3.4 生产过程中须做好生产记录, 药水补加尽可能少量多次, 以保持各药水缸浓度平衡, 前处理各缸药水每生产100 m2补加一次, 化铜缸视生产板而定, 每架板至少6 m2时, 累积6m2补加166A、 B液各1L,每架大于6m2时, 生产一架添加一次。添加量计算: 添加量( L) =累积生产面积m2/6m2;
5.3.5 每次开拉前须检查设备运行状况, 待温度升到正常管控要求, 化验分析调整各药水缸浓度后, 拖缸做板, 步骤同5.3.2、 5.3.3;
5.3.6 无化验室的厂家, 每次开拉前, 沉铜缸须补加DS-166A、 B各15ml/L, 停产12小时以上, 还须补加至少5ml/L甲醛( 37%) 。
5.4 PTH线停产处理方法:
5.4.1 停产前沉铜少添加一次药水;
5.4.2 关掉所有药水缸中的加热器;
5.4.3 关掉水洗缸的入水阀及打气阀;
5.4.4 保持沉铜缸有打气及过滤;
5.4.5 保持活化缸有循环;
5.4.6 长时间停产或放假, 须将药水缸盖好, 特别是活化槽。
5.5 PTH线停电及机械故障处理方法:
5.5.1 当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中的板取出水洗待重做;
5.5.2 当遇停电机械故障不超过10分钟, 浸在水洗缸中的板可正常往后生产如若不然须取出重做;
5.5.3 在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间, 然后取出至板电;
5.5.4 停电时间超过4小时, 须用纯水酸制, 用AR级硫酸中和沉铜缸中的NaOH, 用量约为7ml/L( AR级硫酸) ;
5.5.5 返工板程序:
微蚀→水洗→磨板→PTH工序
5.6 沉铜效果检测:
5.6.1 背光检测: 每生产四小时检测一次, 具体见背光对照表;
5.6.2 孔铜附着力检测: 沉铜板做到成品后, 进行热冲击实验, 孔铜不脱离为OK。

六、 PTH线常见问题及处理

七、 背光级数表