去PSG工序培训.docx

去PSG（磷硅玻璃）
1. 目的：去除硅片表面的P-Si玻璃层（PSG）,为加镀减反射膜做准备在形成PN结的扩散过程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，将磷硅玻璃腐蚀。
l 磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减
l 死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低
l 磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差
2. 磷硅玻璃的来源：
4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl2↑
2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓
硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，成为磷硅玻璃，主要成分P、P2O5、SiO2。

3. 反应原理
原理 ：利用HF和硅片表面的P-Si玻璃层反应，并使之络合剥离，以达到清洗的目的。
HF + SiO2 → H2SiF6 + H2O
4. 工艺设备
序号
工序
辅助
处理液
时间
温度
1
HF
鼓泡
HF酸
120
RT
2
溢流漂洗
鼓泡
DI
120
RT
3
溢流漂洗
鼓泡
DI

RT
4
溢流漂洗
鼓泡
DI

RT

5. 异常现象：清洗好的硅片表面有水珠或水成股流下，硅片表面疏水性不好。
} 分析原因：HF的浓度太低，清洗的时间过短或过长。
} 解决办法：及时补充或更换HF；若HF足量该调节HF中的清洗时间，时间过长或过短都会影响硅片表面状态，最终影响电池的性能。

6. 注意事项
} 及时甩干，避免水纹印
} 注意硅片正反方向不要插错。

7. 工艺要求检查硅片表面的情况，是否染色、有水纹印等;

操作规程
1.1 将刻蚀好的硅片插入花篮
1.2 开启去PSG机总电源，开启各单元控制器电源（附图1），开启甩干机电源，并让甩干机无篮运行一次

1.3 开启1#、2#、3#、4#槽加水开关：1#槽注水至半槽水位关闭进水阀，2#槽注水至溢流口关闭进水阀，3#、4#槽注水至副槽水位到达溢流口处关闭进水阀。
1.4 戴好护目镜，3M口罩，防酸手套（附图2），在1#加入规定量的HF，然后再开启进水阀，注水至水位离溢流口5cm处关闭进水阀，并手动开启鼓泡，3～5分钟后关闭鼓泡开关。

1.5 将去PSG机器开启自动运行状态。
1.6 在上料台上先放上一个母篮，按下“上料确认”，第二个母篮开始既可投入待去PSG的片子进行自动操作。(附图3)

1.7 待下料蜂鸣响后，即刻将母篮从下料台上抬出放于推车上。
1.8 甩干机操作：首先按“开门”按钮，等到门完全打开后，将花篮有挡板的一面朝上，依次放入六个槽内，之后双手分别同时按住2个“关门”按钮。等到门完全关闭后，再按“启动”按钮。甩干结束后机器自动发出提示音，此时可以按“开门”按钮，然后取片。外表不符合要求的重复再洗。（附图4）

1.9 做好各项记录，将生产报表和工艺流程卡放入传递窗。
1.10 生产结束后，停止自动运行，调到手动状态，将各槽液体排放干净，并做好6S工作。
2. 注意事项
6.1 使用劳防用品前，要认真检查，确认完好、可靠、有效，严防误用，或使用不符合安全要求的护具，禁止违章使用或擅自代用。进入生产岗位，必须按规定穿戴劳动防护用品，并正确使用劳动防护用品；防毒面具使用前需仔细检查是否有效，并按国家标准，定期更换滤毒盒；
6.2 注意甩干机操作，若未满8篮进行甩干，需对称放置花篮；
6.3 从去磷硅机器中取出的硅片应立即放入甩干机中甩干，不可暴露在空气中；
6.4 HF都具有强腐蚀性、强刺激性、可致人体灼伤。操作时注意先加水后加酸。操作人员需佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器；
6.5 HF的注意事项及应急处理详见相应的MSDS。
7. 应急处理
7.1 停电、水、气
7.1.1 应立即停止向设备输入硅片，待恢复供电、水、气后，按照操作规程操作。
会同工艺员讨论在线生产硅片处理方案。

化学品安全技术说明书
氢氟酸
第一部分：化学品名称
【中文名称】：氢氟酸
【英文名称】hydrofluoric acid
【分子式】：HF
【分子量】：20.01
第二部分：成分/组成信息
【含量】：高55%;低40%
【CAS No.】：7664-39-3
第三部分：危险性概述
【健康危害】：对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼Ｘ线异常与工业性氟病少见。
【燃爆危险】：本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。
第四部分：急救措施
【皮肤接触】：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。
【眼睛接触】：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。
【吸入】：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
【食入】：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。
第五部分：消防措施
【危险特性】：本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。遇Ｈ发泡剂立即燃烧。腐蚀性极强。
【有害燃烧产物】氟化氢。
【灭火方法】：灭火剂：雾状水、泡沫。
第六部分：泄露应急处理
【应急处理】：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。小量泄漏：用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。
第七部分：操作处置与储存
【操作注意事项】：密闭操作，注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。
【储存注意事项】：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过85％。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第八部分：接触控制/个体防护
【监测方法】：离子选择性电极法；氟试剂－镧盐比色法
【工程控制】：密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴和洗眼设备。
【呼吸系统防护】：可能接触其烟雾时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）或空气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。
【眼睛防护】：呼吸系统防护中已作防护。
【身体防护】：穿橡胶耐酸碱服。
【手防护】：戴橡胶耐酸碱手套。
【其他防护】：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴更衣。单独存放被毒物污染的衣服，洗后备用。保持良好的卫生习惯。
第九部分：理化特性
【主要成分】：含量: 高浓度 55.0％；低浓度 40％。
【外观与性状】：无色透明有刺激性臭味的液体。商品为40%的水溶液。
【沸点(℃)】：120(35.3%)
【熔点(℃)】：-83.1(纯)
【相对密度（水=1）】：1.26(75%)
【相对蒸气密度（空气=1）】：1.27
【溶解性】：与水混溶。
【主要用途】：用作分析试剂、高纯氟化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。
其他一些特殊理化性质
第十部分： 稳定性和反应性
【禁配物】：强碱、活性金属粉末、玻璃制品。
【应避免接触的条件】：
【聚合危害】：
【分解产物】：
第十一部分： 毒理学资料
第十二部分： 生态学资料
第十三部分：废弃处置
【废弃处置方法】：用过量石灰水中和，析出的沉淀填埋处理或回收利用，上清液稀释后排入废水系统。
第十四部分：运输信息
【包装方法】：装入铅桶或特殊塑料容器内，再装入木箱中。空隙用不燃材料填充妥实；装入塑料瓶，特种电木、橡胶或铅容器，严封后再装入坚固木箱中。木箱内用不燃材料衬垫，每箱净重不超过20公斤，3～5公斤包装每箱限装4 瓶。
第十五部分：法规信息
【法规信息】：化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第8.1 类酸性腐蚀品。