生产单晶硅制备及其应用工艺技术.docx

01805741.1    单晶硅晶片及单晶硅的制造方法
2   01806781.6    绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法
3   02111781.0    分离单晶硅埚底料中石英的工艺
4   03112137.3    单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
5   02802101.0    直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法
6   96120692.6    抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置
7   87103486    掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法
8   88108387.9    单晶硅的制造方法和设备
9   89103289.4    一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构
10   90100791.9    单晶硅生产装置
11   90102475.9    制造单晶硅的设备
12   91102921.4    单晶硅直径测定法及其设备
13   91102922.2    单晶硅直径控制法及其设备
14   91102924.9    单晶硅生产设备
15   91102923.0    单晶硅生产设备
16   91102532.4    单晶硅生产设备
17   91102343.7    制造单晶硅的装置
18   95119376.7    单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法
19   96102527.1    单晶硅锭及其制造方法
20   97113523.1    提拉单晶硅的装置
21   97120661.9    直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针
22   97121626.6    双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
23   98100416.4    通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品
24   98116827.2    单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法
25   97113737.4    低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用
26   98121350.2    单晶硅片抗机械力的提高
27   98807859.7    生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法
28   98807993.3    用于单晶硅生长的非Dash缩颈法
29   99801049.9    形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法
30   99812088.X    热退火后的低缺陷密度单晶硅
31   99811709.9    从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构
32   01131737.X    标定单晶硅晶圆晶向的方法
33   00812335.7    制备具有均匀热过程的单晶硅的方法
34   02111221.5    单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法
35   200710133581.6    单晶硅高效复合切割方法及其切割系统
36   200710047776.9    新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池
37   200710180002.3    过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻
38   200710185125.6    单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
39   200710185126.0    单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
40   200710185123.7    单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
41    200710185124.1     单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池 
42    200710157175.3     超声波清洗单晶硅片方法及其装置 
43    200710151631.3     使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法 
44    200610162854.5     可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置 
45    200580050178.6     单晶硅的生长方法 
46    200710018889.6     单晶硅薄膜及其组件的制备方法 
47    200710192803.1     单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构 
48    200710063644.5     提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法 
49    200810060274.4     改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置 
50    85100591     非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置 
51    85100856     制备单晶硅片表面完整层的新途径 
52    02281654.2     一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器 
53    89213391.0     区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 
54    93200611.6     单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽 
55    96236137.2     单晶硅片各向异性腐蚀夹具 
56    95224595.7     用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器 
57    97239008.1     单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置 
58    00224737.2     单晶硅衬底双面抛光片 
59    00225900.1     单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置 
60    01265431.0     低氧碳单晶硅复投料自卸机构 
61   200720039053.X    一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
62   200720192576.8    超声波清洗单晶硅片装置
63   200410092027.4    一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
64   200310116749.4    一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
65   200410096670.4    具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备
66   03808958.0    单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片
67   03810538.1    单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法
68   200510023460.7    单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
69   200510023461.1    单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
70   03818379.X    提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法
71   200510062693.8    涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质
72   200510059736.7    直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法
73   03159798.X    单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置
74   03132132.1    平板单晶硅表面的改性方法
75   01821381.2    用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法
76   01819895.3    用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法
77   02131185.4    一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
78   02804207.7    用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法
79   02155236.3    单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法
80   200310123043.0    硅片和生产单晶硅的方法
81    200410001382.6     单晶硅膜的制造方法 
82    200310108926.4     单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法 
83    200310124860.8     通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品 
84    200510112207.9     单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法 
85    200610004057.4     一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法 
86    200510068987.1     单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法 
87    200510011753.3     单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法 
88    200410042603.4     单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法 
89    200510050335.5     用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法 
90    200510027350.8     单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法 
91    200510027349.5     单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法 
92    200510098526.9     纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法 
93    200380108637.2     利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法 
94    200410088609.5     一种单晶硅抛光片热处理工艺 
95    200610024981.9     单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法 
96    200610024980.4     单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法 
97    200610026855.7     单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法 
98    200610010099.9     对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪 
99    200610054245.8     p型单晶硅片的表面处理方法 
100    200610054246.2     n型单晶硅片的表面处理方法 
101   200610043184.5    单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
102   200610043185.X    单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
103   200610106431.1    掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法
104   200610043186.4    单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法
105   200610043187.9    单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法
106   200610099146.1    单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法
107   200510092880.0    单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
108   200510092319.2    反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
109   200610048750.1    一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法
110   200510094904.6    单晶硅切方机构
111   200510111453.2    制作单晶硅太阳电池绒面的方法
112   200510111455.1    单晶硅太阳电池绒面的制备方法
113   200510136041.4    单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺
114   200610149906.5    生产单晶硅的方法
115   200610105331.7    基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法
116   200610105332.1    直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法
117   200710037043.7    在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法
118   200710037045.6    单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法
119   200710017915.3    单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的制备方法
120   200610080114.7    反射式单晶硅液晶面板
121   200580006256.2    用于单晶硅连续生长的系统
122   200710040549.3    单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机
123   200710023967.1    一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
124   200610028783.X    形成纳米单晶硅的方法和非挥发性半导体存储器制造方法
125   200610029378.X    单晶硅切割废液的处理回收方法
126   200710106433.5    单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置
127   200810101680.0    单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法
128   200810060641.0    一种低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺
129   200810083479.4    单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
130   200810023591.9    单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法
131   200810011318.4    单晶硅片水基清洗剂
132   200710064876.2    一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关
133   200710064879.6    一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关
134   200810090977.1    单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池
135   200810111608.6    单晶硅炉传动装置
136   200810020206.5    单晶硅太阳能电池表面处理用的制绒剂及其制造方法
137   200810040645.2    混合图形化单晶硅的绝缘层上锗结构、方法及应用
138   200810079251.8    单晶硅制备炉石英埚增容加料装置
139   200810042332.0    磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面的方法
140   200680051077.5    单晶硅晶片的制造方法
141   200680051311.4    单晶硅晶片的制造方法
142   200810145905.2    单晶硅的提拉方法
143   200810213369.5    超净工作台及单晶硅用原料的制造方法
144   200810072970.7    单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法
145   200810072972.6    金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法
146   200810171923.8    一种掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法
147   200810122228.2    一种基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性的方法
148   200810170672.1    一种单晶硅片制绒的方法
149   200810234626.3    一种单晶硅加料装置
150   200810200811.0    一种在单晶硅片表面制备ZrO2复合薄膜的方法
151   200810122243.7    一种制备单晶硅绒面的碱腐蚀溶液及方法
152   200810163097.2    单晶硅太阳电池的制绒方法
153   200810163098.7    单晶硅太阳电池绒面的制备方法
154   200810162544.2    一种单晶硅棒的生产工艺及设备
155   200810240275.7    基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法
156   200810220602.2    透光单晶硅太阳电池的制造方法
157   200780017871.2    具有单晶硅电极的电容性微机电传感器
158   200780020983.3    单晶硅片的COP产生原因的判定方法
159   200780021544.4    单晶硅片的COP评价方法
160   200810183113.4    太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法
161   200910001026.7    单晶硅薄膜太阳电池
162   200780024275.7    单晶硅的制造系统及使用该系统的单晶硅的制造方法
163   200910009001.1    单晶硅衬底多结太阳电池
164   200910095528.0    一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法
165   200910024890.9    一种制造掺镓单晶硅太阳能电池的磷扩散方法
166   200910048384.3    一种机床刀具用单晶硅片表面涂层Si3N4复合薄膜的方法
167   200910097597.5    一种在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面的方法
168   200910026142.4    利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的方法及其装置
169   200910048383.9    一种在单晶硅片表面制备Si3N4复合薄膜的方法
170   200780044557.3    具有逆碳分布的低缺陷碳替代单晶硅层
171   200780037848.X    非易失性电荷俘获存储器件的单晶硅制造工艺
172   200910059272.8    一种基于摩擦诱导构造单晶硅表面纳米凸起结构的加工方法
173   200910049740.3    单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜的制备方法
174   200910097219.7    单晶硅掺杂剂的生产工艺
175   200910008161.4    单晶硅半导体晶片及其制造方法
176   200910085898.6    一种用于单晶硅绒面制备的腐蚀液及单晶硅绒面的制备方法
177   200910145260.7    单晶硅薄膜组件的制备方法
178   200810220041.6    一种激光精密加工单晶硅的方法
179   200910099495.7    一种单晶硅片的清洗方法
180   200810123639.3    太阳能级φ6英吋无位错单晶硅的制备方法
181   200910099989.5    掺氮的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法
182   200910099991.2    掺锗的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法
183   200910099990.8    在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮单晶硅的方法
184   200910099992.7    在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法
185   200910088732.X    一种绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统
186   200910181549.4    一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法
187   200810124161.6    太阳能单晶硅切片工艺
188   200810126810.6    单晶硅液晶元件及其与线路板的组装结构
189   200910181550.7    一种用于单晶硅绒面制备的碳酸盐和苛性碱的混合溶液
190   200910139507.4    二氧化硅玻璃坩埚和用二氧化硅玻璃坩埚提拉单晶硅的方法
191   200880006135.1    单晶硅芯片的制造方法
192   200910091826.2    一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法
193   200910091827.7    一种制备单晶硅绒面的方法
194   200910183007.0    制备单晶硅绒面的方法
195   200910152753.3    一种低表面反射率的单晶硅太阳电池绒面制作工艺
196   200910182714.8    一种改进型单晶硅棒切断机
197   200910182715.2    一种改进的用于单晶硅棒的夹持机构
198   200910182701.0    一种单晶硅棒切方工艺
199   200910196144.8    在单晶硅基片表面制备Co3O4复合薄膜的方法及用途
200   200910187632.2    用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液
201   200910172897.5    单晶硅半导体晶片及其制造方法
202   200910197094.5    单晶硅片表面磷酸基硅烷-CdSe复合薄膜的制备方法
203   200910035633.5    一种用于单晶硅绒面制备的正磷酸盐和苛性碱的混合溶液
204   200880022738.0    重掺杂的单晶硅衬底中的氧沉淀的抑制
205   201010186977.9    非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池铝背电场制备方法
206   201010205614.5    嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜压阻式压力传感器及方法
207   200910057250.8    形成交替的P型和N型单晶硅结构的方法
208   200910057253.1    提升SONOS数据保持能力的单晶硅无损伤隧穿窗口集成方法
209   200910027873.0    一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的制备方法
210   201010259895.2    光伏用单晶硅的掺杂方法
211   200910099022.7    一种单晶硅太阳能电池的绒面制作方法
212   201010232677.X    单晶硅棒线开方夹具
213   200910035634.X    一种用于单晶硅绒面制备的添加剂
214   200910100178.2    CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法
215   200910182605.6    单晶硅太阳电池绒面上pn结杂质浓度分布的测量方法
216   200910311756.7    一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置
217   200910309453.1    低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法
218   200910309461.6    一种低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法
219   200910157192.6    一种用于制备单晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
220   200810107257.1    高纯多晶硅棒作为供料棒在单晶硅区域熔炼法中的应用以及制备方法
221   200910175320.X    有效控制单晶硅中碳含量的方法
222   200810046405.3    指状交叉背电极单晶硅太阳电池在聚光应用中的封装结构
223   200810204590.4    一种单晶硅的磨面滚圆磨削方法
224   200810239837.6    用于单晶硅生长过程控制的智能PID控制方法及其系统
225   200910197123.8    一种在单晶硅片表面制备Co3O4复合薄膜的方法
226   200810240302.0    一种太阳能电池单晶硅片的界面钝化方法
227   200910263714.0    具有单晶硅在硅化物上的集成电路组件及其制造方法
228   200910096021.7    单晶硅埚底料中石英的分离工艺
229   201010104303.X    掺锗重掺磷直拉单晶硅片的内吸杂结构制备工艺
230   201010114326.9    太阳能电池用掺镓铟单晶硅材料及其制备方法
231   201010138362.9    一步法制备单晶硅太阳能电池绒面的方法
232   201010161287.8    单晶硅添加剂制绒液
233   200910080359.3    由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置及方法
234   200910127197.4    用于制造单晶硅片绒面的加热装置和方法
235   201010187541.1    一种多晶硅或单晶硅用坩埚涂层及其制备方法
236   201010177182.1    表面具有超疏水性纳米硅线阵列的单晶硅片及其制备方法
237   201010195095.9    单晶硅片碱性制绒液的添加剂及使用方法
238   201010195103.X    单晶硅片制绒液的添加剂及使用方法
239   201010194517.0    一种太阳能电池单晶硅片的制造方法
240   201010176628.9    一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼
241   201010198142.5    一种准单晶硅的铸锭方法
242   200910044001.5    改善单晶硅太阳能电池减反射膜特性的方法
243   201010259098.4    一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构
244   201010280712.5    由单晶硅和多晶硅切割废料中回收硅和碳化硅的方法
245   201010500429.9    单晶硅炉电源用滤波补偿装置
246   201010284947.1    一种用于生长铸造单晶硅的坩埚及衬底片
247   201010273954.1    一种降低单晶硅位错的方法
248   200910057624.6    通过对称折叠梁弹簧解耦的单晶硅MEMS陀螺仪
249   201010235669.0    台阶式顶层单晶硅的绝缘体上硅衬底硅片的加工方法
250   201010226437.9    单晶硅太阳能电池表面微区可控修饰工艺
251   201010526866.8    一种单晶硅片制绒液及其用于制绒的方法
252   200980107029.7    单晶硅拉晶用石英坩埚及其制造方法
253   201010520649.8    单晶硅腐蚀剂的制备方法、对凸角硅进行腐蚀的方法
254   201010238046.9    单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液
255   201010540745.9    单晶硅太阳能电池片制绒液
256   03231427.2    双面光照单晶硅太阳电池
257   200520076510.3    单晶硅切方装置
258   200520113172.6    反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
259   200620002303.8    单晶硅棒切方滚磨机床
260   200620003851.2    直拉法单晶硅生产用石英坩埚
261   200520110444.7    单晶硅棒切方滚磨机床
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263   200620117810.6    区熔单晶硅炉
264   200620117812.5    区熔单晶硅生长炉
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267   200620047100.0    丝网印刷铝背发射结N型单晶硅太阳电池
268   200620134195.X    一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置
269   200820031913.X    单晶硅取锭运锭车
270   200820085030.7    改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的装置
271   200820080642.7    软轴单晶硅炉
272   200820080659.2    一种单晶硅炉
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274   200820109321.5    一种降低单晶硅炉能耗的装置
275   200820109320.0    一种提高单晶硅炉晶体生长速度的装置
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277   200820186444.9    单晶硅加料装置
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280   200820186660.3    一种数控单晶硅专用磨床
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283   200820232271.X    便于线切割的单晶硅棒
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285   200920106586.4    由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置
286   200920101825.7    单晶硅运锭车
287   200920101831.2    一种单晶硅生长炉的加热系统
288   200920101827.6    一种单晶硅生产设备的真空装置
289   200920038379.X    单晶硅棒举升机
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294   201020179627.5    连续浇铸单晶硅带的设备
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296   201020203608.1    单晶硅生产用异形石墨坩埚
297   200920116043.0    一种180～186瓦72片单晶硅电池片组件及其使用的单晶硅电池片
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299   200920125175.X    一种单晶硅棒
300   200920125176.4    一种单晶硅棒
301   200920125177.9    一种单晶硅棒
302   200920191189.1    一种太阳能单晶硅制备用的磁场装置
303   200920048299.2    一种用于单晶硅棒的夹持机构
304   200920147955.4    一种提高单晶硅炉投料量的装置
305   200920147956.9    一种单晶硅炉的温场稳定装置
306   200920048298.8    一种单晶硅棒切断机
307   200920049518.9    单晶硅拉制两截可挂式热屏
308   200920042955.8    单晶硅棒料开方检验设备组合

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