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氦质谱仪的类型及其操作规程
氦质谱仪主要分为单四极杆，四级杆串联（三重四级杆），离子阱（ITMS），飞行时间质谱（TOF）等。这里面也不缺乏质谱间的联用，比如Q-TOF（四级杆和飞行时间联用），TOF-TOF等等。
氦质谱仪检漏仪的操作
1. 所需条件
1) 氦质谱检漏仪一台
2) 带阀门和氦室渗氦型标准镂孔(楼率~Pa•/s)一支及其检漏仪检漏口相连的连接件；
3) 液氮（检漏仪需用时准备）
4) 电源，水源，气源，（检漏仪需用时准备）
2. 操作步骤及要点
1） 开机前检查电源、水源、气源是否符合要求，检查检漏仪上所有开关、旋钮是否在应处的关机位置。检查机械泵油位和油质是否符合要求。
2） 接通电源、水源、气源，开预抽泵和前级泵。开机后如果发生机械泵逆转，应将机械泵三相电源中的任意两相调换。
3） 当前级压力低于5Pa后开高真空泵（分子泵或者扩散泵，开扩散泵前应关抽速阀，30min后再打开）。
4） 冷阱中加液氮（检漏仪需要时），党质谱室压力低于规定值（一般510Pa左右）后打开质谱室灯丝，并调整检漏仪各参数使其处于正常工作状态。
5） 利用标准漏孔正确调整氦峰位置。其方法是：打开标准漏孔阀，调整加速电压使输出指示达到最大值后关标准漏孔阀，如果输出指示明显下降则认为氦峰位置已调整好；如果输出指示无明显变化则认为不是氦峰位置，应继续调增加速电压使输出指示达到最大值，直到找处氦峰位置为止。至此，仪器已处于检漏状态。
6） 关机。正确的关机步骤为：关高真空泵前应先关质谱室灯丝、检漏阀、质谱室电源，吹除冷阱中的液氮，关闭抽速阀，然后关高真空泵。（待扩散泵冷却后）关机械泵。
7） 关电源、水源、气源。