电镀深镀能力和均匀性测试报告.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,电镀深镀能力和均匀性测试报告,内容,1.,目的,2.,测试板制作、测试条件、参数及方法,3.,镀铜均匀性及深镀能力测试结果,4.,结论,5.,附表,定期测试电镀工序均匀性及深镀能力,以保证电镀,工序制程品质稳定,建立其制程,中不良,产,品的,减少,与,预,防,为,目的,以实施产品质量,合格化,进而生产出优良产品,以满足客户之要求,目的：,a,.,规格,开料尺寸：,24.5*20.5”,板厚：,1.5MM,数量：,16PNL,b.,测试板钻带制作,因成本考虑，电镀均匀性与深镀能力同,PNL,测试，测试板钻带号为,ME-TEST001,，并钻不同孔径,0.25-0.35MM,孔，如下图示：,钻咀,0.25MM,，纵横比,6,：,1,钻咀,0.30MM,，纵横比,5,：,1,钻咀,0.35MM,，纵横比,4.3,：,1,测试板制作：,C.,测试流程,测量铜厚,烘干,PTH,钻孔,全板电镀,开料,整理报告,D.,测试工具,电脑，金相显微镜，烤箱，切片模，研磨机，,CMI,铜厚测量仪,E,.,测试电镀生产参数,-,测试槽体：全板电镀线,1,#,-,电镀参数：,12ASF*110MIN/14ASF*90MIN,-,操作参数：,槽名,槽体积,温度,(),分析控制,药水分析值,分析成分,分析范围,控制点,除油,3000L,40,LP-200,4-6%,5%,4.7%,H2SO4,4-6%,5%,5.5%,酸浸,3000L,RT,H2SO4,8-12%,10%,10.5%,电镀铜槽,1,#,8000L,24(22-26),CuSO4,60-90g/l,60,65,H2SO4,180-220g/l,200,215,HCl,40-80ppm,60,65,2001 Additive HS,0.5-1.5ml/l,0.75,/,2001 Carrier,2-15ml/l,7.5,/,测试条件及参数：,电镀均匀性：以每飞靶挂,8PNL,板，编号测量面铜厚，区分,C,面,/S,面测量面,铜，每,PNL,板单面测量,28,点，如下为挂板图与测量点示意图：,挂板编号示意图,CMI,铜厚测量点板面分布图,(,白色圆圈处为测量点,),计算公式：,COV=MAX-MIN/2AVE,测试方法：,电镀深镀能力：切片测量不同纵横比的深镀能力，两种电镀生产条件,（,12ASF*110mins/14ASF*90mins,）以六点法计算方式测试深镀能力,A B C D,均指镀铜厚度，不包括底铜厚,E F,均指孔中间铜厚,计算公式：,T/P=(E+F)/2/(A+B+C+D)/4,测试板标准,：,均匀性,COV15%,深镀能力,T/P 80%,测试方法：,-,电镀参数：,12ASF*110mins,-,镀铜均匀性：,86%,，满足要求,电镀均匀性测试结果：,-,电镀参数：,14ASF*90mins,-,电镀均匀性：,85%,，满足要求,电镀均匀性测试结果：,电镀深镀能力测试结果：,同一制板条件下，电流密度越小，电镀时间越长，深镀能力越好，,12ASFX110min,的深,镀能力优于,14ASFX90min,电镀均匀性测试结果：（,1,#,铜缸）,-,电镀参数：,12ASF*110mins,，,COV=14%,-,电镀参数：,14ASF*90mins,14ASF*90mins,，,COV=15%,-2,种条件的测试结果均能满足要求（,COV,15%,），,12ASF*110mins,优于,14ASF*90mins,深镀能力测试结果：（,1,#,铜缸）,-,电镀参数：,12ASF*110MIN,纵横比在,6:1,、,5:1,、,4.3:1,条件下，平均,T/P,值均,80%,-,电镀参数：,14ASF*90MIN,纵横比在,6:1,、,5:1,、,4.3:1,条件下，平均,T/P,值均,80%,-,同一制板条件下，电流密度越小，电镀时间越长，深镀能力越好，,12ASFX110min,的深,镀能力优于,14ASFX90min,结论：,1,、深度能力测量数据：,电镀参数：,12ASF*110MIN,，纵横比,6:1,，,0.25MM,孔径测量结果,附表：,附表：,2,、深度能力测量数据：,电镀参数：,12ASF*110MIN,，纵横比,5:1,，,0.3MM,孔径测量结果,附表：,3,、深度能力测量数据：,电镀参数：,12ASF*110MIN,，纵横比,4.3:1,，,0.35MM,孔径测量结果,附表：,4,、深度能力测量数据：,电镀参数：,14ASF*90MIN,，纵横比,6:1,，,0.25MM,孔径测量结果,附表：,5,、深度能力测量数据：,电镀参数：,14ASF*90MIN,，纵横比,5:1,，,0.3MM,孔径测量结果,附表：,6,、深度能力测量数据：,电镀参数：,14ASF*90MIN,，纵横比,4.3:1,，,0.35MM,孔径测量结果,Thanks,