FM-67-005 安全关键作业及对应作业文件一览表-old.doc

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XX公司安全关键作业及对应作业文件一览序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 1. 外延区未按规定配备灭火器按规定定点配置与管理灭火器消防安全管理制度安全主任 2. 外延区电线短路及时更换老化破损电线穿墙、接缝处使用套管电气管理制度、动力部 3. 外延区外延岗位石英件破损定期更换石英件使用前检查外延车间安全操作要求 WI-91-007 外延工艺 4. 外延区外延岗位有毒特气的泄漏安装特气检测仪设置抽风指示标识外延设备安全配置与要求 WI-91-007 外延工艺 5. 外延区外延岗位冷却水接头未接好或阀门未开引起炉子超温定期检查接头、阀门安装冷却水报警装置外延设备安全配置与要求外延工艺 6. 外延区外延岗位密封圈损坏定期更换密封圈；安装负压检测开关外延设备安全配置与要求外延工艺 7. 外延区外延岗位镀金板烧熔溅到钟罩定期检查及时更换有黑点的镀金板外延安全生产操作规程外延工艺 8. 外延区外延岗位氢气大量泄露装氢气报警装置设立浓度超标排风连动使用防爆电器使用非铁器工具外延设备安全配置与要求外延安全生产操作规程外延工艺 9. 外延区配液及外延清洗酸液溅出配备防酸手套、眼镜规范操作外延车间安全操作要求 WI-91-007 外延工艺 10. 仓库。危化品储存风扇通风口没有遮蔽罩或遮蔽罩孔太大包装物或容器被老鼠咬破溶液逸出按规格装好遮蔽罩仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 11. 仓库。危化品储存危化品禁忌物同库存放按危化品配伍表执行仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 12. 仓库特气储存特殊气候雨水进入特气库与遇水反应的化学品接触关门窗遇特殊气候调整危化品位置仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 13. 仓库化学试剂:运送危化品禁忌物混合运输运输装车时按危化品配伍表执行仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 14. 仓库特种气体储存阀门或密封圈损坏泄露 A. 强制通风 B. 定期检查阀门有无泄漏. C. 不允许使用铁制工具； D. 气瓶带防护帽仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 15. 仓库特种气体储存阀门未带防护帽 A、气瓶带防护帽仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 16. 仓库特种气体储存气瓶承压不够 A.定期检定钢瓶；； B入库时检查钢瓶的有效期限。仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 17. 仓库特种气体储存库内气温高引起过压定期检查库内温度；采取降温措施。仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 18. 仓库特种气体:到货卸车跌落或不规范卸车按规定卸车,使用搬运工具 19. 仓库特种气体:空瓶储存空瓶气压低于标称值空瓶回收,拧紧阀门,盖好防护帽；空瓶标称压力大于0.05Mpa。仓库安全管理制度 WI-91-004 管理部 20. 送料特种气体:运送钢瓶运送时坠落专用搬运工具、限制、捆扎、固定危化品运送安全管理规定管理部 21. 送料特种气体:运送钢瓶运送时无保护套带保护套（目前没有）固定运输危化品运送安全管理规定管理部 22. 送料特种气体:运送遇水反应的特气雨天运送时沾水避免雨天运送若雨天运送时用防护罩密封防水处理危化品运送安全管理规定管理部 23. 设备部机械维修试机时触电在插座前安装一个漏电保护器设备维修安全管理规定设备部 24. 设备部手电钻、冲击钻无漏电保护器设置额定漏电动作电流不大于１５毫安、动作时间不大于０.１秒的漏电保护器移动式手动电动工具安全管理规定设备部 25. 设备部手电钻、冲击钻手电钻/冲击钻漏电定期测绝缘电阻：大于1兆欧移动式手动电动工具安全管理规定设备部 26. 设备部手电钻、冲击钻电线破损更换破损接线移动式手动电动工具安全管理规定设备部 27. 设备部设备开关更换更换时未断电操作前进线电源处用电笔测试做好防护措施或使用绝缘垫设备维修安全管理规定设备部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 28. 设备部设备开关更换在前级电源开关处未挂标志牌按规定悬挂表识牌设备维修安全管理规定设备部 29. 设备部真空设备高压维修断电维修时未对高压设备放电设置警示标志高压部位悬挂放电棒高压设备维修安全管理规定设备部 30. 设备部真空设备高压维修维修时未断电，进入高压区做好防护措施或使用绝缘垫高压设备维修安全管理规定设备部 31. 设备部真空设备高压维修试机或恢复时门未关试机或恢复时人在门外按规定设定监护人在明显位置设置警示标志高压设备维修安全管理规定设备部 32. 设备部真空设备高压维修试机或恢复时无监护人按规定设定监护人高压设备维修安全管理规定设备部 33. 设备部真空设备高压维修未查明高压状态进入维修操作人查明高压状态，监护人确认后方可进入维修高压设备维修安全管理规定设备部 34. 设备部维修溅射台未关闭射频电源高压设备维修安全管理规定设备部 35. 设备部干刻设备高压测试高压测试时人太靠近测试点测试时人必须在门外；测试仪器接线时确认高压已断电和已放电高压设备维修安全管理规定设备部 36. 设备部干刻设备高压维修维修时未对高压设备放电设置警示标志高压部位悬挂放电棒高压设备维修安全管理规定设备部 37. 设备部干刻设备高压维修维修时未断电做好防护措施或使用绝缘垫高压设备维修安全管理规定设备部 38. 设备部干刻设备高压维修试机或恢复时门未关试机或恢复人在门外按规定设定监护人在明显位置设置警示标志高压设备维修安全管理规定设备部 39. 设备部干刻设备高压维修试机或恢复时无监护人按规定设定监护人高压设备维修安全管理规定设备部 40. 设备部干刻设备高压维修未查明高压状态进入维修操作人查明高压状态，监护人确认后方可进入维修高压设备维修安全管理规定设备部 41. 设备部干刻电磁阀维修拆卸前未断电测试时人必须在门外；测试仪器接线时确认高压已断电和已放电特殊设备装置检修规定设备部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 42. 设备部干刻RF 电源维修拆卸时未断电在电源开关处挂牌、操作前先关空开，拔下插头、监护人再确认特殊设备装置检修规定设备部 43. 设备部干刻RF 电源维修试机或恢复时，外壳未装人员触电先装好外壳再开机监护人再确认特殊设备装置检修规定设备部 44. 设备部光刻维修拆激光发生器时未关机规范操作关电源后开机盖监护人再确认特殊设备装置检修规定设备部 45. 腐蚀清洗间腐蚀清洗岗位配液时酸液溅出操作时沿槽壁缓慢倒入；佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定 WI-75-709 湿法工艺 46. 腐蚀清洗间腐蚀清洗岗位放片时酸液溅起佩戴围裙，防护眼镜，袖套湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定 WI-75-709 湿法工艺 47. 腐蚀清洗间腐蚀清洗岗位有机物与无机物，酸与碱、氧化剂混放分类别隔离存放湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定 WI-75-709 湿法工艺 48. 扩散区换源大量BBr3接触水保持换源柜清洁干燥；缓缓倾倒、源溅出时，将源转移到干燥的强抽风处，人员撤离换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺 49. 扩散区换源抽风停止源气挥发戴自给式防护面罩、关紧操作窗口，停止作业、通知空调班恢复抽风、紧急疏散人员换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺 50. 扩散区换源换源未戴防护用具配自给式防护面罩按规定换源时须两人在场；换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺 51. 扩散区换源开关阀门失误特气误排一人操作一人确认、气柜设置管路图设置阀门开关标识换源作业指导书 WI-75-108 扩散工艺 52. 扩散区扩散炉氢气泄漏 H/O比例保护、点火温度保护、通氮气保护、炉口强制排风扩散设备异常处置预案扩散工艺 53. 扩散区扩散炉扩散炉超温设置温度报警、设置超温报警并有连锁装置、定期守炉巡视扩散设备异常处置预案扩散工艺 54. 干刻区换源更换过程误操作导致源气泄漏制定操作规范，对操作培训做到熟练上岗待定干刻工艺序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 55. 真空区换源阀门误操作源气大量泄漏 1、对阀门进行标识和编号 2、阀门开启方向和限位标识 3、一人操作一人监护 4、设置排风装置 NV3204注入设备维护规范 NV1080注入设备维护规范 NV3206注入工艺操作与设备维护规范 WI-75-302 WI-75-304 WI-75-306 真空工艺 56. 真空区注入过程开设备门开启设备门，人进设备区 1、规范操作 2、设置高压连锁装置 3、设置警示标志 NV3204注入设备维护规范 NV1080注入设备维护规范 NV3206注入工艺操作与设备维护规范 WI-75-302 WI-75-304 WI-75-306 真空工艺 57. 真空区注入后开设备门未对高压部位放电设置高压放电棒；设置放电警示标志 NV3204注入设备维护规范 NV1080注入设备维护规范 NV3206注入工艺操作与设备维护规范 WI-75-302 WI-75-304 WI-75-306 真空工艺 58. 真空区配酸、碱溶液操作配置酸液时酸液溅出佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套背洗工艺作业规范 WI-75-313 真空工艺 59. 动力机房空压设备储气罐腐蚀变薄每5年探伤检测每年除锈涂防锈漆压力设备与压力容器管理制度、动力部 60. 动力机房储气罐超压运行安装安全阀并定期放气检查；压力表定期检查压力设备与压力容器管理制度、动力部 61. 动力机房安全阀锈蚀或损坏定期送检或更换压力设备与压力容器管理制度、动力部 62. 动力机房电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘电气管理制度、动力部 63. 运行时的噪声 A、减少现场停留时间； B、戴耳塞。 64. 动力机房真空泵电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘电气管理制度、动力部 65. 动力机房空调柜电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘电气管理制度、动力部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 66. 动力机房电加热系统超温安装超温报警传感器并连锁加热装置；定期检查超温报警传感器待定动力部 67. 动力机房水泵及其系统电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘电气管理制度、动力部 68. 动力机房安全阀门损坏定期送检 69. 动力机房电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘电气管理制度、动力部 70. 制水车间制水设备氢氧化钠、酸溶液倾倒时的飞溅佩戴护目镜和防酸手套；规范操作超纯水制备反掺透系统作业指导书 WI-63-101 动力部 71. 制水车间设备控制柜触电/起火关好配电箱门；定期检查配电箱电气管理制度、动力部 72. 制水车间电机电机漏电接地保护电气管理制度、动力部 73. 污水站电机电机漏电接地保护电气管理制度、动力部 74. 污水站设备控制柜触电/起火关好配电箱门；定期检查配电箱电气管理制度、动力部 75. 污水站池边无防护栏设置护栏电气管理制度、动力部 76. 配电房未配戴安全帽作业配戴安全帽；作业时相互检查电气管理制度、动力部 77. 配电房操作时未使用绝缘用具及用品配戴绝缘用具及用品作业时相互检查电气管理制度、动力部 78. 配电房绝缘用具及用品没有定检按计划送检电气管理制度、动力部 79. 配电房配电房未设置警示标识设置警示标识电气管理制度、动力部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门 80. 配电房电工操作带电作业时无措施制定带电作业规范按规定设定监护人电气管理制度、动力部 81. 全厂汽车汽车带故障运行出车前例行检查、定期维护保养交通安全管理规定管理部 82. 全厂汽车司机违章驾驶定期交规学习、进行事故案例教育交通安全管理规定管理部 83. 全厂汽车在危险路段行驶车辆减速、谨慎驾驶交通安全管理规定管理部 84. 全厂汽车在恶劣气候条件下驾驶尽量减少出车、减速谨慎驾驶交通安全管理规定管理部 85. 全厂上班途中穿越道路定期交规学习交通安全管理规定管理部 86. 办公大楼电梯货梯人货混装张贴警示标识电梯安全管理规定管理部 87. 办公大楼电梯维修时门口没有围栏，人员误入坠落设置围栏或张贴警示标识电梯安全管理规定管理部 88. 福日股份制氢氢气爆炸定期提醒安全检查〈消防应急预案〉管理部 89. 全厂保洁员擦窗户高空坠落使用擦窗器、身体不得伸出窗外保洁员管理规定管理部 90. 全厂办公室电源插座损坏漏电定期检查电源插座，更换损坏的插座，尽量少用移动性的电源插座电气管理制度动力部 91. 全厂雷击设置避雷针（强电）、设置隔离装置（弱电）异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案生产部动力部 92. 全厂暴雨关窗、停止户外作业、检查排水系统异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案生产部动力部 93. 全厂台风关窗、转移物资、加固危险设施、停止户外作业异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案生产部动力部 94. 数据中心办公室网络布线高空坠落 A、登高作业前对设施检查 B、按规范作业电气管理制度动力部版次:1.0 编号：FM-67-005

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