干膜显影机作业指导书.doc

文件名称
干膜显影机作业指导书
制定日期
09年 05 月22日
文件编号
HY-P-W-35
版本
A 1
修订日期
10年 01 月30日

文件页次目录

文件名称：干膜显影机作业指导书 版本：A 1 修订日期：10年01月30日
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表格编号：HY-M-P-01-02A
1.目的:规范干膜显影机作业及生产品质.
2.适用范围：凡是已经曝光后(包含修退洗片)之线路板皆需经过显影机显影(退洗)。
3.职责:
3.1 工艺部负责工艺参数制定及维护、生产问题的解决，保证生产过程顺利进行；
3.2制作部负责设备日常操作、工艺过程及设备的日常维护及保养；
3.3维修部负责设备的维护及维修；
3.4品质部负责工艺过程、设备的维护和保养及生产品质的监控。

4.开机步骤：

4.1 显影机开机程序

打开总电源

打开立式收板机电源

按下各启动开关

生产前设备检查

开始生产(放板)

不良板判 收 板 标准板判
定依照作 定依照作
业说明6.2 业说明6.1
是
是否更
换料号

否

是
生产继续 生产中注意事项
依照作业说明6.3

否

关机程序

检查项目
检查方法
标准值
控制范围
检查者
QA确认
液位检查
检查各槽液位高度
30-35cm
30-35cm
操作员
QA
显影槽压力
查看显影槽上压力表指针位置
1.5Kg/cm²
1.5±0.3kg/cm²
水洗槽压力
查看水洗槽上压力表指针位置
1.5Kg/cm²
1.5±0.5kg/cm²
喷嘴检查
1.关掉上喷开关，调小下喷压力阀使喷出来的水柱约高约为20cm左右时查看各喷头是否有不喷水现象，有则输通
2.用同样方法关掉下喷开关检查上喷头是否有堵塞
3.同时开启上下喷嘴开关后调节压力阀使压力在标准值
无堵塞
上下各不能超过3个喷头堵塞并不能有两个在两个在同一条线上
输送轮
打开输送开关查看运转状况
顺畅、无停顿感
顺畅
烘开温度
开机后查看烘干温度显视器
45℃
45±5℃
显影槽液温
查看槽液温控器
30℃
30±2℃
显影槽浓度
将槽内搅拌好之药水用量杯装50-100ml送给化验室化验
1.0%
1.0±0.2%
显影点
1.取压好膜未曝光之板4-5Pnl在显影机各参数都正常情况下连接显影中间不能间隔，待第1Pnl刚露出显影槽时立即关掉显影机槽上下喷开关。板正常走到收板机时按照板的顺序走势连接排在一起测量所显干净之长度
2.计算公式：（显影槽长-显干净长）/显影槽长*100%

55%
55±5%

4.2 开机前检查如表：
5.开关机图片及步骤说明
5.1 开机图片如下

5.2 开关机步骤：开机依次按绿色按钮。关机依次按红色按钮。图如下：

6.作业说明：
6.1 标准板判定：线路不可有断短路及缺口、脏点、周期版别、正反面要正确、
成型线要足够、TENING孔不得孔破。
6.2 不良板判定：与标准板相反的板子拿至电镀组或内层线退洗重工。
6.3 生产中注意事项：
6.3.1 每批料号第一片要做仔细检查，及每生产一小时就需抽检一次，
　及更换下一套底片前之最后一片亦需抽检。
6.3.2 每小时检查设备重点：显影槽及各段水洗槽压力是否正常
6.3.3 板子在压膜完成后在48小时内全部显影送至电镀，避免造成Tenting孔
孔破。
6.3.4 显影机挡水滚轮每周清洗一次。
6.3.5 显影吸水滚轮每月更换一次。
6.3.6 吸水海棉轮每4小时清洗一次。
6.3.7 烘干段吹干段每12小时清洁一次。
6.3.8 放板时放在输送道中间不能超出两边之最大尺寸。
6.3.9 撕膜不良板不能再次显影，防止显影过度。
6.3.10 每小时检查底片有无刮伤及抽检板子给FQC检查若有发现固定断短路
则往前挑出来,知会曝光人员并贴上标签注明固定点,撕Mylar 人员在放
固定点的板子时通知PQC人员做修补或反工，避免问题板流入下工序。
6.3.11底片编号及套别全部禁止贴胶带，改用或修补刀刮除，避免贴胶
带地方太靠近线路造成吸气不良。
6.3.12如何确认是否于48小时内完成显影动作：压膜人员在压膜卡上注明压膜
完成时间，并随车移动。
6.3.13显影作业开始后需做氯化铜判定显影效果,后序作业每2小时做一次.
7.槽液配制及添加：
7.1 当槽基准
7.1.1 显影槽：每显影4000ft²±500ft²板子换槽一次。作业时自动添加每3Pnl添加1毫升药水。
7.1.2 水洗槽：水洗槽每12小时换槽一次，三段水槽总体积约为660升。作业时打开流量计300L/H，约2小时循环一次。
7.2 配槽：
7.2.1 配槽在建溶槽配：按1%的碳酸钠配槽，即990L加10kg碳酸钠,搅拌均匀后打至显影槽，再配一槽作添加用。
7.2.2 配槽方法：加水约660L时将搅拌打开，然后将需配的碳酸钠量慢慢倒入待水加满时关掉，继续搅拌15分钟。
7.3 当槽步骤：
7.3.1 先把显影药水放掉，再用清水冲洗槽底将残余干膜屑全部冲洗干净。
7.3.2 当建溶槽配好药水打至显影槽加热。
7.4 洗槽保养如表
保养项目
保养方法及步骤
保养频率
责任部门
备注
显影槽
1. 排掉显影液后加入2/3体积的水取出过滤网加入30L到主槽、10L硫酸到副槽，放回过滤网盖好后喷淋2小时
2. 排掉硫酸后加满水喷淋15分钟
3．排掉水后与酸洗方法一样用氢氧化钠洗1.5小时
4. 再次用清水洗15分钟
5. 检查喷嘴（每个）及更换棉芯
6. 加0.5%～1.0%碳酸喷淋30分钟
7. 配槽准备生产
每月一次
线路
加药水时要戴上防护器，注意安全。并先关闭电源取出过滤网才添加
水洗槽
1. 分别在三段水洗槽内加入2/3体积的水后分别在三段水洗槽内加入5kg硫酸，加水满至溢流口后喷淋2小时
2. 排掉药水后加满水喷淋15分钟
3. 加入溶解好的氢氧化钠分段，每段加5kg后喷淋2小时
4. 药水排掉后用清水加满并喷淋30分钟
5. 用水枪冲洗槽底及过滤网
6. 加满水待生产
每月一次
线路
加药水时要戴上防护器，注意安全。并先关闭电源取出过滤网才添加
烘干、吹干段
1. 用吸尘器吸出烘干、吹干段内之膜屑
2. 用酒精擦掉轮子上之膜屑
3. 用胶片或其它溥片输通风刀口使刀口不被堵塞
4. 清洗风机过滤网
每月一次
线路
先关掉电源
更换吸水海棉
取出旧海棉棒更换
每月一次
线路
先关掉电源

8.保养清洁维护
8.1 使用窗体如后所附
8.2 每周一早上当槽时需清洁滚轮。
8.3 每月洗槽后要清洁水洗段喷嘴(每一颗)。
8.4 每月洗槽后要清洁显影槽喷嘴（每一颗）。
9.显影人员自主检查程序表
自主检查项目
检查方式
检查工具
检查频率
检查标准
板面线路检验
1. 以目视方式检查
2. 以放大镜检查
目视
放大镜
高角镜
1. 新料号曝第一片抽检
2. 每小时抽检
1. 线路不得有缺口及断短路、脏点
2. 周期版别要正确，正反面需正确，成型线要足够
3. TENTING孔不得孔破；Mylar要撕干净
4. 对位
5. 线宽、线距±20％mil
10．突发事件处理
10.1 当停电时或卡板时先关掉电源，打开玻璃盖将板取出在水洗段内之板过水洗洪干后给QC检查，在显影段内之板作反洗处理,禁止将板经过烘干段因显影过度掉膜污染显影机，取板时轻拿轻放，避免刮伤。
10.2 机器发生故障时先关掉电源将状况反应给维修部修理并与停电的方式相同将板取出。
11．安全注意事项
11.1 添加药水时必须戴上口罩、手套、围裙，小心缓慢倒入槽内，防止药水溅到身上。
11.2 添加药水前必须关掉电源，防止触电。
11.3 机器在维修时严禁其他人在旁边动任何开关。

12 .相关表单：
12.1 干膜显影机维护/清洁保养/检查表
12.2 干膜显影产量暨自主检查表

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表格编号：HY-M-P-01-03A