氣體系統施工規範.doc

长沙创芯气体系统施工规范

气体系统施工规范

目 录

一、 工程内容
二、 作业程序
三、 工作环境
四、 材料检查
五、 材料储存
六、 进行步骤
七、 临时性棚
八、 测试检查
一、 工程内容：
本工程为责任施工，包括所有完成该项工程之一切必要配合工作及设备管线施工涵盖范围。
1）G-CDA、G-GN2、G-PN2、G-PO2、G-PH2、G-BA由主系统支干管之TAKE OFF VALVE连接至各生产机台设备的气体管线为止。
2）特殊气体- GS-NF3、GS-CL2、GS-HBr、GS-NH3、GS-CH3F、GS-SiH2CL2、GS-SiH4、GS-BCL3、GS-HCL、GS-30%O2/He、GS-SF6、GS-CF4、GS-CHF3、GS-C2F6、GS-AR、GS-HE、GS-CO2、GS-4%H2/N2O、GS-N2O、等系统有阀箱、柜(VMB/P)时，由阀箱、柜之出口阀(不含阀)接至各生产机台设备的气体管线为止。包括管线及TAKE OFF标示、加热带系统、VACUUM GAUGE安装及监控系统联机等软硬件施作。
3）管线的QA&QC工作，含加压及保压测试、氦测漏、微尘粒子测试、露点(水份)测试、残余氧气分析测试。
4）制程用GS-NH3、GS-BCL3 、GS-SiH2CL2管线加热追踪带及监控线及控制盘之配线及安装。
5） 设备需求表上所要求之过滤器、调压阀等阀组件之安装及固定。在这里所定义的管线涵盖范围由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机台设备的气体管线为止。
二、 作业程序
领 料
通 知
修 正
CDA、GN2
PROCESS GAS
SPECIAL GAS
GS-SiH4等（内EP 外 AP）
保压测试
PARTICAL测试
保压测试
PARTICAL
水分子测试
氧分子测试
氦测漏检验
内管保压24hr
内管氦测漏
外管配焊后：
内管PARTICAL
内管水分子测试
内管氧含量测试
外管保压
外管氦测漏

机台会勘
配 管
检 验
工安、厂务、USER、SUPPLIER、QC
送 气
工安、厂务、USER、SUPPLIER、QC
不合格

三、 工作环境：
协力厂商在工作现场需配置一临时洁净棚(CLEAN BOOTH)，且所有配管预作工作的操作基本上必须在此区域内完成，以避免外界不当污染。
1）此洁净棚必须维持且控制在以下的环境条件:
微尘数量(静态数，粒子小于0﹒5um)
切割工作区域 洁净度 10000
焊接工作区域 洁净度 1000
库房 洁净度 10000
2）条件—于焊接工作区域内，其温度为21℃(±5℃)，相对湿度为65﹪±10%。
3）气流—每小时循环5~10次。
4）环境—此环境棚内保持正压20pa以上，以阻绝微粒、油污及其它外来物质。
四、 材料检查：
1. 材料一经递送到施工单位则必须要立即就以其定单规格来检验是否合格。
2. 抽检这些材料的真圆度及粗糙度、抛光等级、端面平整度、内/外表面有无刮痕、斑点等等，决定是否验收。
五、 材料储存：
1. 配管材料储存与处理需按照规格、尺寸、质量区分，出库时需由监工确认，取出最低需要材料数量，并于管理簿内详细记录及签名。
2. 配管材料既始使有包装，也不可直接摆放于地板上。
3. 配管材料外包装需放置于洁净棚之工环境下至使用时方可拆封。
4. 需要现场临时摆放材料时，需事先通知监工确认后，并加以标示后方可放置。
六、 进行步骤：
为了维持完成后的洁净度在规定之水平内，气体供输的管线工作必须仅可能地小心去完成。
进行之步骤：
序号
项目
步骤
备 注
制造地点
1
材料检查
○
逐项检查各项材料是否符合订单上的规格
洁净棚
2
机械切割
○
切割至所需长度及使用机械加工端面
洁净棚中操作处理端部流程均为临时性
3
氩气冲洗
☆
充以氩气:喷冲并清理管子末端部份
4
焊接及安装
○
由通过资格检定的技师负责焊接相关工作
5
安装后检查
△
分段逐一检查
洁净棚中操作处理端部流程均为临时性
6
最后清洁
☆
清洁并以氮气不断喷冲已达洁净要求
7
防尘帽盖
☆
将管子两端覆以帽盖并以塑料套模包装
8
储存
○
整组封装好运送之
9
管线预作检查
○
检查预架设地点
于架设管线之现场进行
10
临时性架设
○
确定所切割之管材符合预先设计之长度
11
分区安装
△
摆设好并焊接之
12
检验工作
☆
外观目测、充以压力及进行气密试验
13
纯度提升
△
以纯氮气喷冲干燥
14
完成并测试
△
进行纯度测试
附注: ○---生产过程
☆---纯度维持及处理过程
△---检验过程
七、 临时性棚：
①临时性洁净棚装设在现场，以不影响他人动线为原则且须与业主协调空间。
②管路工作中，所有的预作管线部份均需在此临时性洁净棚内进行，因其有控制其微尘数。
③管线材料则需储藏于库房中，以避免规格有异变。
八、 测试检查：
(1)外观的目检工作
a. 检查管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件与工程图相符，以确定所完成的工作无误；而后，则贴上一指示流动方向、气体名称的标签。
b.确定支撑管线的支架安置无误。
c.确定各气体的管线确实连接到生产机台设备的每一需求点。
d.确定配管的工作不会损害其本身维护能力及美观程度。
e.检试其检验报告及管线的标记以确认管线的确依照所设计的规格及标准配设。
f.以肉眼目检管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件之外表，以确定没有遭受外来的损害、表面腐蚀或发生裂痕。

(2)焊接点的目检工作
a.焊接部份不可过度凹陷于金属底部。
b.金属底部不可有阶梯状凸起。

(3)锁入配件的外观目检工作
a.确定锁头安装与规格相符无误。
b.确定所有的配件均正确地旋入无误。
c.确定锁入配件的配管其弯管的半径需足可容许其帽盖的移出。
d.确定任任何一根短管均不会被过度地安装。
(4)暂压测试
a.在测试时需装设一经0.01μm过滤器过滤的氩气或氮气管线。
b.压力测试时所使用的暂压压力为正常供气状态使用压力之1.5倍，一般为9~10kg/cm2暂压测试时间为30min~1hr。
c.暂压测试进行之步骤为：管线内充满气体并达到测试时规定的压力时，开始就所有的连接阀及焊接处等较可能的漏点进行气泡式侦漏（snooping）；此一切相关之压力需确实记录。
d.充气体于所有管线在规定之压力及时间内，如果没有压力上升或下降发生，则视其为正常且通过测试。
e.根据压力记录仪上所显示的压力来记录其测试时使用之压力。

(5)保压测试
a.暂压测试通过后泄压至6~8kg/cm2，保压24hr。
b.于保压测试中，压力的记录乃是藉由使用压力记录仪来保压完成。
c.24hr后，从压力记录仪中读取的压力应为开始测试到结束并没有明显变化。
如果从压力记录仪中读取的压力从开始测试到结束并不相符，但由于开始测的室温并不同于结束时的温度，则需再考虑以下的一个温度校正公式，以决定此压力测试有无通过。
通过此项测试的准则是：如果压力的变化在开始测试时压力值的98%范围内，则视其正常且通过测试。

压力的保持率（ε）

ε=【（P2/T2）÷（P1/T1）】×100%

测 试
时 间
量测值
转换值的计算
压力
（kg/cm2G）
温度
（℃）
压力
（kg/cm2A）
温度
（°K）
开始测试
p1
t1
p1=p1+1.033
T1=t1+273
24小时
p2
t2
p2=p2+1.033
T2=t2+273

所有的测试均需以最有效率的方式进行；譬如以几个邻近的管线为一组搭配一个压力记录仪进行测试工作。
6. 记录暂压/保压测试的结果
1）在开始记录压力之前及完成测试后，将测试管线名称、起始及结束之压力值、时间、日期及室温等务必详实记载。
2）所有测试点的决定均需先经业主认可始可进行测试，而数据必须依测试点顺序填写，当测试结果经测试人员及业主认可签署后，其相关配管工作视为验收通过。
3）为避免业主勘验不便，测试时可以仪器打印记录表或拍照方式将需确认的位置存证之以代替当场之见证。
7. 纯度提升之过程
1）方法：
a. 在完成保压试验后，为提升管线内之纯净度，可采下列程序：
1. 冲吹
所有的主支干管均以纯氩气或氮气反复喷吹（purge），其使用气体的流速约为15~20m/sec。
2. 干燥
以纯氩气或氮气持续冲吹，冲吹压力以不超过各测试仪器最大入口压力为原则。
2）纯度测试
a. 微尘测试
1. 为了计算气体中所含的微粒数目，可于测试点出口处连接一微尘计算仪。此微尘计算仪一次印出的计算数值约等1立方英呎的气体所含微粒数；为确保数值可信，此数据需连续印出3次。合格标准详见8.10条验收标准。
2. 测试之气体必须经过0.01μm过滤器来滤过惰性气体（氮气或液态氮），气体来源纯净值必须≦1pcs/ft3。
3. 使用气体压力7~10㎏/㎝2的气体（氮气）对管路作冲吹，并同时用手或不至损伤管件的工具轻拍管件、阀等，促使微尘粒子排出管外，时间至少在30分钟以上。
4. 如管路为多气口，须对每一出气口作独立测试。
b. 露点测试（微水分测试）
1. 使用气体氧份纯度必须在10PPB以下或经过纯化器予以滤过氮气或同等纯度之气体。
2. 将测试管路或盘面进气孔接上气源，将测试管路或盘面上所有阀件打开。
3. 使用设计压力之气源来Purge所要测试之管路，此Purge程序至少须维持30分钟以上。
4. 气体管路衔接水份分析仪SENSOR前，必须将衔接测试管路至少Purge 5分钟以上，让衔接管路内之水分随Purge气体流出。（注意：气体管路之出气口衔接水份分析仪SENSOR时，Purge气体必须是在流通的状况下，且水份分析仪必须是在开机的状态下）
5. 测试时依水份分析仪测试数值的状况，同时进行测试与Purge，直到测试值达到标准数值（10PPB以下）才算合格。
c. 微氧分析
1. 使用气体氧份纯度必须在10PPB以下或经过纯化器予以滤过氮气或同等纯度之气体。
2. 使用设计压力之气源来Purge所要测试之管路，此Purge程序至少须维持30分钟以上。
3. 气体于接上设备前必须将衔接管路Purge至少5分钟以上。
4. 经过Purge的衔接测试管路，衔接上微氧分析仪后，打开微氧分析仪电源。
5. 测试时依微氧分析仪测试数值的状况，同时进行测试与Purge，直到测试值达到标准数值（10PPB以下）才算合格。
8. 氦测漏：
1）管路抽真空前注意管路内压是否已回复常压。
2）使用氦气测试接点管路内真空数值须达到1×10-9atm.cc/sec。
3）所有管路焊接点与衔接点须喷以氦气测试。
4）如要破真空需先以氮气注入管路直至管内压成为正压，始可松开接头，以防大气中之particle进入管内。
9. 验收标准
1） 必须符合上述条件并就违反或不符合规定之项目（举具体事证）配合重新施工至规范标准，因此而衍生出之成本增加及进度延误一律由协力厂商自行吸收。
2）所有使用之材料均须合于规定并有防污染洁净包装，另须附原厂检验报告。
3）包装破损及无法符合业主规定之材料或设备一律不得使用，并由业主保管至工程结束再行发返。
4）所有完工之管路每隔2公尺及转弯前后须挂牌或贴该流体之种类、流向之标签；VMB/VMP及其它阀件须加挂开关示牌，VMB/VMP均须加挂名牌；上述名牌须符合洁净室要求之压克力材质，上述管路卷标文字、箭头、底部之颜色及尺寸大小须符合业主规定。
5）现场目视检查如焊道、外观、支撑架、螺栓螺帽、维修空间、配管整齐度及清洁度。
6）所有配管焊接应于每天施工前，先行施作该管径之试片，并须填写焊接机之参数；合格试片及数据经监工人员检验合格后，施工人员才可开始施工。并于各管路标示施作人员编号做为追踪依据。
7）所有VCR螺帽于确定不会再拆卸且作最后复原安装完毕后，须锁紧Gasket再于泄露侦测孔标示圆圈标记。
8）焊接之purge gas必须使用高纯度氩气（99.999％以上，须附该气体出厂检验报告），施工完成后所有管路需用超高纯度氩气或氮气24小时不间断冲吹，并将排气接至室外避免人员窒息危险。
9）配管之质量检验测试（QC TEST）于开始及结束时须有业主及工程师或经授权之代理人在场签证于记录表后始生效。测试分析仪需由承商自备且需提供仪器最近一年内之校正报告。
10）测试合格标准
测试项目

气体/单位
PRESSURE
LEAK TEST
㎏/㎝2G
HELIUM
LEAK TEST
atm.cc/sec
PARTICLE
TEST

MOISTURE
TEST
ppb
O2 ANALYZE
ppb
BULK GAS
GN2
≧7㎏/㎝2
N/A
0.2μm pcs/scft≦1颗
N/A
N/A
G-PH2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
G-PN2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
G-PO2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
SPECIAL GAS
GS-NF3
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-CL2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-HBr
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-NH3
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-CH3F
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-SiH2CL2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-SiH4
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-BCL3
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-HCL
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-30%O2/He
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-SF6
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-CF4
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-CHF3
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-N2O
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-C2F6
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-Ar
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-He
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-CO2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
GS-4%H2/N2
≧7㎏/㎝2
1×10-9
0.1μm pcs/scft≦1颗
≦10 ppb
≦10 ppb
备注：
（1） Pressure Leak Test：
甲、 BULK GAS持压时间：6小时。
乙、 SPECIAL GAS持压时间：24小时。
（2） Particle Test：每张纪录十分钟，连续3张。
（3） Moisture & O2 Analyze：到达标准值时，连续纪录15分钟。
（4） P.O.U：以串联或并联方式测试
11）自主检查表

窗体编号：
GAS系统管路完成检查表
机台编号：
ID 编号：
工程名称： 施 作 承 商：
工程项目：二 次 配 工 程 管路完成日期：
承包厂商： 填 表 日 期：
项次
检 查 事 项
良好
异常
异常处理情形
覆检
1.
管材阀件厂牌、型式、规格、尺寸正确。

2.
Take off与机台衔接点正确。

3.
管路无歪斜、变形。

4.
管路支架垂直、水平固定良好。

5.
管路外观清洁无锈痕。

6.
阀件或阀盘依设备需求表安装正确。

7.
配管位置、路径、高度恰当。

8.

管路标示及挂牌明确。

9.
Turn on前资料准备齐全。

保压
He Test
Particle
H2O
O2
SPEC

㎏/㎝2

Atm/s

μm

ppb

ppb
实际

㎏/㎝2

Atm/s

μm

ppb

ppb
11.
测试报告如附件
缺失说明及批示：
设备单位
厂务单位
监造单位
施工厂商