微纳测试实验教学大纲.doc

大学生电脑主页 —— —— 大学生的百事通
《微纳测试》实验教学大纲
实验类别：课内实验      实验课程名称：微纳测试
实验室名称：微纳器件与测试实验室 实验课程编号：06060218、03060206
实验学时：14                  
适用专业：电子科学与技术、微电子学
先修课程：微电子学概论、MEMS CAD、MEMS设计、MEMS 工艺
一、实验在教学培养计划中的地位、作用
本实验课程是微纳测试课程的补充，可以使学生在学习掌握微纳测试基础上，使学生了解微纳测试技术的发展、微纳测试技术的分类、微纳测试技术的原理及在微机械学、应用物理、材料等领域中的开发及应用前景等内容；培养学生分析处理一般微纳测试问题、独立进行微纳器件与系统的测试实验的能力。
二、实验的内容、基本要求
实验一 利用拉曼光谱仪进行微纳结构的残余应力测试（3学时）
内容：
1、利用拉曼光谱仪对给定微机械样品进行应力测试
基本要求：
1、了解拉曼光谱仪的组成及测试的基本原理
2、掌握拉曼光谱仪进行应力测试的基本方法
实验二 利用扫描探针显微镜进行结构形貌测试（3学时）
内容：
1、利用扫描探针显微镜对给定微机械样品进行形貌测试
基本要求：
1、了解扫描探针显微镜的组成及测试的基本原理
2、掌握扫描探针显微镜进行结构形貌测试的基本方法
实验三 利用Polytec进行结构形貌测试（3学时）
内容：
1、利用Polytec对给定微机械样品进行结构形貌测试测试
基本要求：
1、了解Polytec白光干涉仪的组成及测试的基本原理
2、掌握Polytec白光干涉仪进行结构形貌测试及运动测试的基本方法
实验四 利用半导体特性分析仪进行电性能测试（3学时）
内容：
1、利用半导体特性分析仪对给定微机械样品进行I－V特性测试
基本要求：
1、了解半导体特性分析仪的组成及测试的基本原理
2、掌握半导体特性分析仪进行I-V特性测试的基本方法
实验五 利用扫描电子显微镜进行结构形貌测试（2学时）
内容：
1、利用扫描电子显微镜对给定微机械样品进行形貌测试
基本要求：
1、了解扫描电子显微镜的组成及测试的基本原理
2、掌握扫描电子显微镜进行结构形貌测试的基本方法
实验六利用振动台、离心机进行器件的性能测试（选做 3学时）
内容：
1、利用振动台、离心机进行器件的力电耦合性能测试
基本要求：
1、了解振动台、离心机的组成及测试的基本原理
2、掌握振动台、离心机力电耦合性能测试的基本方法

三、学时分配

实验名称
实验性质
讲授（学时）
实验（学时）
小计
利用拉曼光谱仪进行微纳结构的残余应力测试
设计

3
3
利用扫描探针显微镜进行结构形貌测试
验证

3
3
利用Polytec进行结构形貌测试
验证

3
3
利用半导体特性分析仪进行电性能测试
验证

3
3
利用扫描电子显微镜进行结构形貌测试
综合

2
2
利用振动台、离心机进行器件的力电耦合性能测试
综合

4
4
合计

18
18

四．学生成绩评定方法
预习报告：占总成绩20％
操作成绩：占总成绩50％
报告成绩：占总成绩10％
考试成绩：占总成绩20％

【本文由大学生电脑主页[ ]—大学生的百事通收集整理】
大学生电脑主页 - – 大学生喜欢的都在这里