干式真空泵维护说明.doc

Drystar DP250干式真空泵维护说明（初稿）
编制：李浩（2006-6）
1、 说明：

此泵是一个正向排水的三层旋转泵，其中有几对咬合的转轴（安装在共同的轴杆上），这些转轴通过调速齿轮来保持正确的相位关系，调速齿轮和邻近的双排角形接触滚珠涂有润滑油。
1.1 轴杆封口清洗管
清洗管（17）对轴杆封口进行氮清洗，此氮清洗可以确保在泵运行期间轴杆封口保持正压力，防止腐蚀性或毒性工艺气体进入泵的变速箱；防止泵油造成工艺气体污染；防止碎片损坏轴杆封口。
1.2 温度控制系统
此泵有一个间接的冷却系统，冷却液因自然对流而流过泵体；随后流过热交换器（21）中的副圈。在热交换器中，冷却液中的热量被流经热交换器中主圈的冷却水吸收。 泵体有一个冷却液溢出管（19），当泵体温度升高而导致冷却液膨胀时，多余的冷却液可能被从此管压出。
在运行过程中，TCV（温度调节控制阀7）会控制流向热交换器的冷却水，从而使泵温稳定不变，泵马达（12）由空气冷却。
1.3 压力安全阀
DP250有一个压力安全阀（26），安装在泵出口最下层之间的管子中。该阀在通常情况下因自重而闭合。当DP250泵入口压力达到或超过300mbat(3×104Pa)，层间压力迫使该阀打开。这样一来，工艺气体就直接从第二层达到泵出口，而不用在泵的第三层进行压缩。当泵入口压力低于上述值时，层间压力较低，该阀处于闭合状态。工艺气体先在第三层被压缩，然后才达到泵出口。
1.4 转矩限制器
DP250泵有一个转矩限制器。联结器轴（16）安装在泵轴杆（17）上，传动轴（5）安装在马达轴杆（7）上，活动的传动联结器短消（18）安装在联结器轴上。紧挨着传动轴上的传动爪（4）。泵马达（12）通过转矩限制器来驱动泵转轴。当所需的泵转轴转矩过大时（例如，当泵中意外充满工艺液体时），转矩限制器自动松开。当转矩限制器松开时，将使泵马达和泵分离，而且泵马达不再驱动泵转轴。这样就可以防止损坏泵的机械装置。当转矩限制器松开时，泵马达将继续运行，不过泵马达所消耗的电流将明显降低。应观察电流表上的电流显示，以便确定转矩限制器是否松开。当转矩限制器松开时，应关闭泵马达，在分离状态下运行时可能会严重磨损转矩限制器。
2、技术数据
2.1 预热时间： 45分钟（以达到泵工作温度55℃）
冷却时间： 3小时（以达到安全维护温度）

2.2性能数据
最大泵速，m3/h
260
排水量:m3/h
315
最终真空：mbar
4×10-1
最终真空，Pa
40
最大出口压力，barbs
1.15
最大出口压力，Pa
1.15×10 5
2.3机械数据
尺寸

重量（不包括马达）：kg
800
冷却液容量（L）
15.75
冲洗泵腔所需的清洁液（L）
8.5
2.4电气数据
电源标称频率,Hz
50
典型的泵转速,rmin-1
2940
泵马达功率,KW
11.0
2.5轴杆封口清洗氮供应
轴杆封口控制压力
0.3-0.5bar,大于排气后压力
2.6温度控制系统
TCV最高传感温度
10~90℃，现设定为80℃
2.7冷却液类型
它以纯丙烯为主要原料,既是防冻液也是防腐液.
冷却液都不含胺,并且必须按体积用水稀释为35%到50%以提供必需的冷却保护.
2.8润滑数据
变速箱

油量:最小（L）
3.35
油量:最大（L）
3.85
推荐使用的油(提供)
MobilSHC629
高真空轴承

油脂类型
Perfluoropolyether
推荐使用的油脂
Fomblin CR861
2.9连接尺寸
泵入口连接
3″-150 lb
泵出口连接
2″-150 lb
轴杆封口清洗氮入口
1/4″
冷却水入口
1/2″
冷却水出口
1/2″
中层和气囊清洗口类型
1/2″

3、 日常维护
3.1冷却液的添加
冷却液的添加必须在泵停机后温度达到常温时进行。将混合的冷却液通过填注管(4)注入泵中直到冷却液从热交换器的排放口溢出为止,然后在排放塞螺纹上(图1中的项目20)涂抹合适的密封剂以重新固定排放塞.参见图3.将混合的冷却液通过填注管(4)注入泵中,直到冷却液液位(6)距离填注器颈(5)底部大约25mm.。重新盖上冷却液填注器盖（１），向下按并顺时针旋转盖以将固定在泵上。
3.2润滑油的添加
使用泵之前，检查变速箱油位是否正确，以找到泵上两个油位目视镜的位置。油位必须位于两个油位目视镜（见图的细节位置Ａ）基座上的MIN和MAX标记之间。
3.3检查泵旋转方向
取下联结器保护盖。在带有转矩限制器的泵上观察转矩限制器盘（图10中的项目2、3、6），打开泵1或2秒钟，然后关闭泵。在取下联轴器保护盖的情况下操作泵时，应采取适当的预防措施以防止旋转的转矩限制器/联结器轴造成伤害。转矩限制器盘或联结器轴没有按正确的方向（如图马达上的箭头所示）旋转，则旋转方向不正确。通知电气重新接线。检查旋向后重新装好联结器保护盖。
3.4检查轴杆封口清洗氮供应
该泵使用外径为1/4英寸的不锈钢管来供应氮封。每当泵运行时轴杆封口清洗氮供应都打开。每当泵停止时轴杆封口清洗氮供应都关闭。检查轴杆封口清洗氮压力表（8）上的压力介于0.34和0.48bar之间，高于排气后压力，如果需要调节压力：松开氮压力调节器（12）后部的防松螺母（14），旋转调节器（13）直到压力表上显示所需的压力。拧紧防松螺母（14）。
4、开车准备
4.1将泵与工艺系统隔离开。
4.2打开冷却水供应、轴杆封口清洗氮供应和排气系统。
4.3检查供水系统、供氮系统以及排气系统连接管中没有任何泄漏，密封好所发现的任何泄漏处。
4.4将TCV（1）上的调节器旋扭旋转到“0”位置。检查冷却水流量指示器（11）中的球是否移动，如果移动，则表明有冷却水流过冷却水流量指示器。
4.4将TCV调到需要的泵工作温度，参见下表中泵工作温度为65℃时的TCV设置。
最低工作稳定
45℃
最高工作温度
90℃
泵工作温度65℃时的TCV位置
4
4.5开泵
5、操作安全
警告：请遵守下面给出的安全说明。
5.1在运行过程中，泵的部件可能高温，在异常条件下，泵体温度可能达到150℃。确保不要接触泵。
5.2不要在拆除联结器保护盖的情况下操作泵。否则，机械旋转装置将有可能导致人员伤亡。
5.3如果带有转矩限制器的泵位于Zone1危险区域中，则在转矩限制器已经松开并且泵马达和泵分离的情况下，不要让泵马达的运行时间超过8小时。否则，可能会因转矩限制器的温度过高而导致火灾或爆炸。
5.4检查变速箱油位并加油。变速箱可能受到压力。要取下油填注塞，应缓慢松开塞直到看见通风孔，让变速箱与大气相通以降低变速箱中的压力，然后完全松开并取下油填注塞。如果不这样做，热油（最高90℃）可能会在压力作用下从变速箱中喷出而造成人员伤害。
5.5注意如果需要经常向变速箱中加油或者突然损失大量油，则说明泵可能有故障。在这些情况下，我们建议尽快关闭泵。
5.6添加冷却液时，在取下冷却液填注器盖之前，应让泵冷却下来并释放冷却套管中的压力。如果不这样做，冷却套管中可能会喷出很热的冷却液并导致人员受伤。
6、巡检检查项目
6.1检查泵变速箱油位是否位于两个油位目视镜基座上的MIN和MAX标记处。
6.2检查管路和连接管
6.2.1检查所有冷却水管路和连接，查看它们是否已被腐蚀或损坏。更换已经腐蚀或损坏的管子和连接。检查所有冷却水连接是否牢固。拧紧松开的连接。
6.2.2检查所有氮供应管露和连接管：查看它们是否已被腐蚀或损坏。更换已经腐蚀或损坏的管子和连接。检查所有冷却水连接是否牢固。拧紧松开的连接。
6.2.3检查所有电缆：查看它们是否损坏或太热。更换已经损坏或太热的电缆。检查所有电 气连接是否牢固。拧紧松开的连接。
6.2.4检查所有工艺和排气管路：查看它们是否已被腐蚀或损坏。更换已经腐蚀或损坏的管子，检查所有工艺和排气连接是否牢固。拧紧松开的连接。
6.7检查冷却液液位并填注冷却液。
6.8检查冷却水和氮气流量指示器中小球是否升起旋转。
6.9检查电流表显示值，防止转矩限制器松开。
6.10检查泵温、出口压力及振动等运行状况。