KT1000PV for 四川说明用20110906(最终)CN.pdf

KT1000PV 装置 紹介資料装置 紹介資料2011年9月6日Kanken北京康肯環保設備有限公司北京康肯環保設備有限公司 尾气处理气体尾气处理气体种类及流量种类及流量处理效率及排气浓度处理效率及排气浓度 尾气处理气体尾气处理气体种类及流量种类及流量处理效率及排气浓度处理效率及排气浓度气体名称最大流量/台平均流量/台气体DRE排气浓度PN2100100单台非晶PECVD设备使用的气体种类及峰值流量如下表所示：单台非晶PECVD设备使用的气体种类及峰值流量如下表所示：Purge N2100100H2209H299%1000ppmAr121SiH463SiH499.9%5 ppm20%GeH4/H22.50.07GeH499.9%0.2 ppm20%PH3/H220.04PH399.9%0.3 ppm3%TMB/SiH420.03TMB99.9%0.3ppmCH4161CH4161CH499%1000ppm废气7030SiO21mg/m3，且粒径0.5mtotal flow230.5144.14 設備設備構成構成 設備設備構成構成FAB1 安装42台非晶PECVD设备，FAB2安装42台非晶PECVD设备PECVD設備：7台6Sets42台PECVD設備：7台6Sets42台KT1000PV：反応器Unit6台集塵機Unit6台KT1000PV：反応器Unit6台集塵機Unit6台流程流程图图流程流程图图全体平面图全体平面图集集尘尘器外形器外形图图集集尘尘器外形器外形图图反反应应炉外形炉外形图图反反应应炉外形炉外形图图 設備設備仕様仕様 設備設備仕様仕様1 反应炉单元最大流量要求流量最大流量要求:H2流量1000 Liter/minN2流量1600 Liter/min(仅只有N2时)*需提供工艺设备处的SiH4和H2的on/off信号.可处理气体:H2,SiH4,GeH4,PH3,B2H6,TMB,CH4 etc.加热器最大功率33 75 kW加热器最大功率:33.75 kW 温度范围:600 1,100 (最高1,300)工艺气体进气口：4个（用备）进气管道规格:50A4（日标）10K 法兰形式排气管道规格10”（日标）10K 法兰形式排气管道规格:10”（日标）10K 法兰形式外形尺寸:2,700W x 1,600D x 2,700H mm净重:约2,500 kg2 集尘器单元2 集尘器单元最大流量:53 m3/min气体通过集尘器的最高温度:180进气管规格250（日标）10K 法兰形式进气管规格:250（日标）10K 法兰形式排气管道规格:500（日标）外形尺寸:2,500W x 2,500d x 6,500h mm(含过滤器单元、排气风机和控制箱)净重（单台）:约2,000 kg 设备动设备动力力规规格格 设备动设备动力力规规格格設設備備名名称称动力动力设计值设计值运行值运行值設設備備名名称称动力动力设计值设计值运行值运行值供电AC380V,50Hz,399kVA*(1)约25kW(非工艺生产时)约7kW(工艺生产时)反应炉单元反应炉单元冷却水0.3 Mpa水温35全硬度60100 LPM 约20 LPMN2氮气0 4 MP0 8 MP50 LPM10 LPMN2氮气0.4 MPa-0.8 MPa50 LPM10 LPM处理后排气最大53 m3/min箱体排气5 m3/min緊急排气系统緊急排气系统紧急用氮气0.5 MPa-0.8 MPa1000 LPM1000 LPM集集尘尘器器单单元元供电AC380V,50Hz,349kVA*(1)15kW集集尘尘器器单单元元CDA（压缩空气）0.5 MPa-0.8 MPa1000 NLPM500 NLPMKT1000PV原理介绍KT1000PV原理介绍从CVD工艺设备过来的废气SiH4 H2 etc在最终排气前，通过稀释空气将排气冷却至100，并通过排气风机排出稀释空气入口工艺设备风机排气风机SiH4,H2 etc.反应空气从此处进入集尘器单元集尘器单元粉在被住风机不锈钢管反应炉单元反应炉单元集尘器单元集尘器单元处理后废气中的粉尘在此处被挡住，并收集在集尘袋中。通过电加热器使反应炉温度达到800左右，使得废气在反应炉内与反应空气中的氧气发生如下反应：SiH4+O2 SiO2氧化铝陶瓷SiH4+O2 SiO22H2+O2 2H2O风机电加热器：陶瓷纺织物风机通过风机往反应炉内提反应所生成的粉尘（如SiO2）被收集在不锈钢本体结构钢本体通过风机往反应炉内提供冷却用常温空气，用来冷却处理后的气体此处的集尘袋内。集尘袋可更换。反应炉单元反应炉单元反应炉单元反应炉单元尾气处理入口排气出口Bk U逆火検知Back Up电加热刮刀反应空气风机反应炉电加热反应空气风机冷却风机热热酸化分解酸化分解反应式反应式热热酸化分解酸化分解反应式反应式酸素混入厳禁！酸素混入厳禁！H2+1/2 O2 H2OSiH4+2 O2SiO2+2H2OSiH4+2 O2 SiO2+2H2OPH3+2O2 1/2 P2O5+3/2 H2OCH4+2O2 CO2+2H2OGeH4+2O2GeO2+2H2O+反応熱+反応熱GeH4+2O2GeO2+2H2OTMB（B（CH3）3）+6O2 1/2 B2O3+3CO2+9/2 H2O通过H2和SiH4信号控制通过H2和SiH4信号控制如果信号与排气不一致，无法正常安全处理如果信号与排气不一致，无法正常安全处理反应炉反应炉反应炉反应炉45 0尾气处理 生成熱尾气处理 生成熱35.0 40.0 45.0 Heater負荷多少20.0 25.0 30.0 W/hr多少10.0 15.0 0.0 5.0 1234567PECVD稼働台数稼働台数PECVD稼働台数稼働台数H2燃焼生成熱燃焼生成熱SiH4燃焼生成熱燃焼生成熱CH4燃焼生成熱燃焼生成熱合計生成熱合計生成熱CVD运行台数（运行台数（DEPO-Gas量）越多量）越多Heater負荷越少負荷越少电热电热，保护管保护管交换周期交换周期电热电热，保护管保护管交换周期交换周期現在変更現在変更电热陶瓷管两年年特殊陶瓷保护管陶瓷管一年一年金属保护管半年八月特殊陶瓷保护管陶瓷管电热电热金属保护管电热1414集集尘尘器器集集尘尘器器GAS OUTLETCDA逆洗GAS OUTLET逆洗GAS INLET濾布濾布粉尘回收罐排气风机粉尘回收罐KT1000PVKT1000PV-S S 設定値設定値KT1000PVKT1000PV S S 設定値設定値項 目設定値正常範囲項 目設定値正常範囲反応器設定温度830650950反応器設定温度830650950Heater温度1450以下反応器入口圧力0.1Pa以上入口温度120以下入口温度120以下出口温度15050集塵器入口圧力-1.0 Pa0.5Pa集塵器差圧1 0Pa01 2Pa集塵器差圧1.0 Pa01.2Pa動作状態信号内部资料内部资料 Confidentiality項目設定値（初期）動作状態信号判定H10-12M3M4SV11AV21AV23AV22SV100111：出力ON：出力OFF電磁弁弁弁弁ALMXTBLXTMTXITHX項目設定値（初期）判定反応炉反応冷却窒素用電反応弁入口圧力N2弁警報A異常除害可入口温度高通常時全停止中集塵機運転中窒素中1昇温運転中212除害運転中2123冷却運転中2123冷却運転中2123軽故障瞬停警報2sec2123反応器高温警報1200（5sec）42123窒素圧力低警報0.2MPa（5sec）2123入口圧力高警報-0.20kPa（10sec）2123反応器低温警報600（5sec）2123反応器昇温警報（昇温運転中）4Hr212反応器昇温警報（昇温運転中）PLC電池低下警報2123反応流量低警報SP2（30sec）2123断線警報2123排気温度高警報230（30sec）2123停電異常瞬時5反応器高温異常1200（5sec）223重故障窒素圧力低異常0.2MPa（10sec）22入口圧力高異常-0.10kPa（10sec）223反応器低温異常550（5sec）223反応流量低異常SP2（30sec）223反応器漏電異常100mA223冷却異常7.9A22反応異常24A3反応異常2.4A3排気温度高異常250（5sec）223集塵機重故障異常入口温度高異常120緊急停止内部内部资资料料 Confidentiality2）弁SV107SV207）信号内部内部资资料料 Confidentiality排気M1（M2SV100S（SV200S判定項目設定値（初期）軽故障ALMX重故障TBLX運転TMTX運転停止中運転中6CDA圧力低警報0.2MPa（5sec）6軽故障排気警報6差圧高警報2.5kPa（30sec）6粉上限警報（30sec）6入口圧力高警報-1.0kPa（30sec）6重故障停電異常（保安電源）瞬時排気異常29.5A重緊急停止异常状态下设备处理流程：异常状态下设备处理流程：CVD7台台CVD7台台CVD7台台CVD7台台开闭开闭CVD7台台CVD7台台应急排气CVD7台台CVD7台台应急排气应急排气应急排气反应炉A反应炉B反应炉A反应炉B異常時異常時ABAB集尘器A集尘器B集尘器A集尘器BFANFANFANFANN正常运行N号机GEMINI运行异常状态下设备处理流程：异常状态下设备处理流程：CVD7台台CVD7台台CVD7台台CVD7台台开闭开闭CVD7台台CVD7台台应急排气CVD7台台CVD7台台应急排气应急排气应急排气反应炉A反应炉B反应炉A反应炉B異常時異常時ABAB集尘器A集尘器B集尘器A集尘器BFANFANFANFANN正常运行N入口温度高異常時运转时注意事项运转时注意事项运转时注意事项运转时注意事项尾气管道里尾气管道里不可以混入空气或氧气不可以混入空气或氧气尾气管道里尾气管道里不可以混入空气或氧气不可以混入空气或氧气特别是，维护VD与Dry Pump时、要关闭阀门。不可以有信号不同的运转操作，特别是，维护VD与Dry Pump时、要关闭阀门。不可以有信号不同的运转操作，不可以随意改变气体量（包括氮气）不可以随意改变气体量（包括氮气）处理不充分，Heater等的負荷增大，寿命缩短。改变气体量时，请联络厂商进行调整。处理不充分，Heater等的負荷增大，寿命缩短。改变气体量时，请联络厂商进行调整。定期对反应炉内部检查，清扫。及时更换集尘袋。定期对反应炉内部检查，清扫。及时更换集尘袋。集尘器压差上升时，实施点检。排気風量減少、反応炉入口圧力上昇、会有发生逆火等。集尘器压差上升时，实施点检。排気風量減少、反応炉入口圧力上昇、会有发生逆火等。实施日常点検、如果有異常时、及时联络厂商。实施日常点検、如果有異常时、及时联络厂商。谢谢您！谢谢您！内藤