JEM-2100透射电镜系统培训_170页.pdf

JEMJEM-21002100培训资料培训资料第一篇第一篇第一篇第一篇透射电镜系透射电镜系透射电镜系透射电镜系统解析统解析统解析统解析系统解析分类系统解析分类系统解析分类系统解析分类 真空系统真空系统 高压系统高压系统 电子光学系统电子光学系统 特殊功能应用特殊功能应用第一章第一章第一章第一章真空系统真空系统真空系统真空系统 机械泵解析机械泵解析 扩散泵解析扩散泵解析 离子泵解析离子泵解析 抽真空时序解析抽真空时序解析 真空规解析真空规解析1.1.机械泵解析机械泵解析机械泵解析机械泵解析 工作过程工作过程：吸气吸气压缩压缩排排气气。机械泵油起润滑，密封和堵机械泵油起润滑，密封和堵塞缝隙的作用塞缝隙的作用。机械泵不工作时，应使进气机械泵不工作时，应使进气口处于大气状态，以防止返口处于大气状态，以防止返油。油。由于极限压强较高由于极限压强较高，常用做常用做前前级泵级泵(预抽泵预抽泵)。旋转机械泵剖面图2.2.扩散泵解析扩散泵解析扩散泵解析扩散泵解析1.水冷套；2.喷油嘴；3.导流管；4.泵壳；5.加热器 工作过程：油蒸发工作过程：油蒸发喷射喷射凝结，凝结，重复循环重复循环 由于射流具有工作过程高流速由于射流具有工作过程高流速(约约200200米米/秒秒)、高密度、高分子量、高密度、高分子量(300(300500)500)，故能有效地带走气体，故能有效地带走气体分子分子。扩散泵不能单独使用，一般采用机扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强械泵为前级泵，以满足出口压强(最大最大40Pa)40Pa)，如果出口压强高于规如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止定值，抽气作用就会停止。3.3.离子泵离子泵离子泵离子泵(溅射离子泵溅射离子泵溅射离子泵溅射离子泵)解析解析解析解析 工作过程：气体分子电离潘宁工作过程：气体分子电离潘宁放电离子轰击钛溅射化学吸放电离子轰击钛溅射化学吸附及掩埋吸附分子附及掩埋吸附分子 由于使气体分子电离并在阴极钛由于使气体分子电离并在阴极钛板上形成溅射并提供活性的钛金板上形成溅射并提供活性的钛金属进行属进行1).1).化学吸附化学吸附2).2).掩埋吸附在掩埋吸附在阳极筒吸附分子以及阴极的边角阳极筒吸附分子以及阴极的边角部分的惰性气体分子，故吸收气部分的惰性气体分子，故吸收气体分子。体分子。离子泵一般采用扩散泵作为前级离子泵一般采用扩散泵作为前级泵来提供泵来提供1010-3 3PaPa的启动压强。且的启动压强。且一旦进入正常工作压强，离子泵一旦进入正常工作压强，离子泵应与前级泵隔应与前级泵隔开。开。离子泵的氩不稳定性：溅射离子泵在排除氩等惰性气体离子泵的氩不稳定性：溅射离子泵在排除氩等惰性气体原子时，真空系统内的压强会脉冲式上升，然后下降。原子时，真空系统内的压强会脉冲式上升，然后下降。离子泵的寿命：由于离子轰击钛阴极板并且不断溅射，离子泵的寿命：由于离子轰击钛阴极板并且不断溅射，理论上钛板被溅射完毕时泵的寿命才算终结。但事实上理论上钛板被溅射完毕时泵的寿命才算终结。但事实上因钛阴极溅射主要出现在对着阳极筒的中心区域，长期因钛阴极溅射主要出现在对着阳极筒的中心区域，长期使用会出现这个区域穿孔，寿命就已完结。使用会出现这个区域穿孔，寿命就已完结。离子泵烘烤：由于泵体暴露于大气及吸附大量的水汽，离子泵烘烤：由于泵体暴露于大气及吸附大量的水汽，或长期使用后使泵体吸附气体分子增多影响泵的启动及或长期使用后使泵体吸附气体分子增多影响泵的启动及抽速和极限压强。烘烤使泵体上易脱附的气体分子脱附抽速和极限压强。烘烤使泵体上易脱附的气体分子脱附（烘烤时通常把离子泵与前级泵相连，抽走脱附的气体（烘烤时通常把离子泵与前级泵相连，抽走脱附的气体分子），这样使得离子泵恢复青春。分子），这样使得离子泵恢复青春。建议：在离子泵真空差时进行烘烤，烘烤时间要 大于建议：在离子泵真空差时进行烘烤，烘烤时间要 大于2天。天。4.JEM4.JEM4.JEM4.JEM-2100210021002100真空图真空图真空图真空图 PI1PI1表示为镜筒表示为镜筒的的PIRANIPIRANI规，规，PI2PI2表示为电子枪的表示为电子枪的PIRANPIRAN规，规，PI3PI3表示为照相室表示为照相室的的PIRANIPIRANI规，规，PI4PI4表示为样品室表示为样品室的的PIRANIPIRANI规，规，PI5PI5表示为预抽表示为预抽罐的罐的PIRANIPIRANI规。规。PEGPEG表示为潘表示为潘宁规宁规 RPRP表示旋转机械表示旋转机械泵，泵，RTRT表示表示预抽罐预抽罐，DPDP表示扩散泵，表示扩散泵，SIPSIP表示溅射离子泵表示溅射离子泵 V1V1V21V21表示阀门，除了表示阀门，除了V17V17，其它阀门和绿芯其它阀门和绿芯为为OPENOPEN状态，黑心为状态，黑心为CLOSECLOSE状状态态。V17V17状态与其他相反。状态与其他相反。开机开机V17V17关闭关闭3030秒秒后后V13V13打开打开系统进入系统进入2020分钟分钟DPDP电电炉加热到预定温度以及预抽炉加热到预定温度以及预抽RT(P5)RT(P5)的状态。的状态。2020分钟后系统进入自动抽真空，当分钟后系统进入自动抽真空，当P1,P2,P3,P4P1,P2,P3,P4值从值从250250到到170170之间为之间为RPRP预抽，进入预抽，进入170170为为DPDP预抽。预抽。当当PEGPEG低于低于5X105X10-3 3PaPa时时SIPSIP启动。启动。当当P1,P2,P3,P4P1,P2,P3,P4值低于值低于3535时，说明系统进入时，说明系统进入READYREADY状态（高状态（高真空时真空时PIRANIPIRANI值设为值设为2525）5.5.真空规解析真空规解析真空规解析真空规解析 PIRANIPIRANI规（皮拉尼规）：规（皮拉尼规）：1).1).它是利用热传导原理来工作的。它是利用热传导原理来工作的。2).2).把在常温下相同的电阻丝分别装在待测的把在常温下相同的电阻丝分别装在待测的PIRANIPIRANI管中，和用高真空密封的闭口管中。利管中，和用高真空密封的闭口管中。利用这两个电阻丝建立平衡电路。当待测体为高用这两个电阻丝建立平衡电路。当待测体为高真空时，电路处于平衡状态，平衡电流设定为真空时，电路处于平衡状态，平衡电流设定为25uA25uA。当。当待测体为大气状态时，电路处于不平待测体为大气状态时，电路处于不平衡状态，平衡电流设定为衡状态，平衡电流设定为250uA250uA。3).3).所以所以PIRANIPIRANI规存在两个工作点，有时我们要规存在两个工作点，有时我们要进行校正。（校正方法见第二篇）进行校正。（校正方法见第二篇）PENINGPENING规（潘宁规）：规（潘宁规）：1).1).根据潘宁放电根据潘宁放电(加上正交电磁场的磁约束放电加上正交电磁场的磁约束放电)现象来检现象来检测真空的规计。测真空的规计。2).2).潘宁放电现象：在正交电磁场下气体分子电离产生的离潘宁放电现象：在正交电磁场下气体分子电离产生的离子质量远大于电子，故不受磁场的约束达到阴极消失且不子质量远大于电子，故不受磁场的约束达到阴极消失且不引起空间电荷。放电电子受磁场的约束在阳极附近相当长引起空间电荷。放电电子受磁场的约束在阳极附近相当长的时间，在与气体分子不断碰撞并产生离子。的时间，在与气体分子不断碰撞并产生离子。3).3).故潘宁规通过测定放电电流来计算真空的。故潘宁规通过测定放电电流来计算真空的。第二章第二章第二章第二章.高压系统高压系统高压系统高压系统 高压高压READYREADY条件条件 灯丝灯丝READYREADY条件条件 Beam CurrentBeam Current解析解析 偏压偏压BiasBias解析解析1.1.高压高压高压高压READYREADY条件条件条件条件 真空真空READYREADY：SIPSIP启动，并抽镜筒与电子枪的真空（即启动，并抽镜筒与电子枪的真空（即连通镜筒与电子枪的阀门连通镜筒与电子枪的阀门V4V4要打开）且真空指示进入要打开）且真空指示进入1010-4 4PaPa。但要求低于但要求低于1X 101X 10-4 4PaPa时，才可以加高压。时，才可以加高压。电子枪电子枪的的SFSF6 6气体压力不能低于气体压力不能低于0.28MPa(0.28MPa(此处有压力检测此处有压力检测开关开关)高压电缆处的位置检测开关应处于合并状态。高压电缆处的位置检测开关应处于合并状态。2.2.灯丝灯丝灯丝灯丝READYREADY条件条件条件条件 高压高压READY,READY,且且高压高压ONON 样品杆插入测角台样品杆插入测角台 照相室真空照相室真空READYREADY（照相室与镜筒的隔离阀照相室与镜筒的隔离阀V2V2为为OPENOPEN）LENS ONLENS ON3.BEAM CURRENT3.BEAM CURRENT解析解析解析解析 BEAM CURRENT=DARK CURRENTBEAM CURRENT=DARK CURRENT（暗电流）暗电流）EMISSION CURRENTEMISSION CURRENT（发射电流）发射电流）暗电流是加上高压但未打开灯丝加热电流时的电流，一暗电流是加上高压但未打开灯丝加热电流时的电流，一定程度反映出高压的稳定度，不同的高压对应不同的暗定程度反映出高压的稳定度，不同的高压对应不同的暗电流（参见出厂的参数电流（参见出厂的参数INSPECTION INSPECTION CERTIFICATECERTIFICATE）。）。一定的高压，暗电流过高或过低都是一定的高压，暗电流过高或过低都是不正常的，直接反应出电子束不稳定。不正常的，直接反应出电子束不稳定。发射电流为打开灯丝加热电流，并从灯丝处发射出电子发射电流为打开灯丝加热电流，并从灯丝处发射出电子形成的电流。通过调整偏压来获得发射量。（请不要随形成的电流。通过调整偏压来获得发射量。（请不要随意调整灯丝加热电流限定位置，以防止加热过高导致灯意调整灯丝加热电流限定位置，以防止加热过高导致灯丝损害）丝损害）3.3.偏压偏压偏压偏压BIASBIAS解析解析解析解析 简单简单的说，的说，BIASBIAS的作用是抑制电子束的发射的作用是抑制电子束的发射。所以通过调整所以通过调整BIASBIAS，就可以得到所要的发射量。对于就可以得到所要的发射量。对于JEMJEM-2100 BIAS2100 BIAS的指示值越大，的指示值越大，其其BIASBIAS的电压绝对值越小，抑的电压绝对值越小，抑制能力越差，电子束发射量越大。制能力越差，电子束发射量越大。第三章第三章第三章第三章.电子光学系统电子光学系统电子光学系统电子光学系统 LENSLENS系统系统 偏转偏转(Deflection)(Deflection)系统系统1.LENS1.LENS系统系统系统系统 LENSLENS系统的参数在电镜出厂前已被厂家设定，具体参见系统的参数在电镜出厂前已被厂家设定，具体参见“INSPECTION CERTIFICATEINSPECTION CERTIFICATE”,但是但是CLCL（聚光镜聚光镜），），OLOL（物镜），物镜），INT1INT1（第一中间镜）参数在一定条件下可以改第一中间镜）参数在一定条件下可以改变的，但有一个范围。变的，但有一个范围。其中其中BrightnessBrightness改变改变CL3CL3的值，在的值，在SA MAGSA MAG和和DIFFDIFF模式下模式下DIFF FOCUSDIFF FOCUS改变改变INT1INT1的值。的值。2.2.偏转偏转偏转偏转(Deflection)(Deflection)系统系统系统系统 偏转系统也叫合轴系统提供精确的照明条件和成像条偏转系统也叫合轴系统提供精确的照明条件和成像条件，它是根据件，它是根据LENSLENS系统而设定的。基本上来说一种透系统而设定的。基本上来说一种透镜对应两级偏转。镜对应两级偏转。对于日常使用，这里提供一份方便客户使用流程以供大对于日常使用，这里提供一份方便客户使用流程以供大家参考家参考 正确地进行合轴对于正常使用好电镜是尤为重要的。且正确地进行合轴对于正常使用好电镜是尤为重要的。且要对合轴程序灵活应用，做到要对合轴程序灵活应用，做到“对症下药对症下药”。参考客户合。参考客户合轴程序轴程序客户合轴日常使用第四章第四章第四章第四章.特殊功能应用特殊功能应用特殊功能应用特殊功能应用 UFCUFC功能应用功能应用 ACDACD功能应用功能应用 中心点校正中心点校正1.UFC1.UFC功能应用功能应用功能应用功能应用1 1）UFCUFC模式即客户功能存储模式，提供存储模式即客户功能存储模式，提供存储合轴数据。合轴数据。2 2）这样可以根据具体情况存储感兴趣的合轴）这样可以根据具体情况存储感兴趣的合轴数据。建议：用指定的一项（以日期为名数据。建议：用指定的一项（以日期为名字）作为存储的空间，每周进行字）作为存储的空间，每周进行TEMTEM模式模式合轴的存储，这样可以更好地使用此功合轴的存储，这样可以更好地使用此功能。能。3 3）21002100系列系列的的UFCUFC功能使用比较简单。功能使用比较简单。打开打开MaintenanceMaintenance菜单下的菜单下的AligmentAligment对话框（如下对话框（如下图），进入图），进入Save to Alignment FileSave to Alignment File便可进行合轴数据便可进行合轴数据存储。存储。（Load Alignment Load Alignment FlieFlie调出合轴数据）调出合轴数据）存储的数目取决于硬盘的大小。存储的数目取决于硬盘的大小。2.ACD2.ACD功能应用功能应用功能应用功能应用 ACD(ACD(AntiAnti-Contamination Device)Contamination Device)使用使用由于由于往往ACDACD装置里加液氮，故而在物镜的周围形成冷指装置里加液氮，故而在物镜的周围形成冷指环境，起到抗污染作用，且也是一个很好的低温吸附泵环境，起到抗污染作用，且也是一个很好的低温吸附泵以提高镜筒真空度。以提高镜筒真空度。ACDACD加液氮过程加液氮过程.mpgmpg使用时须注意以下使用时须注意以下几点。几点。1 1）液氮在容器里需要一定的稳定时间（小时级），由于液氮不稳）液氮在容器里需要一定的稳定时间（小时级），由于液氮不稳定会造成振动，故做高分辨时要注意。定会造成振动，故做高分辨时要注意。2 2）为节省液氮需要将为节省液氮需要将ACD TANKACD TANK的入口以及颈部和空气尽量隔的入口以及颈部和空气尽量隔开。开。3 3）如果早上加液氮，中午休息前最好）如果早上加液氮，中午休息前最好ACD TANKACD TANK加满液氮，以防加满液氮，以防止下午工作因没有液氮系统真空出现异常。止下午工作因没有液氮系统真空出现异常。4 4）实验结束后，必须把液氮烘干实验结束后，必须把液氮烘干（Filament OFF,HT OFF,Filament OFF,HT OFF,拔出样品拔出样品杆，插入杆，插入ACD ACD 加热器，按加热器，按下下ACDACD键，此时离子泵键，此时离子泵OFFOFF，扩散泵抽扩散泵抽镜筒，待镜筒，待2 2个小时后个小时后ACDACD键熄灭，离子泵自动启动），以防止键熄灭，离子泵自动启动），以防止ACD ACD TANKTANK内因无液氮而温度升高，吸附的气体分子脱离冷指使离子泵内因无液氮而温度升高，吸附的气体分子脱离冷指使离子泵负载过重而出现异常。负载过重而出现异常。JEMJEM-21002100的的ACDACD按键按键3.3.中心点校正中心点校正 意为测角台意为测角台X,YX,Y轴的中心点校正。轴的中心点校正。由于在由于在LOW MAGLOW MAG模式下，模式下，X,YX,Y轴的驱动步长较轴的驱动步长较大，所以建议大，所以建议在在LOW MAG LOW MAG 模式下做测角台模式下做测角台X,YX,Y轴轴的中心点校正。的中心点校正。X,YX,Y轴最大行程为轴最大行程为12001200左右，如果发现某一个方左右，如果发现某一个方向的行程大于或小于最大行程太多，就出现向的行程大于或小于最大行程太多，就出现Limit Limit OverOver。说明测角台的中心点位置不对，需要进行说明测角台的中心点位置不对，需要进行中心点校正。中心点校正。必须把样品杆放入测角台中必须把样品杆放入测角台中,且把测角台归零位置且把测角台归零位置才能进行才能进行X,YX,Y轴中心点校正。轴中心点校正。JEMJEM-21002100中心点校正中心点校正1.1.自动校正：在自动校正：在GonioGonio对话框中执行对话框中执行Auto CalibrationAuto Calibration。2.2.手动设定中心点手动设定中心点1 1）通过观察样品实际情况确认中心点）通过观察样品实际情况确认中心点2 2）或通过最大行程值计算出中点位置）或通过最大行程值计算出中点位置3 3）把样品移动所认为的中心点位置）把样品移动所认为的中心点位置4 4）更改）更改GonioGonio对话框中对话框中X,YX,Y的值为的值为0 0，并点击，并点击SetSet按钮。这样按钮。这样测测角台角台X,YX,Y轴中心点位置就被校正。轴中心点位置就被校正。进入进入GonioGonio GonioGonio对话框对话框第二篇第二篇透射电镜日常维透射电镜日常维护与常见问题的处理护与常见问题的处理警告警告 涉及带电的部分，请由有相关专业知涉及带电的部分，请由有相关专业知涉及带电的部分，请由有相关专业知涉及带电的部分，请由有相关专业知识的人士处理，以防触电，发生意识的人士处理，以防触电，发生意识的人士处理，以防触电，发生意识的人士处理，以防触电，发生意外！外！外！外！第一章：透射电镜的日常维护第一章：透射电镜的日常维护 第二章：透射电镜常见问题的处理第二章：透射电镜常见问题的处理 第三章：拍照时的注意事项第三章：拍照时的注意事项第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT一、电镜室的环境要求一、电镜室的环境要求一、电镜室的环境要求一、电镜室的环境要求(包括水箱包括水箱包括水箱包括水箱室）室）室）室）温度温度20205 5摄氏度（变动小于摄氏度（变动小于1 1摄氏摄氏度）度）湿度湿度小于小于60%60%保持室内清洁保持室内清洁第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT二、换样品须知二、换样品须知二、换样品须知二、换样品须知样品杆的插拔样品杆的插拔样品杆的插拔样品杆的插拔.mpgmpg 每天注意样品杆两个每天注意样品杆两个OO形圈的清洁度，以及样品杆头部的形圈的清洁度，以及样品杆头部的清洁度。清洁度。拧固定螺丝时，请选择合适大小螺丝刀且不要拧的太紧，拧固定螺丝时，请选择合适大小螺丝刀且不要拧的太紧，以免损坏螺丝。以免损坏螺丝。双倾杆正确使用：双倾杆正确使用：1).1).把换样台放在如下图所示的位置把换样台放在如下图所示的位置上：上：此换样台起到保护双顷样品头的作用2).2).把样品杆小心地放在换样台上。把样品杆小心地放在换样台上。由于小螺丝只能支撑一定的力，故如果用力压，此螺丝肯定会断且样品头脱落。3).3).更换样品拧螺丝时更换样品拧螺丝时,用螺丝杆的自重压住螺丝，用螺丝杆的自重压住螺丝，请不要请不要用力往下压用力往下压，然后小心拧螺丝。拧螺丝的姿势可参见，然后小心拧螺丝。拧螺丝的姿势可参见下图。下图。4).4).拧螺丝时请不要拧的过紧，以免因为拧过紧而拧螺丝时请不要拧的过紧，以免因为拧过紧而不由自主地用力以致使支撑不由自主地用力以致使支撑Y Y轴的螺丝断。轴的螺丝断。5).5).样品杆进入测角台后，在菜单中选择样品杆的样品杆进入测角台后，在菜单中选择样品杆的正确类型。正确类型。6).6).从测角台中拔出样品杆时，一定要把所有轴归从测角台中拔出样品杆时，一定要把所有轴归零后再拔样品杆。零后再拔样品杆。注意：注意：注意：注意：若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工程师联系！程师联系！程师联系！程师联系！第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT三、每日工作前与工作后的注三、每日工作前与工作后的注意事项意事项（一）、每日工作前的注意事项（一）、每日工作前的注意事项 首先检查真空系统是否正确，电镜在首先检查真空系统是否正确，电镜在首先检查真空系统是否正确，电镜在首先检查真空系统是否正确，电镜在TEM1TEM1-3 3放大放大放大放大模式，放大倍数不大于模式，放大倍数不大于模式，放大倍数不大于模式，放大倍数不大于X40KX40K。加高压前确认起始电压是否正确。加高压前确认起始电压是否正确。加高压前确认起始电压是否正确。加高压前确认起始电压是否正确。加压过程中注意暗电流变化。加压过程中注意暗电流变化。加压过程中注意暗电流变化。加压过程中注意暗电流变化。放入样品前要确认样品装牢，检查橡皮圈，正确放入样品前要确认样品装牢，检查橡皮圈，正确放入样品前要确认样品装牢，检查橡皮圈，正确放入样品前要确认样品装牢，检查橡皮圈，正确涂抹真空脂（应为白色的涂抹真空脂（应为白色的涂抹真空脂（应为白色的涂抹真空脂（应为白色的FOMBLINFOMBLIN）。）。）。）。样品杆放入镜筒后最好再等样品杆放入镜筒后最好再等样品杆放入镜筒后最好再等样品杆放入镜筒后最好再等5 5分钟，确认真空后再分钟，确认真空后再分钟，确认真空后再分钟，确认真空后再加灯丝。加灯丝。加灯丝。加灯丝。（二）、每日工作后的注意事项（二）、每日工作后的注意事项（二）、每日工作后的注意事项（二）、每日工作后的注意事项 关灯丝前先将关灯丝前先将关灯丝前先将关灯丝前先将OL APOL AP、IL APIL AP撤出光路。撤出光路。撤出光路。撤出光路。将放大倍数调到小于将放大倍数调到小于将放大倍数调到小于将放大倍数调到小于X40KX40K。电镜模式为电镜模式为电镜模式为电镜模式为TEM1TEM1-3 3，MAG1MAG1模式。模式。模式。模式。将光斑调到中心，并散开到与荧光屏同样大小。将光斑调到中心，并散开到与荧光屏同样大小。将光斑调到中心，并散开到与荧光屏同样大小。将光斑调到中心，并散开到与荧光屏同样大小。关灯丝。关灯丝。关灯丝。关灯丝。将高压降到第二天的起始值后关掉高压。将高压降到第二天的起始值后关掉高压。将高压降到第二天的起始值后关掉高压。将高压降到第二天的起始值后关掉高压。样品回零后撤出。样品回零后撤出。样品回零后撤出。样品回零后撤出。如果如果如果如果ACDACD里面有液氮，必须烘干！（详见前面里面有液氮，必须烘干！（详见前面里面有液氮，必须烘干！（详见前面里面有液氮，必须烘干！（详见前面ACDACD功能功能功能功能应用应用应用应用）关闭显示器，但不要关闭计算机。关闭显示器，但不要关闭计算机。关闭显示器，但不要关闭计算机。关闭显示器，但不要关闭计算机。第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT四、循环水的定期维护四、循环水的定期维护四、循环水的定期维护四、循环水的定期维护每月检查一次水位，半年到一年每月检查一次水位，半年到一年每月检查一次水位，半年到一年每月检查一次水位，半年到一年彻底更换一次水彻底更换一次水彻底更换一次水彻底更换一次水境特别脏的以及分体式的每月境特别脏的以及分体式的每月境特境特别别脏的脏的以及分以及分体式的每体式的每月月清洗一次。清洗一次。清洗一次。清洗一次。CWC CWC 除尘除尘.AVIAVI第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT五、五、五、五、空压机的维护空压机的维护空压机的维护空压机的维护 空压机放水空压机放水将灯丝与高压关掉后进行。将灯丝与高压关掉后进行。空压机的吸气过滤网除尘空压机的吸气过滤网除尘（一）、空压机放水（一）、空压机放水（一）、空压机放水（一）、空压机放水 有水的危害有水的危害有水的危害有水的危害 放水周期的确定放水周期的确定放水周期的确定放水周期的确定 需要放水的位置需要放水的位置需要放水的位置需要放水的位置两处。两处。1 1、有水的危害、有水的危害、有水的危害、有水的危害2 2、放水周期的确定、放水周期的确定、放水周期的确定、放水周期的确定 根据不同地域以及季节调整放水周期，最根据不同地域以及季节调整放水周期，最好每月检查一次。好每月检查一次。空压机放水空压机放水空压机放水空压机放水两处放水两处放水两处放水两处放水放水放水放水放水.AVIAVI过滤网除尘过滤网除尘过滤网除尘过滤网除尘第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT六、六、六、六、机械机械机械机械泵泵泵泵(RP)(RP)维护维护维护维护 注意观察机械泵油量，及注意观察机械泵油量，及油的颜色。油的颜色。油量应油量应在油量检查口玻璃窗中间在油量检查口玻璃窗中间有个白点的附近，油的颜有个白点的附近，油的颜色应为透明或黄色色应为透明或黄色 观察机械泵是否漏油，通过观察如下的漏油观察口。观察机械泵是否漏油，通过观察如下的漏油观察口。如果漏油，需要更换如果漏油，需要更换油封。油封。观察机械泵噪音（主要是皮带运行的时间长，表面污观察机械泵噪音（主要是皮带运行的时间长，表面污损产生摩擦声音），可将皮带吸尘清洁，或者更换皮损产生摩擦声音），可将皮带吸尘清洁，或者更换皮带。（在后面常见问题的处理中有更换皮带的说明）带。（在后面常见问题的处理中有更换皮带的说明）拆下左图所示的六个螺丝拆下左图所示的六个螺丝就可看到皮带就可看到皮带第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT七、高压绝缘气体的补充七、高压绝缘气体的补充七、高压绝缘气体的补充七、高压绝缘气体的补充对于使用对于使用SF6SF6作为作为200200KVKV电镜绝缘电镜绝缘气体的充气步骤气体的充气步骤（决不允许在加高决不允许在加高决不允许在加高决不允许在加高压状态下充气压状态下充气压状态下充气压状态下充气）：）：（一）、高压箱充气（一）、高压箱充气（一）、高压箱充气（一）、高压箱充气JEMJEM-21002100没有高压箱绝缘气体压力没有高压箱绝缘气体压力的检测回路，所以要每月检查一次的检测回路，所以要每月检查一次压力值，以便及时补充。压力值，以便及时补充。高压箱中的绝缘气体压力下限为高压箱中的绝缘气体压力下限为高压箱中的绝缘气体压力下限为高压箱中的绝缘气体压力下限为0.0050.005MpaMpa，一，一，一，一般充气到般充气到般充气到般充气到0.010.01MpaMpa,但不要超过但不要超过但不要超过但不要超过0.0150.015MpaMpa.充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中的不纯气体放出，并清洁充气口的不纯气体放出，并清洁充气口的不纯气体放出，并清洁充气口的不纯气体放出，并清洁充气口气口气口气气口口适当调节输出压力，使充适当调节输出压力，使充气速度不要太快气速度不要太快待压力充到后，按下压片将气管拔待压力充到后，按下压片将气管拔待压力充到后，按下压片将气管拔待压力充到后，按下压片将气管拔出出出出，等半小时以后再加高压等半小时以后再加高压等半小时以后再加高压等半小时以后再加高压（二）、电子枪充气（二）、电子枪充气（二）、电子枪充气（二）、电子枪充气当电子枪中的绝缘气体压力低于当电子枪中的绝缘气体压力低于2.82.8kg/cm2kg/cm2后，由于后，由于高压保护，高压保护，HT READYHT READY灯将不亮，高压无法加，灯将不亮，高压无法加，同时报警。此时要将绝缘气的压力加到同时报警。此时要将绝缘气的压力加到3 3kg/cm2kg/cm2以以上直到上直到HT READYHT READY灯亮为止（但当压力达到灯亮为止（但当压力达到3.53.5kg/cm2kg/cm2时还不亮，请与工程师联系），准备工时还不亮，请与工程师联系），准备工作同加高压箱方法。作同加高压箱方法。SFSF6 6气体的补充气体的补充1 1）调整气瓶处的减压阀出口压力，使出口压力与下图）调整气瓶处的减压阀出口压力，使出口压力与下图中压力表的气体压力值相同。中压力表的气体压力值相同。2 2）清洁充气口。）清洁充气口。3 3）把充气嘴斜顶着充气口（见下图），这样充气嘴出气）把充气嘴斜顶着充气口（见下图），这样充气嘴出气把充气口的管道里空气冲走以保证气体纯度。然后把把充气口的管道里空气冲走以保证气体纯度。然后把充气嘴插入。充气嘴插入。4 4）慢慢加大减压阀出口压力，使压力表的压力值升到指）慢慢加大减压阀出口压力，使压力表的压力值升到指定的值（定的值（0.32MPa0.32MPa）第一章第一章 透射电镜的日常维护透射电镜的日常维护 电镜室的环境要求电镜室的环境要求 换样品须知换样品须知 每日工作前与工作后的注意事项每日工作前与工作后的注意事项 循环水的定期维护循环水的定期维护 空压机的定期维护空压机的定期维护 机械泵的定期维护机械泵的定期维护 高压绝缘气体压力的检查与补充高压绝缘气体压力的检查与补充 BAKE OUTBAKE OUT八、八、八、八、BAKE OUTBAKE OUT 建议建议1313个月烘烤一次个月烘烤一次 HT OFFHT OFF LENS ONLENS ON 不插样品不插样品 撤出光路中的所有光阑撤出光路中的所有光阑 开始烘烤后不要再动面板上的任何旋钮开始烘烤后不要再动面板上的任何旋钮1 1、将、将ColumnColumn和和StageStage都打勾都打勾2 2、将、将Cooling TimeCooling Time设为设为4:00 Hours4:00 Hours3 3、设定、设定BAKEBAKE结束时间（结束时间（finish timefinish time）,蓝色蓝色为开始日期，红圈为结束日期。为开始日期，红圈为结束日期。4 4、要保证、要保证Total TimeTotal Time大于大于5252小时小时例如：周五例如：周五5:00PM5:00PM开始开始BakeBake，下周一，下周一4:00AM4:00AM结束，加上结束，加上4 4小时冷却时间，小时冷却时间，Total Time=63HoursTotal Time=63Hours。即周一。即周一8:00AM8:00AM可以可以开始工作。开始工作。按下按下按下按下StartStart后马上将后马上将后马上将后马上将LENSLENS进水阀关死进水阀关死进水阀关死进水阀关死烘烤后烘烤后烘烤后烘烤后 要等完全结束后才能将要等完全结束后才能将LENSLENS红色水阀打红色水阀打开。开。关注离子泵是否可以正常自动启动关注离子泵是否可以正常自动启动日常维护总结日常维护总结日常维护总结日常维护总结1).1).每天检查事项每天检查事项 离子泵真空度离子泵真空度 空压机的启动频率以及运行噪音空压机的启动频率以及运行噪音 主机机械泵的运行噪音主机机械泵的运行噪音 底片干燥器运行噪音底片干燥器运行噪音 循环水环境的温度循环水环境的温度 样品杆两个样品杆两个O O-RINGRING，以及样品头部清洁度以及样品头部清洁度 高压暗电流高压暗电流2).2).每月检查事项每月检查事项 循环水的温度、压力、水量以及水和散热器清洁度循环水的温度、压力、水量以及水和散热器清洁度 主机机械泵油量主机机械泵油量(太多或太少均不可太多或太少均不可)底版干燥器机械泵油量底版干燥器机械泵油量(太多或太少均不可太多或太少均不可)空压机放水（两处）空压机放水（两处）高压箱和电子枪高压箱和电子枪SFSF6 6气体的压力气体的压力 灯丝像灯丝像3).3).定期进行定期进行BAKE OUT BAKE OUT 第一章：透射电镜的日常维护第一章：透射电镜的日常维护 第二章：透射电镜常见问题的处理第二章：透射电镜常见问题的处理 第三章：拍照时的注意事项第三章：拍照时的注意事项第二章第二章 透射电镜常见问题的处透射电镜常见问题的处理理 无电子束无电子束 灯丝的更换灯丝的更换 主机无法启动或突然停机主机无法启动或突然停机 空压机常见故障空压机常见故障 RPRP常见故障常见故障 DPDP常见故障常见故障 循环水常见问题循环水常见问题 卡底片的原因及处理卡底片的原因及处理 LENSLENS打不开或跳掉打不开或跳掉 其它其它一、一、一、一、无电子束解析无电子束解析无电子束解析无电子束解析打开灯丝加热无电子束检查灯丝是否有发射？升高BIAS,并得到发射量N确认物镜，选区光栏OPENYY进入LOW MAG模式灯丝断了或其它问题N聚光镜光栏OPEN调整BRIGHTNESS,是否找到亮？调整GUN TILT X,Y得到亮且是最亮没有亮，或者很暗先找到亮，把电子束缩到小于荧光屏且屏幕上最好无样品。调整GUN TILT使Current Density值为最大进入