碱性蚀刻液.pdf

碱性氯化铜蚀刻液1)适用于图形电镀金属抗蚀层，如镀覆金、镍、锡铅合金，锡镍合金及锡的印制板的蚀刻。2)蚀刻速率快，侧蚀小，溶铜能力高，蚀刻速率容易控制。3)蚀刻液可以连续再生循环使用，成本低。2.蚀刻过程中的主要化学反应在氯化铜溶液中加入氨水，发生络合反应：CuCl24NH3 Cu(NH3)4Cl2在蚀刻过程中，板面上的铜被Cu(NH3)42+络离子氧化，其蚀刻反应如下：Cu(NH3)4Cl2Cu 2Cu(NH3)2Cl所生成的Cu(NH3)21+为 Cu1+的络离子，不具有蚀刻能力。在有过量 NH3 和 Cl-的情况下，能很快地被空气中的 O2 所氧化，生成具有蚀刻能力的Cu(NH3)42+络离子，其再生反应如下：2Cu(NH3)2Cl2NH4Cl2NH31/2 O2 2Cu(NH3)4Cl2H2O从上述反应可看出，每蚀刻 1 克分子铜需要消耗 2 克分子氨和 2 克分子氯化铵。因此，在蚀刻过程中，随着铜的溶解，应不断补加氨水和氯化铵。应用碱性蚀刻液进行蚀刻的典型工艺流程如下：镀覆金属抗蚀层的印制板(金、镍、锡铅、锡、锡镍等镀层)去膜水洗吹干检查修板碱性蚀刻用不含 Cu2+的补加液二次蚀刻水洗检查浸亮(可选择)水洗吹干影响蚀刻速率的因素蚀刻液中的 Cu2+的浓度、PH 值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温度对蚀刻速率均有影响。掌握这些因素的影响才能控制溶液，使之始终保持恒定的最佳蚀刻状态，从而得到好的蚀刻质量。Cu2+浓度的影响因为 Cu2+是氧化剂，所以 Cu2+的浓度是影响蚀刻速率的主要因素。研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明：在 011 盎司/加仑时，蚀刻时间长；在 1116 盎司/加仑时，蚀刻速率较低，且溶液控制困难；在 1822盎司/加仑时，蚀刻速率高且溶液稳定；在 2230 盎司/加仑时，溶液不稳定，趋向于产生沉淀。注：1 加仑（美制）=3.785 升 1 盎司=28.35 克 1盎司/加仑=28.35/3.785=7.5G/1在自动控制蚀刻系统中，铜浓度是用比重控制的。在印制板的蚀刻过程中，随着铜的不断溶解，溶液的比重不断升高，当比重超过一定值时，自动补加氯化铵和氨的水溶液，调整比重到合适的范围。一般比重控制在18240Be。溶液 PH 值的影响蚀刻液的 PH 值应保持在 8.08.8 之间。当 PH 值降到 8.0 以下时，一方面是对金属抗蚀层不利。另一方面，蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子，溶液要出现沉淀，并在槽底形成泥状沉淀。这些泥状沉淀能在加热器上结成硬皮，可能损坏加热器，还会堵塞泵和喷嘴，给蚀刻造成困难，如果溶液 PH 值过高，蚀刻液中氨过饱和，游离氨释放到大气中，导致环境污染。另一方面，溶液的 PH 值增大也会增大侧蚀的程度，而影响蚀刻的精度。氯化铵含量的影响通过蚀刻再生的化学反应可以看出:Cu(NH3)21+的再生需要有过量的 NH3 和 NH4Cl 存在。如果溶液中缺乏 NH4Cl,而使大量的Cu(NH3)21+得不到再生，蚀刻速率就会降低，以至失去蚀刻能力。所以，氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的进行，要不断补加氯化铵。但是，溶液中 Cl-含量过高会引起抗蚀层被浸蚀。一般蚀刻液中 NH4Cl 含量在 150g/l 左右。温度的影响蚀刻速率与温度有很大关系，蚀刻速率随着温度的升高而加快。见图 10-12蚀刻液温度低于 40，蚀刻速率很慢，而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量，影响蚀刻质量。温度高于 60，蚀刻速率明显增大。但 NH3 的挥发量也大大增加，导致污染环境并使蚀刻液中化学组份比例失调。故一般应控制在 4555为宜。蚀刻液的调整自动控制调整随着蚀刻的进行，蚀刻液中铜含量不断增加，比重逐渐升高，当蚀刻液中铜浓度达到一定高度时就要及时调整。在自动控制补加装置中，是利用比重控制器控制蚀刻液的比重。当比重升高时，自动排放比重过高的溶液，并添加新的补加液，使蚀刻液的比重调整到允许的范围。补加液要事先配制好，放入补加桶内，使补加桶的液面保持在一定的高度。专卖的蚀刻盐品种很多，其补加液的配制方法大同小异。下面仅介绍一种：华美 CP21 蚀刻盐补加液的配制方法蚀刻盐 255g/l PH 值 9.8 氨水(26%)450ml/l 比重 1.03水 450ml/l人工调整方法一：首先在蚀刻液冷却、静置情况下，取样分析清液中的铜浓度，然后根据分析结果，确定废液的排放量。排放量可按下式计算：排放量(分析值规定值)分析值*总体积式中：排放量从蚀刻槽中排出废液的体积(l)分析值由化学分析得出的铜含量(g/l)规定值配方中规定的铜含量(g/l)总体积蚀刻槽中蚀刻液的体积(l)原则上是排放多少体积的废液就补加多少体积的补加液。方法二：上述 1 升补加液可蚀铜约 150165g 铜。可统计生产中蚀刻铜的量，当达到这个范围时，放去20之工作液，补充新的补加液到相同体积。图 10-13 碱性蚀刻机及控制，补加系统现在印制板生产厂家一般采用带有蚀刻液控制、补加系统的碱性蚀刻机 10-13 进行印制板的碱性蚀刻。蚀刻过程中常出现的问题蚀刻速率降低这个问题与许多因素有关。要检查蚀刻条件，例如：温度，喷淋压力，溶液比重、PH 值和氯化铵的含量等，使之达到适宜的范围。蚀刻溶液中出现沉淀由于氨的含量过低(PH 值降低)，或用水稀释等原因造成的。溶液比重过大也会造成沉淀。抗蚀镀层被浸蚀蚀刻液 PH 值过低或 Cl-含量过高造成的。铜表面发黑，蚀刻不动蚀刻液中 NH4Cl 的含量过低造成的。深圳市宝胜环保科技有限公司多年以来一直专业从事蚀刻液/微蚀液循环再生铜回收系统设备、蚀刻液/微蚀液处理器材、蚀刻液处理工程、设计、制作、安装、销售及服务，为广大客户倾力打造满足市场需求的产品，欢迎各界人士来人、来电、来函洽谈与交流。http:/深圳市光明新区公明镇塘家村张屋工业区业务联系：朱利胜18658838323