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深冷空分操作规程.doc

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资源描述

1、内蒙古东立光伏电子有限公司制气车间深冷空分工序生产作业指导书(试行) 编制:黄 瑞 版 号: 审核: 编制日期:2016年09月22日 批准: 生效日期:2016年09月26 日 目 录1. 适用范围12. 规范性引用文件13. 质量标准、生产规模和原辅材料消耗34. 工艺原理及工艺流程图45. 基本资源56. 控制参数147. 主要调节控制说明158. 过程控制169. 引用资料2810. 生产记录及相关文件 28附件1自洁式过滤器操作规程 29附件2离心机操作规程 31附件3预冷机操作规程 36附件4纯化系统操作规程 41附件5分馏系统操作规程 45附件6氮气压缩机操作规程 51附图氮站工

2、艺流程图 56附表巡检记录表571 适用范围1.1 本操作规程适用于武汉东立光伏电子有限公司制氮设备或工序1.2 目的:为了正确使用操作制氮装置(KDN1000/60)包括空压机、预冷机、纯化器、分镏塔等设备,确保安全生产以及保持经济合理的工艺运行。 2 规范性引用文件2.1 产品标准JB/T86931998大中型空气分离设备JB/T531411998大中型空气分离设备产品质量分等JB/T90721999固定式真空粉末绝热低温液体贮槽JB/T531401999固定式真空粉末绝热低温液体贮槽产品质量分等JB/T5904.11999低压透平膨胀机技术条件JB/T90811999空气分离设备用低温截

3、止阀和节流阀技术条件JB/T25491994铝制空气分离设备制造技术规范JB/T6896-93空气分离设备表面清洁度JB/T7263-94空气分离设备用13X分子筛验收技术条件GB50205-2001钢结构工程施工质量验收规范2.2 容器设备类标准GB1501998钢制压力容器GB1511999管壳式换热器JB/T47351997钢制焊接常压容器JB/T4734-2002 铝制焊接容器JB/T72611994铝制板翅式换热器技术条件JB47082000钢制压力容器焊接工艺评定JB/T68981997低温贮运设备使用安全规则JB/T47302005承压设备无损检测JB47262000压力容器用碳

4、素钢和低合金钢锻件JB47272000低温压力容器用碳素钢和低合金钢锻件JB47282000压力容器用不锈钢锻件JB/T9072-1999固定式真空粉末绝热低温液体贮槽2.3 气体产品标准GB/T89791996工业氮GB/T89801996高纯氮2.4仪、电控规范及符号GB/T14048系列标准GB15261989信息处理流程图 程序网络网 系统资源图的文件编制符合及约定GB262519XX过程检测和控制流程图符号和文字代号(最新版)GB4728.21998电气图用图形符号、符号要素、限定符号和常用其它符号GB7251.11997低压成套开关设备和控制设备 第1部分 型式试验和部分型式试验成

5、套设备GB7251.21997低压成套开关设备和控制设备 第2部分 对母线干线系统(母线槽)的特殊要求GB7251.31997低压成套开关设备和控制设备 第3部分 对非专业人员可进入场地的低压成套开关设备和控制设备配电GB94661998低压成套开关设备基本试验方法GB/T102281997干式电力变压器技术参数和要求GB/T134991992电力变压器应用导则JB/T76721995空气分离设备流程图图形符号和文字代号GB39061991335KV交流金属封闭式开关设备2.5 包装、运输GB/T133841992机电产品包装用通用技术条件2.6 外部、安装、验收标准JB/T689593铝制空

6、气分离设备安装焊接技术规范GB5023198机械设备安装工程施工及验收通用规范GB5027598压缩机、风机、泵安装工程施工及验收规范GB5027498制冷设备、空气分离设备安装工程 施工及验收规范HG202022000脱脂工程施工及验收规范GBJ12689工业设备及管道绝热工程施工及验收规范GB5023597工业金属管道工程施工及验收规范GB5023698现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范GB5018493工业金属及管道绝热工程质量检验评定标准GBJ9386工业自动化仪表工程施工及验收规范3 质量标准、生产规模和原辅材料消耗3.1 原料质量标准3.1.1 空气质量标准环境空气质量标准(

7、GB 30952012):干燥空气的主要成份如下:名 称化学代号体积百分比重量百分比氧O220.9523.1氮N278.0875.5氩Ar0.9321.29 空气中其它组成成份, 如氢、二氧化碳、碳氢化合物的含量在一定范围内变化, 而水蒸汽含量则随着温度和湿度而变化。3.2 产品质量标准3.2.1 氮气质量标准产品氮气产量: 7001000Nm3/h (0,101.3KPa)液氮产量: 60L/h产品氮气纯度: 99.999%氧含量: 1ppm产品氮气出冷箱压力: 0.85MPa.G产品氮气水份露点: -70 4. 工艺原理及工艺流程图4.1 工艺原理贮存系统膨胀机精馏系统热交换器 空气的精馏

8、就是利用空气的各种组份具有不同的挥发性,即在同一温度下各组份的蒸汽压不同,将液态空气进行多次的部份蒸发与部份冷凝,从而达到分离各组份的目的。当处于冷凝温度的氧、氮混合气穿过比它温度低的氧、氮混合液体时,气相与液相之间就发生热、质交换,气体中的部份冷凝成液体并放出冷凝潜热,液体则因吸收热量而部份蒸发。因沸点的差异,氧、氩的蒸发顺序为:氮氩氧,冷凝顺序为:氧氩氮。在本系统中,该过程是在塔板上进行的,当气体自下而上地在逐块塔板上通过时,低沸点组份的浓度不断增加,只要塔板足够多,在塔的顶部即可获得高纯度的低沸点组份。同理,当液体自上而下地在逐块塔板上通过时,高沸点组份的浓度不断增加,通过了一定数量的塔

9、板后,在塔的底部就可获得高纯度的高沸点组份。4.2 工艺流程简图5. 基本资源5.1 人力资源 操作人员必须经公司安全、专业技术培训,考试合格后取得上岗资格证才能上岗;特种作业人员必须取得国家管理机构颁发的资格证,并经公司安全、专业技术培训,考试合格后取得上岗资格证才能上岗。 对操作人员专业技术要求和定员由各工序提出。5.2 设备资源 深冷空分制氮工艺设备及设备位号见下表表-1 深冷空分制氮工艺设备及设备位号序号设备位号设备名称安装位置设备型号和主要设备参数数量15-AF101自洁式过滤器室外ZKG-200;3600nm3/h125-CP101空气离心压缩机室内TRE40N;0.95MPa13

10、5-CK101预冷机组室内BAYL-3200W/9.5;8245-MS101/102吸附筒室内QX320A.000155-AF301纯化后过滤器室内KG320A.000165-EH301电加热器室内JR100.000;100KW17E1主换热器室外塔内18C精馏塔室外塔内FN1000A.1010019K冷凝蒸发器室外塔内FN1000A.10200110E2过冷器室外塔内1115-ET101/102膨胀机组室外塔外PLPK-21.6/3.3-0.45;40000r/min212SV1液氮计量罐室外塔内R404A.0001135-SV101A/B液氮储罐室外CFL-50/1.02145-LV101

11、汽化器室外QQ1000-1.61155-TK101氮气缓冲罐室外HC10G.0001165-SE101残液蒸发器室外1175-TK102氮气储罐(立)室外100m1185-TK103氮气储罐(卧)室外100m1195-TK1041.0MPa氮气缓冲罐室外3m1205-TK1052.0MPa氮气缓冲罐室外2.9m1215-TK1064.0MPa氮气缓冲罐室外5m1225-CP1031#氮气压缩机室外ZW-1.0(4/6)-101235-CP1042#氮气压缩机室外ZW-1.0(4/6)-201245-CP1053#氮气压缩机室外ZW-1.0(4/6)-4515.3 阀门 包括自动(气、电)阀门、

12、手动阀门、安全阀等深冷空分制氮阀门及阀门编号见表-2表-2 深冷空分制氮阀门序号阀门编号阀门类别阀门型号阀门位置流通介质材质厂家状态作用1N-0049截止阀DN80 PN16离心机循环水C.S河北远大阀门集团有限公司常开离心机1级冷却器循环水进口阀2N-0050截止阀DN80 PN16离心机循环水C.S河北远大阀门集团有限公司常开离心机1级冷却器循环水出口阀3N-0051截止阀DN80 PN16离心机循环水C.S河北远大阀门集团有限公司常开离心机2级冷却器循环水进口阀4N-0052截止阀DN80 PN16离心机循环水C.S河北远大阀门集团有限公司常开离心机2级冷却器循环水出口阀5N-0053截

13、止阀DN80 PN16离心机循环水C.S河北远大阀门集团有限公司常开离心机3级冷却器循环水进口阀6N-0054截止阀DN80 PN16离心机循环水C.S河北远大阀门集团有限公司常开离心机3级冷却器循环水出口阀7N-0055球阀DN40 PN20离心机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开离心机油冷却器循环水进口阀8N-0056球阀DN40 PN20离心机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开离心机油冷却器循环水出口阀9N-0057球阀DN25 PN20离心机循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭离心机1级冷却器循环水旁通阀10N-0058球阀DN25 PN20离心机循环水C.S良精集团阀门有限公司常

14、闭离心机2级冷却器循环水旁通阀11N-0059球阀DN25 PN20离心机循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭离心机3级冷却器循环水旁通阀12N-0060球阀DN25 PN20离心机循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭离心机油冷却器循环水旁通阀13N-0061截止阀DN50 PN20预冷机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开预冷机冷却器循环水进口阀14N-0062截止阀DN50 PN20预冷机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开预冷机冷却器循环水出口阀15N-0063球阀DN25 PN20预冷机循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭预冷机冷却器循环水旁通阀16N-0064截止阀DN20 PN20

15、1#氮压机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开1#氮压机循环水进口阀17N-0065截止阀DN20 PN201#氮压机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开1#氮压机循环水出口阀18N-0066截止阀DN20 PN202#氮压机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开2#氮压机循环水进口阀19N-0067截止阀DN20 PN202#氮压机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开2#氮压机循环水出口阀20N-0068截止阀DN20 PN203#氮压机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开3#氮压机循环水进口阀21N-0069截止阀DN20 PN203#氮压机循环水C.S良精集团阀门有限公司常开3#氮压机循环

16、水出口阀22N-0070蝶阀DN100 PN20地沟循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭循环水总管旁通阀23N-0071蝶阀DN200 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀门有限公司常开15KW循环泵总进口阀24N-0072蝶阀DN100 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀门有限公司常开1#15KW循环泵进口阀25N-0073蝶阀DN100 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀门有限公司常开2#15KW循环泵进口阀26N-0074蝶阀DN80 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀门有限公司常开1#15KW循环泵出口阀27N-0075蝶阀DN80 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀

17、门有限公司常开2#15KW循环泵出口阀28N-0076蝶阀DN150 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀门有限公司常开循环水支路进水阀29N-0077蝶阀DN150 PN20小凉水塔循环水C.S良精集团阀门有限公司常开循环水支路出水阀30N-0078闸阀DN200 PN20循环水循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭循环水总进口阀31N-0079闸阀DN200 PN20循环水循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭循环水总出口阀32N-0080闸阀DN125 PN20循环水循环水C.S良精集团阀门有限公司常闭循环水无压回水出口阀33N-0081调节阀DN80 PN16离心机压缩空气C.S杭氧工装

18、泵阀有限公司工艺调节离心机泄压阀34N-V601调节阀DN65 PN16离心机压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司工艺调节离心机放空阀35N-V301气动蝶阀DN100 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换5-MS101进气阀36N-V302气动蝶阀DN100 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换5-MS102进气阀37N-V303气动蝶阀DN125 PN16纯化系统污氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭5-MS101污氮气出气阀38N-V304气动蝶阀DN125 PN16纯化系统污氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭5-MS102污氮气出气阀39N-V3

19、05气动蝶阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开5-MS101卸压阀40N-V306气动蝶阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开5-MS102卸压阀41N-V307气动蝶阀DN125 PN16纯化系统污氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭5-MS101污氮气进气阀42N-V308气动蝶阀DN125 PN16纯化系统污氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开5-MS102污氮气进气阀43N-V309气动蝶阀DN100 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换MS1201出气阀44N-V310气动蝶阀DN100 PN16纯化系统压缩

20、空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换MS1202出气阀45N-V311调节阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换吸附筒均压调节阀46N-V312气动角阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换开车电磁阀47N-V313气动角阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换开车电磁阀48N-V314球阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换吸附筒手动均压阀49N-V315球阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司自动切换吸附筒手动卸压阀50N-V101截止阀DN

21、100 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭分馏塔进气阀51N-V103蝶阀DN200 PN16纯化系统污氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭回流气去纯化阀52N-V104截止阀DN100 PN16纯化系统压缩空气C.S河北远大阀门集团有限公司常开回流气旁通阀53N-V105截止阀DN50 PN16纯化系统压缩空气C.S河北远大阀门集团有限公司常开回流气进气阀54N-V628调节阀DN100 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开回流气旁通调节阀55N-V614调节阀DN65 PN16纯化系统氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开氮气产出调节阀56N-V615调节阀

22、DN40 PN16纯化系统氮气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭氮气放空调节阀57N-V2001球阀DN25 PN16纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开仪表气总阀58N-V2002内螺纹球阀DN20 纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开膨胀机1用气控制阀59N-V2003内螺纹球阀DN20 纯化系统压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开膨胀机2用气控制阀60N-V2008球阀DN25 PN16分馏塔压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常开仪表气进气总阀61N-V2009球阀DN25 PN16分馏塔压缩空气C.S杭氧工装泵阀有限公司常闭用户仪表气进气阀62N-H501调节阀DN6

23、5 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常开污氮气旁通阀63N-V504低温截止阀DN100 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常开1#膨胀机进气阀64N-V505低温截止阀DN100 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭2#膨胀机进气阀65N-V506低温截止阀DN100 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常开1#膨胀机出气阀66N-V507低温截止阀DN100 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常开2#膨胀机出气阀67N-V508低温截止阀DN40 PN16分馏塔压缩空气S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭膨胀机手动进气阀68N-V50

24、9低温截止阀DN20 PN16分馏塔液氮S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭液氮提取阀69N-V510调节阀DN40 PN16分馏塔液空S.S杭氧工装泵阀有限公司常开液空进上塔阀70N-V511调节阀DN20 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭液氮提取调节阀71N-V512低温截止阀DN20 PN16分馏塔液空S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭下塔放空阀72N-V513低温截止阀DN20 PN16分馏塔液空S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭上塔放空阀73N-V514调节阀DN65 PN16分馏塔污氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常开膨胀机自动进气阀74N-V1801低温截止阀DN20 PN16

25、液氮罐液氮S.S四川空分设备有限公司常闭液氮贮槽A进口阀75N-V1802低温截止阀DN20 PN16液氮罐液氮S.S四川空分设备有限公司常闭液氮贮槽B进口阀76N-V16气动阀DN65 PN16汽化器氮气S.S杭氧工装泵阀有限公司常闭氮气出汽化器调节阀77N-V1803低温截止阀DN65 PN16汽化器氮气S.S四川空分设备有限公司常闭汽化器出口止回阀78N-V1804内螺纹球阀DN20 汽化器氮气S.S四川空分设备有限公司常闭汽化器出口吹除阀79N-V0082截止阀DN65 PN16缓冲罐氮气S.S河北远大阀门集团有限公司常闭氮气缓冲罐出口阀80N-V1806低温截止阀DN40 PN16液

26、氮罐氮气S.S四川空分设备有限公司常闭液氮贮槽A进口阀81N-V1807低温截止阀DN40 PN16液氮罐氮气S.S四川空分设备有限公司常闭液氮贮槽B进口阀82SV1803截止阀A42Y-16C液氮罐氮气S.S河北远大阀门集团有限公司汽化器出口安全阀83N-V0083球阀DN65 PN20氮气罐氮气C.S良精集团阀门有限公司常开100m氮气立罐进气阀84N-V0084球阀DN80 PN20氮气罐氮气C.S良精集团阀门有限公司常开100m氮气立罐出气阀85N-V0085球阀DN80 PN20氮气罐氮气S.S良精集团阀门有限公司常开过滤器进口阀86N-V0086球阀DN80 PN20氮气罐氮气S.

27、S良精集团阀门有限公司常开过滤器出口阀87N-V0087球阀DN80 PN20氮气罐氮气S.S良精集团阀门有限公司常闭过滤器旁通阀88N-V0088球阀DN150 PN20氮气罐氮气S.S良精集团阀门有限公司常开100m氮气卧罐出气阀89N-V0089球阀DN80 PN20氮气罐氮气S.S良精集团阀门有限公司常开氮压机进口总阀90N-V0090球阀DN50 PN20氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开1#氮气压缩机进口阀91N-V0091球阀DN50 PN20氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开1#氮气压缩机出口阀92N-V0092球阀DN50 PN20氮压机氮气S.S良精集团阀门有限

28、公司常开5-TK104出口阀93N-V0093球阀DN50 PN20氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开2#氮气压缩机进口阀94N-V0094球阀DN50 PN50氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开2#氮气压缩机出口阀95N-V0095球阀DN50 PN50氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开5-TK105出口阀96N-V0096球阀DN50 PN50氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开减压阀进口阀97N-V0097球阀DN50 PN50氮压机氮气S.S良精集团阀门有限公司常开减压阀出口阀98N-V0098球阀DN50 PN50氮压机氮气C.S良精集团阀门有限公司常闭减压阀旁

29、通阀99N-V0099球阀DN50 PN50氮压机氮气C.S良精集团阀门有限公司常开3#氮气压缩机进口阀100N-V0100球阀DN50 PN50TK101氮气C.S良精集团阀门有限公司常开3#氮气压缩机出口阀101N-V0101球阀DN50 PN50TK101氮气C.S良精集团阀门有限公司常开5-TK106出口阀102N-V0102球阀DN50 PN50TK101氮气C.S良精集团阀门有限公司常闭1#高压氮气旁通阀103N-V0103球阀DN50 PN50TK101氮气C.S良精集团阀门有限公司常闭2#高压氮气旁通阀5.4 仪表 深冷空分制氮仪表见表-3表-3 深冷空分制氮仪表清册序号位号名

30、称位置型号和参数介质工作压力(MPa)工作温度()作用1PDIA-1001AF1001阻力过滤器CS318DP-1200-A-E-22空气常压常温远传控制2FI-601离心机出口流量离心机LGSF-100-1.6空气1.035远传控制3PIC-601离心机排气压力离心机CS318GP-1.6M-B-E-22-M3空气1.035远传控制4TI-202预冷机进口温度预冷机WZPK-6608-320170,0100,8,M272空气1.035远传控制5TI-204预冷机出口温度预冷机WZPK-6608-320170,0100,8,M272空气1.0610远传控制6FI-602分馏塔进气流量纯化器LG

31、SF-100-1.6空气1.0610远传控制7PI-602分馏塔进气压力纯化器CS318GP-1.6M-B-E-22-M3空气1.0610远传控制8TI-602分馏塔进气温度纯化器WZPK-6608-320170,0100,8,M272空气1.0610远传控制9PI-403密封气压力分馏塔YTF-100H,01.6MPa M201.5污氮气0.40.6常温就地显示10PIAS-401轴承气压力分馏塔CS318GP-1.6M-B-E-22-M3污氮气0.40.6常温远传控制11PI-401密封气压力分馏塔YTF-100H,01.6MPa M201.5污氮气0.40.6常温就地显示12PI-404

32、轴承气压力分馏塔YTF-100H,01.6MPa M201.5污氮气0.40.6常温就地显示13PIAS-402轴承气压力分馏塔CS318GP-1.6M-B-E-22-M3污氮气0.40.6常温远传控制14PI-402轴承气压力分馏塔YTF-100H,01.6MPa M201.5污氮气0.40.6常温就地显示15PI-201加温气压力分馏塔YTF-100H,01.6MPa M201.5污氮气0.02常温就地显示16TI-603污氮出塔温度分馏塔WZP-1233-320170,L,8,M272污氮气0.45-170远传控制17TI-604氮气出塔温度分馏塔WZP-1233-320170,L,8,

33、M272氮气0.70.85常温远传控制18PIAC-603污氮进纯化压力纯化器CS318GP-1.6M-B-E-22-M3污氮气0.05常温远传控制19PIC-604氮气出塔压力纯化器CS318GP-1.6M-B-E-22-M3氮气0.70.85常温远传控制20FI-603污氮再生流量纯化器LGSF-100-1.6污氮气0.05常温远传控制21FIC-604氮气出塔流量纯化器LGSF-65-1.6氮气0.70.85常温远传控制22AIAS-601氮气出塔纯度纯化器010/100PPm氮气0.70.85常温远传控制23PIA-301MS1201压力纯化器CS318GP-1.6M-B-E-22-M

34、3空气0.70.9610远传控制24PIA-302MS1202压力纯化器CS318GP-1.6M-B-E-22-M3空气0.70.9610远传控制25TIAS-301MS1201温度纯化器WZPK-6608-320170,0350,8,M272空气0.70.9610远传控制26TIAS-302MS1202温度纯化器WZPK-6608-320170,0350,8,M272空气0.70.9610远传控制27TIA-303纯化出口温度纯化器WZPK-6608-320170,0100,8,M272空气0.70.910远传控制28TIAS-304加热器出口温度纯化器WZPK-6608-320170,03

35、50,8,M272污氮气0.056250远传控制29AIA-301纯化后CO2含量纯化器010PPm空气0.70.910远传控制30AIA-302纯化后水含量纯化器010PPm空气0.70.910远传控制31PI-301MS1201压力纯化器YTF-100H,01.6MPa M201.5空气0.70.910就地显示32PI-302MS1202压力纯化器YTF-100H,01.6MPa M201.5空气0.70.910就地显示33PI-305再生气压力纯化器YTF-100H,01.6MPa M201.5空气0.70.910就地显示34PI-501空气进塔压力纯化器YTF-100H,01.6MPa M201.5空气0.70.910远传控制35TI-501空气进塔温度纯化器WZPK-6608-320170,-200100,8,M272空气0.70.910远传控制36PDIA-501主换热器阻力分馏塔CS318DP-20K-A-E-22空气0.0010.0110远传控制37PI-502膨胀机进口压力分馏塔CS318GP-1.6M-B-E-22-M3污氮气0.3-170远传控制38PI-504膨胀机进口压力分馏塔CS318GP-1.6M-B-E-22-M3污氮气0.3-170远传控制39TI-

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