薄膜和薄膜技术应用专家讲座.pptx

薄膜与薄膜技术应用薄膜和薄膜技术应用第1页l我们当代生活：太阳能 光学膜电视电脑 液晶显示器，集成电路（IC）手机汽车 燃料电池，加速度传感器薄膜和薄膜技术应用第2页l薄膜技术塑料薄膜（吹塑；厚度数十微米）薄膜：薄（微米级或纳米级）；无缝隙覆盖薄膜技术薄膜和薄膜技术应用第3页薄膜普通概念薄膜和薄膜技术应用第4页薄膜是一个薄而软透明薄片。薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片表面形成2维材料。薄膜和薄膜技术应用第5页薄膜是一个薄而软透明薄片。聚氯乙烯或聚乙烯塑料薄膜厚度为几微米到几百微米薄膜和薄膜技术应用第6页薄膜和薄膜技术应用第7页薄膜和薄膜技术应用第8页王双军/陈先明：水立方ETFE充气膜结构技术16开282页lETFE：特氟龙（聚氟乙烯），分子式C2F4特点：轻，高抗污，易清洗，通常雨水即可去除主要污垢。含有有效热学性能和透光性，能够调整室内环境，冬季保温、夏季散热。l水立方蓝色外衣是由3000多个气枕组成。基于“泡沫”理论设计灵感，为“方盒子”包裹上了一层建筑外皮，上面充满了酷似水分子结构几何形状，表面覆盖ETFE膜又赋予了建筑冰晶状外貌，使其含有独特视觉效果和感受，轮廓和外观变得柔和，水神韵在建筑中得到了完美表达。薄膜和薄膜技术应用第9页薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片表面形成2维材料。l薄膜最早应用是在光学元件表面制备保护膜（化学镀膜）。l1817年，Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然取得了减反射膜。l玻璃减反射与眼镜：镜片前表面产生反射光会使他人看戴镜者眼睛时，看到却是镜片表面一片白光。薄膜和薄膜技术应用第10页薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片表面形成2维材料与真 空基片原子、分子或离子空气中原子或分子薄膜和薄膜技术应用第11页1930年出现了油扩散泵-机械泵抽气系统。l真空蒸镀l溅射l离子镀l化学气相沉积镀料气化源薄膜和薄膜技术应用第12页大约于1858年，英国和德国研究者先后于试验室中发觉了溅射现象。直到1955年，溅射镀膜才得以快速发展。l真空蒸镀l溅射l离子镀l化学气相沉积l薄膜技术薄膜和薄膜技术应用第13页电视机前面玻璃摄影机透镜眼镜镜片展示窗（MgF2）l光学膜减反射人造卫星用太阳能电池玻璃罩薄膜和薄膜技术应用第14页选择吸收长波长红外线可见光夏天冷房TiN、CrN或TiO2/TiN/TiO2薄膜和薄膜技术应用第15页冬天暖房ZnO/Ag/ZnO可见光长波长红外线薄膜和薄膜技术应用第16页太阳能发电吸收面温度可达800电镀Cr2O3反应溅射ZrOx真空蒸镀SiO/Al/SiO选择吸收面（光热变换膜）薄膜和薄膜技术应用第17页太阳能热水器薄膜和薄膜技术应用第18页太阳能电池（光电变换膜）太阳能电池（光电变换膜）薄膜和薄膜技术应用第19页波长小于380nm紫外线轻易造成汽车内装饰材料、展示窗内商品或展示品劣化。ZnO薄膜长波长红外线可见光薄膜和薄膜技术应用第20页l装饰膜镀金保时捷汽车木雕薄膜和薄膜技术应用第21页l装饰膜镀银镀银篮子薄膜和薄膜技术应用第22页l装饰膜镀铬宝马汽车薄膜和薄膜技术应用第23页l超硬耐磨镀膜汽配模具氮化钛（TiN）薄膜和薄膜技术应用第24页镀TiN剪刀片镀TiN钻头镀TiAlN刀具镀CrN钻头薄膜和薄膜技术应用第25页薄膜和薄膜技术应用第26页薄膜和薄膜技术应用第27页薄膜和薄膜技术应用第28页生物传感器原理图薄膜和薄膜技术应用第29页热释电型红外线传感器一些物质（Pb1-xZrxTi1-x/4O3(PZT)或PbTiO3Pb1-xLaxTi1-x/4O3(PLT)）表面随温度改变产生电荷（热释电效应），当这种物质接收红外线时，红外线能量转变为热能，这种热能能够电荷（输出电压）方式检出。可用于非接触式温度计：流感人群体温测量；检测人及动物位置、动作及活动等；空间场地温度分布。薄膜和薄膜技术应用第30页薄膜和薄膜技术应用第31页薄膜和薄膜技术应用第32页专业相机像素可达2200万现在市面上消费级数码相机主要有：2/3英寸（8.86.6mm）1/1.8英寸（7.7185.319mm）1/2.5英寸（5.384.39mm）1200万 2/3英寸（8.86.6mm）454/mm图像传感器CCD是由光导电或光电二极管即光致通断薄膜制成。薄膜和薄膜技术应用第33页薄膜和薄膜技术应用第34页薄膜和薄膜技术应用第35页薄膜和薄膜技术应用第36页薄膜技术与薄膜制备、测试等相关各种技术总称。薄膜技术包括范围很广，它包含以物理气相沉积和化学气相沉积为代表成膜技术，以离子束刻蚀为代表微细加工技术，成膜、刻蚀过程监控技术，薄膜分析、评价与检测技术等等。薄膜和薄膜技术应用第37页薄膜和薄膜技术应用第38页平板显示器等离子电视（PDP）液晶电视（LCD）发光二极管电视（LED）放电胞为0.2-0.4mm，胞间障壁宽度0.05mm，高度0.15mm薄膜和薄膜技术应用第39页薄膜和薄膜技术应用第40页FED-Field Emission Display(or Field Effection Display)。薄膜和薄膜技术应用第41页l薄膜技术关键点逐一原子堆积真空气体放电化学反应薄膜和薄膜技术应用第42页l几个薄膜技术介绍 真空蒸镀物理气相沉积（PVD）离子镀 溅射镀膜化学气相沉积（CVD）薄膜和薄膜技术应用第43页