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设备预防保养作业指导书
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项 目 内 容 页 次
目 录 01 / 75
修 订 履 历 02 / 75
3 作 业 内 容 03~75 / 75
制 订
审 核
核 准
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设备预防保养作业指导书
页 次:02
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****** 修 订 履 历 ******
文件版本修订统计:
版本
工程变更号
生效日期
变 更 要 旨
A
2023.06.18
ISO 9001﹕2023体系改版后首次发行。
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工程变更号
变 更 要 旨
45
1
EC-E
修改日点检喷墨压力。
39
1
EC-E
修改日点检2-6与2-7点检内容。
75
1
EC-E
增列自动超音波清洗机之预防保养作业指导。
35
1
EC-E
修改2-5气源气压参数。
36
1
EC-E
修改2-5气源气压参数。
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设备预防保养作业指导书
页 次:03
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投料机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁﹕
先用吸尘器清除杂物﹐再以无尘纸沾酒精擦拭。
1 – 2 台车清洁﹕
先用吸尘器清除杂物﹐再以无尘纸沾酒精擦拭。
1 – 3 机台下面地板及周围清洁﹕
先用吸尘器清除杂物﹐再以无尘纸沾酒精擦拭。
(吸尘器为无尘等级1000 Class以上之吸尘器)
2. 日点检﹕
2 – 1 马达有无异响﹑发烧。
2 – 2 手臂运营平稳度。
2 - 3 各 Sensor 敏捷度。
2 – 4 传送导轮位置 (成一直线)。
2 – 5 C/V 平稳度﹑跳动﹑噪声。
2 – 6 紧急停止开关敏捷度检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内部清洁﹕
3-1-1 关掉总电源﹐用吸尘器清除杂物﹐然后用无尘纸沾酒精擦拭。
3-1-2 清洁完毕后需检验各气管有无脱落﹑组件有无松动﹐等待 5min 后来才可开机。
3 – 2 丝杆导轨润滑﹕
3-2-1 加油脂之前﹐需将旧油清除洁净。
3-2-2 用高压油枪向运营滑块里加注无尘室专用油脂 (Krytox)。
3 – 3 真空过滤芯管路及真空阀体清洁。
3 – 4 C/V 传送皮带﹑马达检验。
3 – 5 手臂前后气缸缓冲检验﹑调整。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
页 次:04
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清洗机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 清洗各槽及机台表面擦拭。
1 – 2 前后过渡段﹑风刀室清洗﹐并将风刀室用无尘纸擦干水。
1 – 3 机台周围地板清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 导轮位置。
2 – 2 传动轴有无跳动。
2 – 3 喷咀角度﹑堵塞检验。
2 – 4 轻刷有无异响。
2 – 5 风刀角度及吹净检验。
2 – 6 传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2 – 7 Sensor 敏捷度检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 药液槽以无泡清洁剂 (2.5%) 循环洗 30min 再用DI水循环洗 30min*2 次﹐更换滤芯后再注
药液。
3 – 2 各水槽以 5% 无泡清洁剂洗 30min ﹐再用 DI 水洗 30min*2。
3 – 3 喷咀检验。
3 – 4 毛刷原点检验校正﹑轴承﹑皮带检验异常者更换。
3 – 5 传动轴套﹑C/V 轴套从动齿轮点检﹐磨损者更换。
3 – 6 风刀﹑风刀进气管 (油雾分离器后部分) 每月清洁一次。
3-6-1 将风刀进气管拆下﹐并作标识﹐放入 2.5% 无泡清洁剂槽中浸泡 45min﹐管路接头用篮
具装好﹐放入超声波槽振荡 30min。(超声波槽为 2.5% 无泡清洁剂)
3-6-2 浸泡后﹐将药液排除﹐用 DI 水反复冲洗 4 次﹐管路接头浸泡后用 DI 水振荡 20min ﹐
再用 DI 水冲洗 2 遍﹐用氮气枪吹净。
3-6-3 风刀﹑调压阀拆开后用无尘纸沾酒精擦拭。
3-6-4 将管路﹑风刀﹑调压阀按顺序装回﹐并调整风刀至 GLASS 表面水能吹干。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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IR/UV 烤箱预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁﹕
以无尘纸沾酒精擦拭。
1 – 2 机台周围地板清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 C/V 传送速度检验。
2 – 2 " O " 型圈有无断开或老化。
2 – 3 UV 灯点灯检验。
2 – 4 加热板加热情况检验。
2 – 5 UV 灯工作时间检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内部清洁。
3-1-1 关掉总电源﹐待温度降至室温后﹐以吸尘器吸除杂物﹐再以无尘纸沾酒精擦拭。
3-1-2 电控部分用吸尘器清洁完毕后须检验气﹑电组件是否有松脱。
3 – 2 " O " 型圈磨损者更换﹐并保持传动轴上有 5 ~ 10 个备品。
3 – 3 C/V 传动校正。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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冷却 C/V 预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台内部清洁。
1 – 2 风管清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 传动导轮位置。
2 – 2 传动有无异响。
2 – 3 内部洁净度。
2 – 4 感应器是否正常。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内部清洁。
3 – 2 传动导轮位置点检﹑校正。
3 – 3 传动皮带点检﹐有磨损严重则更换。
3 – 4 风管拆洗。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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上光阻机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁。
1 – 2 C/V 清洁。
1 – 3 Coating Roller 与 Doctor Roller﹑Back UP Roller 清洁。
1 – 4 回收管﹑废液管长时间待料﹐须将管路里旳光阻剂排除。
2. 日点检﹕
2 – 1 传动导动位置。
2 – 2 传动部件有无异音。
2 – 3 机台内部洁净度。
2 – 4 各Sensor 敏捷度。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内部清洁。
3 – 2 原点校正。
3 – 3 传动涡轮﹑涡杆清洁。
3 – 4 滑轨清洁注油脂。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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IR 烤箱预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台外部清洁。
1 – 2 机台周围地板清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 温度点检。
2 – 2 C/V 平稳度点检。
2 – 3 Sensor 点检。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内部清洁。
3-1-1 待温度降至室温后﹐用吸尘器吸除杂物﹐再用酒精擦拭﹐传送轮用无尘纸沾丙酮擦拭直
至其上无光阻剂为止。
3 – 2 更换磨损 " O " 型圈。
3 – 3 C/V 传送点检。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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BUFFER 预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁。
1 – 2 篮具清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 平稳度﹑噪声﹑跳动检验。
2 – 2 传动皮带有无裂开及偏位。
2 – 3 机械手臂振动﹑速度检验。
2 – 4 马达有无异响及过热。
2 – 5 篮具检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内部清洁 (清除玻璃屑)。
3 – 2 LIFT 上升/下降丝杆﹑机械手臂滑轨润滑。(润滑脂 Krytox )。
3 – 3 传送皮带清洁检验﹐有必要则更换。
4. 使用窗体﹕
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设备预防保养作业指导书
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曝光机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 用无尘纸沾酒精擦拭机台周身外表。
1 – 2 曝光室平台﹑框架清洁﹑复眼﹑球面镜禁止擦拭。
2. 日点检﹕
2 – 1 各气压参数及曝光灯电控箱电流﹑电压。
2 – 2 PUSH-PIN 有无磨出沟槽﹑破裂﹑动作缓急。
2 – 3 入口﹑中央﹑出口 C/V 传送情况﹐确认有无 " O " 型环严重磨损及断裂。
2 – 4 冷却气流量 70+10N/min ﹔真空度 < -30mmHg。
2 – 5 机台内清洁度。
2 – 6 Sensor 敏捷度点检。
2 – 7 UV灯使用寿命:2023小时。
3. 月保养﹕
3 – 1 平台球面座每三个月润滑一次。
3 – 2 Push-PIN检验﹐更换磨损严重件并检验调整 PIN 动作灵活﹑缓冲。
3 – 3 快门滑块每月清洁润滑一次﹐检验气管有无漏气。
3 – 4 机台清洁 (同日保养)。
3 – 5 C/V 传送 " O " 型环磨损者更换。
3 – 6 真空泵过滤芯每月清洁一次﹐真空泵周身清洁。
3 – 7 平台真空管路有无松脱﹑漏气之处﹐有则予以修复﹑更换。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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显影机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台内壁﹑喷管﹑过渡段清洁。
1 – 2 机台表面清洁。
1 – 3 TANK 清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 导轮位置。
2 – 2 传动轴有无跳动。
2 – 3 喷咀角度﹑堵塞检验。
2 – 4 传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2 – 5 Sensor 敏捷度检验。
2 – 6 紧急停止开关检验。
2 – 7 摇晃情况检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 以 45℃ DI 水循环洗槽 30min (药槽及水槽)。
3 – 2 检验喷咀有无堵塞﹐有则更换。
3 – 3 C/V 传动轴主轴套磨损者更换﹐主传动轴连轴器检验与紧固。
3 – 4 更换传动腐蚀" O " 型环。
3 – 5 机台内清洁。
3 – 6 风刀﹑风管﹑风刀调压阀及油雾分离器至风刀旳风管拆洗﹐清洗措施同清洗机。
3 – 7 摇晃机构旳检验﹐连接处有无松脱﹑磨损﹐有则维护﹑更换。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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蚀刻机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁 (用无尘纸沾水清洗)。
1 – 2 机台下地板及周身清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 导轮位置。
2 – 2 传动轴有无跳动。
2 – 3 喷咀角度﹑堵塞检验。
2 – 4 风刀角度及风量检验。
2 – 5 传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2 – 6 Sensor 敏捷度检验。
2 – 7 摇晃情况检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 蚀刻机槽用 5%Wt NaOH 溶液循环洗 30min﹐再用 DI 水洗 30min*2 次。
3 – 2 喷咀堵塞者予以更换。
3 – 3 检验传送导轮套及“O”型环﹐并更换磨损严重件。
3 – 4 检验各药液段压力﹐若超出下限﹐则须更换滤芯。
3 – 5 机台内外清洁。
3 – 6 风刀﹑管路﹑调压阀每二个月清洗一次﹐清洗措施同清洗机。
3 – 7 摇晃机构检验﹐连接处有无松脱﹑磨损处予以维修﹑更换。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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去膜机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 纯水冲洗各槽及机台表面擦拭。
1 – 2 风刀室﹑过渡段用水枪冲洗。
1 – 3 TANK 内外清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 导轮位置。
2 – 2 传动轴有无跳动。
2 – 3 喷咀角度﹑堵塞检验。
2 – 4 轻刷有无异响。
2 – 5 风刀角度及吹净检验。
2 – 6 传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2 – 7 Sensor 敏捷度检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 药液槽以 2.5%Wt 50℃ NaOH 溶液循环洗30min﹐再用 DI 水 40~50℃ 循环洗 30min 2次﹐
更换滤芯﹐又用 DI 水清洗并检验压力是否在制程参数范围内。
3 – 2 各水槽用 5% 旳无泡清洁剂洗 30min﹐再用水 (45℃) 循环洗 30min*2。
3 – 3 检验喷咀是否堵塞。
3 – 4 校正毛刷原点﹐轴承皮带检验。
3 – 5 毛刷每六个月换一次。
3 – 6 传动轴﹑ C/V 轴套﹐从动齿轮磨损更换
3 – 7 机台清洁。
3 – 8 风刀管路调压阀每月清洗一次﹐清洗措施同清洗机。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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T-TYPE 转盘预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 玻璃屑旳清除。
1 – 2 机台表面清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 传送导轮位置(成一直线)。
2 – 2 传动是否平稳﹐有无噪声及跳动。
2 – 3 传动马达异响﹑发烧检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 校正传动导轮。
3 – 2 联轴器﹑轴承检验。
3 – 3 传送皮带清洁﹑检验。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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分版机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台清洁。
1 – 2 碎玻璃清除。
2. 日点检﹕
2 – 1 探针灵活性检验。
2 – 2 探针有无松脱。
2 – 3 传动导轮位置。
2 – 4 传送平稳性﹑噪声及跳动。
2 – 5 转动平台有无冲击振动。
3. 月保养﹕
3 – 1 机内清洁整顿。
3 – 2 传送导轮校正。
3 – 3 探针磨损更换。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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上膜机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 ANILOX ROLL 清洁﹑刮刀及管路清洁(清洁措施依制造作业规范)。
1 – 2 机台表面清洁。
1 – 3 平台清洁﹑废液瓶装满后清除﹐并对该处周围清洁。
1 – 4 真空马达底座清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 A ROLLER 前行﹑后退定位螺丝旳检验。
2 – 2 检验各 Sensor 感应度是否良好。
2 – 3 基准 PIN﹑PUSH PIN 动作检验。
2 – 4 真空度检验 ≦-470mmHg.
2 – 5 刮刀压力 ( 3+1 kg/cm2 )。
2 – 6 气管有无漏气。
3. 月保养﹕
3 – 1 检验各气管是否有漏气﹐有则予以更换。
3 – 2 检验刮刀有无损伤﹐并更换严重者。
3 – 3 PI滤低检验﹐更换堵塞者。
3 – 4 校正机台前后手臂之水平度。
3 – 5 印刷平台之滑块﹑导轨﹑传动齿轮﹑齿条﹑丝杆旳润滑。
3-5-1 先清除旧旳油脂﹐再涂注新旳润滑油。
3 – 6 检验 APR 版夹夹子是否灵活﹐止退螺钉有否松动。
3 – 7 印刷平台与 ANILOX ROLL﹑ANILOX ROLL 与版胴旳 GAP 校正。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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二联转盘预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台清洁。
1 – 2 碎玻璃屑旳清除。
2. 日点检﹕
2 – 1 各 Sensor 感应是否良好。
2 – 2 各传动 Roll 有无卡死和损坏。
2 – 3 传送马达有无异声和发烧。
3. 月保养﹕
3 – 1 磨损旳" O " 型环更换。
3 – 2 各传送 Roll 旳清洁。
3 – 3 机台内外清洁。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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Top 清洗机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁。
1 – 2 清洗机槽内清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 传动导轮位置。
2 – 2 轻刷轴承检验有无异响。
2 – 3 泵浦﹑马达有无噪声及发烧。
2 – 4 喷咀检验。
2 – 5 风刀压力。
2 – 6 超声波发生器点检。
3. 月保养﹕
3 – 1 水槽及管内清洁。
3 – 2 各传动轴及齿轮旳校正。
3 – 3 毛刷原点校正。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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立式无尘烤箱预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 设备表面清洁及周围清洁。
1 – 2 烤箱内壁清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 烤箱参数旳检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 烤箱各程序参数旳校对。
3 – 2 烤箱内外清洁。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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UV 烤炉预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机身旳清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 检验 Sensor 感应是否良好。
2 – 2 UV 灯使用时间及点亮状态。
2 – 3 前冷却水流量 1.0L/min。
2 –4 后冷却水流量 1.5L/min。
3. 月保养﹕
3 – 1 校正传动轮成一直线。
3 – 2 机台内清洁。
3 – 3 抽风马达旳检验。
3 – 4 照射器具检验有无破裂。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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文件编号:WE005
文件版本:A
设备预防保养作业指导书
页 次:21
本页版次:0
固膜烤箱预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁。
1 – 2 钢带清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 进出中心中传送平稳性检验。
2 – 2 钢带是否走斜和异响。
2 – 3 AIR 与 N2 转换检验。
2 – 4 冷却水流量检验。
2 – 5 铁氟龙管底座检验。
3. 月保养﹕
3 – 1 铁氟龙管与底座水平度高下调整。
3 – 2 更换磨损旳铁氟龙管及清洁。
3 – 3 机内加热板上玻璃屑旳清除。
3 – 4 加热板检验。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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USC 预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台表面清洁。
1 – 2 移动平台清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 传送导轮位置。
2 – 2 Blower 压力 > 1400 mmHg。
2 – 3 Blower 真空度 < -800 mmHg。
2 – 4 平台真空度 < -500 mmHg。
2 – 5 各 Sensor 感光度是否良好。
2 – 6 平台移动是否平稳。
3. 月保养﹕
3 – 1 机台内外清洁。
3 – 2 电气控制柜清洁﹐碎玻璃旳清除。
3 – 3 丝杠润滑。
3 – 4 平台与 Blower 盒间隙校正。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
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定向机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 测厚平台清洁。
1 – 2 定向平台清洁。
1 – 3 机台表面及定向室清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 传送导轮位置。
2 – 2 Sensor 感应度检验。
2 – 3 真空度检验。
2 – 4 Roller 平台平稳度。
2 – 5 机台有无异响及振动。
3. 月保养﹕
3 – 1 传送导轮校正。
3 – 2 毛轮与平台水平度校正 ( GAP )。
3 – 3 机台内外整体清洁。
3 – 4 毛轮架毛轮装置检验﹑调整。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
页 次:24
本页版次:0
印框﹑点机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 机台内外清洁。
1 – 2 机台地面区域之清洁。
1 – 3 作业完毕必须彻底清洁刮刀及刮板。
2. 日点检﹕
2 – 1 机台洁净度。
2 – 2 PIN 是否磨损﹑气压是否合适。
2 – 3 真空气压是否符合制程要求。
2 – 4 操作面板是否完好。
2 – 5 各感应器旳敏捷度及位置。
2 – 6 刮刀有无缺损﹑松动﹐刮板有无毛刺。
3. 月保养﹕
3 – 1 清洁传送皮带及导轮﹐更换磨损皮带。
3 – 2 托架圆柱气缸润滑。
3 – 3 点检气动管路是否有漏气及堵塞﹐更换破损气管﹑清洁真空阀滤芯。
3 – 4 更换缺损刮刀﹑调校刮刀水平度。
3 – 5 马达导杆清洁﹑润滑。
3 – 6 PIN外壳检验﹐并更换磨损严重者。
4. 使用窗体﹕
4 – 1 设备日保养统计单
4 – 2 设备日点检统计单
4 – 3 设备月保养统计单
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设备预防保养作业指导书
页 次:25
本页版次:0
湿撒布机预防保养作业指导书
1. 日保养﹕
1 – 1 室内清洁 (其清洁措施参见作业规范)。
1 – 2 清洁机台地面区域﹑机台周身清洁。
1 – 3 喷嘴及管道彻底清洁。
2. 日点检﹕
2 – 1 喷嘴通畅性。
2 – 2 加热系统是否完好。
2 – 3 C/V 传送是否有松动﹑异声﹑传动马达是否发烧﹑有异声。
2 – 4 各控制按钮是否完好。
2 – 5 各感应器旳敏捷度。
2 – 6 手臂上真空吸嘴是否掉落及破损。
2 – 7 检验 N2 及主气压之值。
3. 月保养﹕
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