1、盲埋孔板制作规范一. 目的:设计盲埋孔板生产流程,保证工程与生产的顺利生产;二. 合用范围:3-6层盲埋结构的盲埋孔板的制作;三. 规定工程人员负责对盲埋孔板的工艺流程及各参数工程的制定,各工序按流程指示生产,对此规范未涉及内容按工艺文献执行;四. 注意事项4.1检查客户文献,仔细分清客户的具体盲埋结构,按规范提供的结构模式设计制作;4.2 拟定各层所采用的正、负片效果,拟定底片镜向的对的性以及底片编号指示的对的性;4.3 各生产工序严格按照流程生产,仔细读明到序生产时的具体规定与注意事项;4.4 工程制作 对于不是盲埋层的如L12、L34、L56.可采用负片效果,直接成像蚀刻压合, 盲埋层采
2、用正片沉铜电镀竣工成盲埋孔的制作,若是反复盲埋有同一层的,如L12、L13、L14.,则必须采用正片的生产,铜厚进行减溥后才进行钻孔沉铜电镀孔工艺来完毕线路图形与盲埋孔的制作;反复2次的,采用18um铜箔,反复3次或3次以上的,采用线宽补偿的方式生产,线宽补偿按工艺文献的铜厚补偿生产; 4.5 为保证压合填充质量,在盲埋孔压合过程中,严禁使用单P片,最少PP数量为2张; 4.6 为保证钻孔精度,对需要多次压合后钻孔的,工程在底版资料制作过程中要1次做出多组靶位孔,以备后续使用,钻孔不得2次钻孔使用同一靶位孔;靶位孔位置不得设计阻流点影响靶位精度; 4.7 压合注意铆合精度与靶位精度确认,特别涉
3、及到多次压合与钻孔加工板;五. 示例与流程 5.1 三层盲孔板 序号工序规定说明1光绘/修版拟定客户规定,L1 L2 L3间要是规定等厚度,则只开1个板厚/2的芯板,另一面靠压合叠层控制,成品检查注明出货前压平;客户规定板厚超过1.2mm,内部可使用光板垫层;若L1 L2 L3之间不规定等厚度,则需要开2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.2)/2;芯板使用18um料;注意底版图形方向2开料注意铜厚芯板厚度以及数量规定3钻孔钻L1-2:所用程序:4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2层用阳版,L1保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1、不能有缺铜9层
4、压L1层溢出树脂打磨,L1 盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边11钻孔钻L1-L3所用程序:正常多层板定位12以下流程正常若,盲孔在L2 L3层,流程不变,只需将上表中的L1改为L3即可; 5.2 四层1阶盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.2)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄 注意底版图形方向2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L1-2:L3-4所用程序:此过程分清L1-2:L3-4并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2 L3层用阳版,L1 L
5、4保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1、L4不能有缺铜9层压L1 L4层溢出树脂打磨,L1 L4盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边11钻孔钻L1-L4所用程序:正常多层板定位12以下流程正常5.3 四层2阶盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用1个芯板,芯板厚度=(板厚-0.2)/2;芯板使用18um料;L3-4层间厚度超过0.5mm可以使用光板垫层;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄;L1层线路补偿2-3mil 注意底版图形方向;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L1-2:4沉铜电流1.6A,镀25分钟
6、,夹于板挂中间5图形转移L2层用阳版,L1保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1、不能有缺铜9层压L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm11钻孔钻L1-L3所用程序:12沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间13图形转移L3层用阳版,L1保存全铜双面曝光14图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间15蚀刻16中检L1、不能有缺铜17层压L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;18钻孔钻L1-L4所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度19以下流程正常 5.4 四层1阶盲孔板序号工序规定说明1
7、光绘/修版使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.2)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄 注意底版图形方向2开料将1半数量料送往钻孔加工L1-2,将一半数量料送往内层图转印湿膜注意铜厚与芯板厚度和数量规定3内层图转晒制L3层,用阴版,L4保存全铜加工后送往中检检查,然后转层压与L1-2一起压合钻孔钻L1-2所用盲孔程序:4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2层用阳版,L1保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1不能有缺铜9层压注意铆合质量,避免错位,L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;1
8、0铣毛边工艺边控制10mm11钻孔钻L1-L4所用程序:正常多层板定位12以下流程正常5.5 四层埋孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用1个芯板,芯板厚度=板厚-0.4;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄; 注意底版图形方向;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L2-3:4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2 L3层用阳版,双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检9层压10铣毛边工艺边尺寸保证每边10mm11钻孔钻L1-L4所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度12以下流程正常5.6 四层2阶交
9、叉盲孔板有交叉盲埋结构的目前公司无法生产。如上图所示4层板盲埋结构无法生产:5.7 六层盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版使用3个芯板,芯板厚度=(板厚-0.4)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄 注意底版图形方向,注意镜像2开料将2/3数量料送往钻孔加工L1-2,L5-6将1/3数量料送往内层图转印湿膜注意铜厚与芯板厚度和数量规定3内层图转晒制L3-4层,用阴版,加工后送往中检检查,然后转层压与L1-2 L5-6一起压合钻孔钻L1-2 L5-6所用程序:此过程分清L1-2:L5-6并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于
10、板挂中间5图形转移L2 L5层用阳版,L1 L6保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1、L6不能有缺铜9层压注意铆合质量,避免错位;L1 L6层溢出树脂打磨,L1L6盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边工艺边控制10mm11钻孔钻L1-L6所用程序:正常多层板定位12以下流程正常5.8 六层盲埋孔板序号工序规定说明1光绘/修版使用3个芯板,芯板厚度=(板厚-0.4)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄,线路补偿按2mil补偿; 注意底版图形方向,注意镜像,2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L1-2:L3-4
11、L5-6所用程序:此过程分清L1-2:L3-4 ,L5-6并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2 L3 L4 L5层用阳版,L1 L6保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1、L6不能有缺铜9层压注意铆合质量,避免错位;L1 L6层溢出树脂打磨,L1 L6盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边11钻孔钻L1-L6所用程序:正常多层板定位12以下流程正常5.9 六层二阶盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.6)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需
12、要选择钻孔前加厚或者减薄;L1 L6层线路补偿2-3mil; 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L1-2:L5-6此过程分清L1-2 ,L5-6并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2 L5层用阳版,L1 L6保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1、L6不能有缺铜9层压L1-2 压第三层,L5-6 压第四层;L1-2-3层下转钻孔流程,L6-4层层压下转内层图转印湿膜L1 L6层溢出树脂打磨,L1 L6盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边工艺边尺寸保证每边
13、15mm11钻孔钻L1-L3所用盲孔程序:内层图转L4层用阴版,注意L6油墨印实12沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间13图形转移L3层用阳版,L1保存全铜双面曝光14图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间15蚀刻16中检L1不能有缺铜, L6不能缺铜破孔17层压L1-2-3 L4-5-6合压L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;18钻孔钻L1-L6所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度19以下流程正常5.10 六层1阶盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.6)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前
14、加厚或者减薄;L1 L6层线路补偿2-3mil; 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3内层图转L2 L5 层用阴版,L1与L6层保存全铜4蚀刻5中检L1、L6不能有缺铜6层压L1-2压合L3层,L5-6压合L47铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm8钻孔钻L1-L3 L4-6所用盲孔程序:此过程分清L1-3 ,L4-6并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位9沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间10图形转移L3 L4层用阳版,L1 L6保存全铜双面曝光11图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间12蚀刻13中检L1、L6不能有缺铜14层压L1-2-3 与 L4-5
15、-6合压L1 L6层溢出树脂打磨,L1 L6盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;15钻孔钻L1-L6所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度16以下流程正常5.11 六层埋孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.6)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄; 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L2-3:L4-5此过程分清L2-3 ,L4-5并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2 L3 L4 L5层用阳版,双面曝光6图形电
16、镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检9层压L2-3 与L4-5铆合后叠合L1 L6层,注意铆合质量10铣毛边11钻孔钻L1-L6所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度12以下流程正常5.12 六层2阶埋孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.6)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄;L2 L3层补偿2-3mil 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L2-3: L4-5此过程分清L2-3 ,L4-5并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于
17、板挂中间5图形转移L3 L4层用阳版,L2 L5层保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检9层压L2-3 与L4-5压合,注意铆合质量7铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm8钻孔钻L2-5所用盲孔程序:双面板定位9沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间10图形转移L2 L5层用阳版,11图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间12蚀刻13中检14层压压合L1-6层15铣毛边工艺边尺寸保证每边10mm16钻孔钻L1-L6所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度17以下流程正常5.13 六层3阶盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用2个芯板,芯板厚度=(板厚-0.6)
18、/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄;L1 层线路补偿3-4mil; 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料一半芯板送数控加工L1-2,一半芯板送内层图转制作L5注意铜厚与芯板厚度和数量规定3内层图转L5用阴版,L6保存全铜,3钻孔钻L1-2:4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2层用阳版,L1保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1L6不能有缺铜,L5-6送层压9层压L1-2 压第三层,L5-6放置等待 L1-2-3层下转钻孔流程,L1层溢出树脂打磨,L1 盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛
19、边工艺边尺寸保证每边15mm11钻孔钻L1-L3所用盲孔程序:12沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间13图形转移L3层用阳版,L1保存全铜双面曝光14图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间15蚀刻16中检L1、不能有缺铜17层压L1-2-3-4 L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;18铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm19钻孔钻L1-L4所用盲孔程序:20沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间21图形转移L4层用阳版,L1保存全铜双面曝光22图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间23蚀刻24中检L1、不能有缺铜25层压L1-2-3-4 与L5-6合压L1层溢出树脂打磨
20、,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;26钻孔钻L1-L6所用程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度27以下流程正常5.14 6层4阶盲孔板序号工序规定说明1光绘/修版无客户规定的,使用1个芯板,芯板厚度=(板厚-0.6)/2;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄;L1 层线路补偿5mil; 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L1-2:4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2层用阳版,L1保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1 不能有缺铜,9层压L1-2 压第三层,L2
21、-3介质层厚度0.2mmL1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm11钻孔钻L1-L3所用盲孔程序:12沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间13图形转移L3层用阳版,L1保存全铜双面曝光14图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间15蚀刻16中检L1、不能有缺铜17层压L1-2-3-4 L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;18铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm19钻孔钻L1-L4所用盲孔程序:20沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间21图形转移L4层用阳版,L1保存全铜双面曝光22图形电镀电流1.6A,夹于板挂中
22、间23蚀刻24中检L1、不能有缺铜25层压L1-2-3-4-5L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;26铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm27钻孔钻L1-L5所用盲孔程序:注意靶位孔精度,保证钻孔精度28沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间29图形转移L5层用阳版,L1保存全铜双面曝光30图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间31蚀刻32中检L1不能有缺铜33层压L1-2-3-4 -5-6L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;34铣毛边工艺边尺寸保证每边10mm35钻孔钻L1-L6所用程序:36以下流程正常5.15 六层2阶盲埋孔序号工序规定说明1光
23、绘/修版无客户规定的,使用2个芯板,芯板厚度=板厚/5;芯板使用18um料;客户规定铜厚度的可根据需要选择钻孔前加厚或者减薄;L1 层线路补偿3mil; 注意底版图形方向;注意镜像;设计多靶位2开料注意铜厚与芯板厚度和数量规定3钻孔钻L1-2: L4-5此过程分清L1-2 ,L4-5并做好标记说明导向孔要钻出双面板定位4沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间5图形转移L2 L5层用阳版,L1 L4保存全铜双面曝光6图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间7蚀刻8中检L1 不能有缺铜,9层压L1-2 压第三层,L4-5压合第六层L1 L4层溢出树脂打磨,L1 L4盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;10铣毛边工艺边尺寸保证每边15mm;L1-2-3送数控,L4-5-6送内层图转11内层图转L4层用阴版,L6层保存全铜,L4-5-6,蚀刻后送中检检查后送层压等L1-2-3合压12钻孔钻L1-L3所用盲孔程序:13沉铜电流1.6A,镀25分钟,夹于板挂中间14图形转移L3层用阳版,L1保存全铜双面曝光15图形电镀电流1.6A,夹于板挂中间16蚀刻17中检L1、不能有缺铜18层压L1-2-3与L4-5-6合压L1层溢出树脂打磨,L1盖离型膜,注意打磨力度,避免破孔口;19铣毛边工艺边尺寸保证每边10mm20钻孔钻L1-L6所用程序:21以下流程正常